硅片平坦度定义

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硅片平坦度定义

dce天津城建大学疫情    硅片平坦度是指硅片表面与一条平面直线之间的最大垂直距离。平坦度是衡量硅片表面精度的重要指标之一。在半导体工业中，硅片平坦度是影响晶体管、太阳能电池等器件性能和可靠性的关键因素。硅片平坦度的测量可以通过光学或机械方法实现。光学方法主要包括激光干涉法、白光干涉法等；机械方法主要包括机械测高仪、平板仪等。在实际应用中，硅片平坦度要求越高，其对应的设备和工艺要求也越高，成本也越高。因此，在设计和制造硅片器件时，需要根据所需性能和成本要求来选择合适的硅片平坦度。ssnd

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本文发布于:2023-06-28 04:51:31，感谢您对本站的认可！

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