一种可磁控镀保护膜的镀膜机的制作方法

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1.本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种可磁控镀保护膜的镀膜机。

背景技术：

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对产品实现更均匀地镀膜，其使用也越来越频繁。
3.现有的真空镀膜主要是通过真空镀膜机来完成，真空镀膜机大致包括：镀膜筒体、裂解室、蒸发室以及抽真空装置四大部分组成。在镀膜前，先将待加工的工件悬挂在镀膜筒体内的工件转架上，镀膜过程中工件转架随着设备的运行转动，使工件能与镀膜材料实现更均匀且更全面的接触，从而达到镀膜的目的。一般在对工件进行镀膜后还需进一步在工件表面在镀一层保护膜起到防指纹、防油、增加硬度等作用，现有技术中通常先对工件镀膜，再转移工件换一台设备镀保护膜，此加工方式较为繁琐，加工效率低。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺点和不足，而提供一种可磁控镀保护膜的镀膜机。
5.本实用新型所采取的技术方案如下：一种可磁控镀保护膜的镀膜机，包括内部设置有镀膜腔体的镀膜筒身与设置在镀膜筒身侧壁上的若干弧源组件，所述镀膜腔体内设置有靶材组件和设置在靶材组件外环周的转盘架，所述转盘架外环周设置有至少一组镀保护膜组件，所述镀保护膜组件包括蒸发电极杆与安装在蒸发电极杆上的若干蒸发铜块，所述蒸发铜块上固定有保护膜靶材。
6.所述镀膜筒身的内侧壁向外侧壁凸起形成安装腔，所述镀保护膜组件位于安装腔内，所述镀膜筒身内设置有若干可沿镀膜筒身内侧壁转动的弧源挡板组件，所述弧源挡板组件用于遮挡弧源组件与镀保护膜组件。
7.所述弧源挡板组件包括设置在所述镀膜筒身顶板上的吊轨、可于吊轨内转动的齿条、与齿条连接的挡板以及气缸组件，所述气缸组件包括旋转气缸以及与旋转气缸主轴连接的齿轮，所述旋转气缸驱动齿轮旋转使齿条位于吊轨内转动。
8.所述靶材组件包括多根纵向设置于所述镀膜腔体中部的圆柱靶材。
9.所述镀膜腔体顶部设置有用于驱动所述转盘架旋转的驱动组件，所述驱动组件包括电机组件、安装在镀膜筒身顶板内壁的固定齿轮以及若干设置在转盘架顶部与固定齿轮相联动的转动齿轮，所述电机组件包括安装在镀膜筒身顶板外壁的驱动电机、与驱动电机连接的主动齿轮以及与转盘架连接的从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相啮合。
10.每个所述转动齿轮下端连接有挂杆轴，所述挂杆轴设置有挂杆槽。
11.所述镀膜筒身铰接连接有镀膜筒盖，所述镀膜筒盖上设置有连通外界与镀膜腔体的观察孔，所述观察孔内密封设置有透明观察板。
12.所述镀膜筒身设置有抽真空口，所述抽真空口内设置有百叶窗组件，所述抽真空口侧壁设置有驱动百叶窗组件活动的调节阀组件。
13.所述镀膜腔体内设置有若干多弧气管组件。
14.所述镀膜腔体内设置有若干加热管组件。
15.本实用新型的有益效果如下：本实用新型通过在镀膜腔体内设置镀保护膜组件，能够在工件正常镀膜后直接进行镀保护膜，中间无需将工件取出与转移，一机多用，实用性强，极大提升了加工效率。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，根据这些附图获得其他的附图仍属于本实用新型的范畴。
17.图1为本实用新型的示意图；
18.图2为本实用新型的部分爆炸图；
19.图3为本实用新型中弧源挡板组件的示意图；
20.图4为本实用新型中抽真空口的示意图；
21.图5为本实用新型中挂杆轴部分的示意图；
22.图中，1-镀膜筒身， 2-弧源组件，3-靶材组件，31-圆柱靶材，4-转盘架，5-镀保护膜组件，51-蒸发电极杆，52-蒸发铜块，6-弧源挡板组件，61-吊轨，62-齿条，63-挡板，64-气缸组件，641-旋转气缸，642-齿轮，7-驱动组件，71-电机组件，711-驱动电机，712-主动齿轮，713-从动齿轮，72-固定齿轮，73-转动齿轮，731-挂杆轴，732-挂杆槽，8-镀膜筒盖， 81-加热管组件，82-透明观察板，9-抽真空口，91-百叶窗组件，92-调节阀组件，10-多弧气管组件，11-镀膜腔体，12-安装腔，13-加热管组件。
具体实施方式
23.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。
24.需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二
”ꢀ
仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
25.本实用新型所提到的方向和位置用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「顶部」、「底部」、「侧面」等，仅是参考附图的方向或位置。因此，使用的方向和位置用语是用以说明及理解本实用新型，而非对本实用新型保护范围的限制。
26.如图1至图4所示，为本实用新型实施例中，
27.一种可磁控镀保护膜的镀膜机，包括内部设置有镀膜腔体11的镀膜筒身1与设置在镀膜筒身1侧壁上的若干弧源组件2，在本实施例中，弧源组件2在镀膜筒身1侧壁上竖直排列，一列为四个，镀膜筒身1左右各两列，所述镀膜腔体11内设置有靶材组件3和设置在靶材组件3外环周的转盘架4，所述转盘架4外环周设置有至少一组镀保护膜组件5，所述镀保
护膜组件5包括蒸发电极杆51与安装在蒸发电极杆51上的若干蒸发铜块52，所述蒸发铜块52上固定有保护膜靶材，保护膜靶材可以为不同的材质，比如选用硅靶材，可防指纹，还可增加工件表面硬度，通过在镀膜腔体11内设置镀保护膜组件5，能够在工件正常镀膜后直接进行镀保护膜，中间无需将工件取出与转移，一机多用，实用性强，极大提升了加工效率。
28.进一步的，所述镀膜筒身1的内侧壁向外侧壁凸起形成安装腔12，所述镀保护膜组件5位于安装腔12内，所述镀膜筒身1内设置有若干可沿镀膜筒身1内侧壁转动的弧源挡板组件6，所述弧源挡板组件6用于遮挡弧源组件2与镀保护膜组件5，在本实施例中，在每列弧源组件2以及每个镀保护膜组件5前均设置有弧源挡板组件6，在进行镀膜时，镀保护膜组件5前的弧源挡板组件6对镀保护膜组件5进行遮挡，且弧源组件2前的弧源挡板组件6对弧源组件2不进行遮挡，弧源组件2可配合靶材组件3对转盘架4上的工件进行镀膜，镀膜后需进行镀保护膜，则弧源组件2前的弧源挡板组件6对弧源组件2进行遮挡，镀保护膜组件5前的弧源挡板组件6对镀保护膜组件5不进行遮挡，镀保护膜组件5中蒸发电极杆51配合蒸发铜块52将保护膜靶材蒸发对转盘架4上的工件进行镀保护膜。
29.具体的，所述弧源挡板组件6包括设置在所述镀膜筒身1顶板上的吊轨61、可于吊轨61内转动的齿条62、与齿条62连接的挡板63以及气缸组件64，吊轨61为与镀膜筒身1内侧壁适配的弧形，其上设置有导轨，齿条62安装在导轨中，所述气缸组件64包括旋转气缸641以及与旋转气缸641主轴连接的齿轮642，所述旋转气缸641驱动齿轮642旋转使齿条62位于吊轨内转动，从而使挡板63具有遮挡弧源组件2或者镀保护膜组件5的遮挡位置和不遮挡位置。
30.进一步的，所述靶材组件3包括多根纵向设置于所述镀膜腔体11中部的圆柱靶材31，在本实施例中设置有两根圆柱靶材31。
31.进一步的，所述镀膜腔体11顶部设置有用于驱动所述转盘架4旋转的驱动组件7，所述驱动组件7包括电机组件71、安装在镀膜筒身1顶板内壁的固定齿轮72以及若干设置在转盘架4顶部与固定齿轮72相联动的转动齿轮73，所述电机组件71包括安装在镀膜筒身1顶板外壁的驱动电机711、与驱动电机711连接的主动齿轮712以及与转盘架4连接的从动齿轮713，所述主动齿轮712与从动齿轮713相啮合，驱动电机711驱动主动齿轮712旋转，可带动从动齿轮713使与其连接的转盘架4相对固定齿轮72旋转，使转盘架4上的转动齿轮73与固定齿轮72联动旋转，从而每个转动齿轮73可单独进行旋转，且可通过驱动电机711控制转速以及转向；其中，从动齿轮713设置有转动轴贯穿镀膜筒身1顶板与转盘架4连接，转动轴与镀膜筒身1顶板之间设置有轴承座以及转动绝缘套，转动齿轮73与转盘架4之间也通过轴承座连接。
32.进一步的，每个所述转动齿轮73下端连接有挂杆轴731，所述挂杆轴731设置有挂杆槽732，挂杆槽732可悬挂工件，工件可跟随转动齿轮73旋转，让镀膜更加均匀。
33.进一步的，所述镀膜筒身1铰接连接有镀膜筒盖8，所述镀膜筒盖8上设置有连通外界与镀膜腔体11的观察孔81，所述观察孔81内密封设置有透明观察板82，在镀膜与镀保护膜过程中可对镀膜腔体11的状况进行实时观察。
34.进一步的，所述镀膜筒身1设置有抽真空口9，抽真空口9连接抽真空装置，所述抽真空口9内设置有百叶窗组件91，所述抽真空口9侧壁设置有驱动百叶窗组件91活动的调节阀组件92，调节阀组件92驱动百叶窗组件91封闭或者开启抽真空口9。
35.进一步的，所述镀膜腔体11内设置有若干多弧气管组件10，可向镀膜腔体11内输入气体，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离。
36.进一步的，所述镀膜腔体11内设置有若干加热管组件12，对镀膜材料蒸汽进行保温，防止由于输送路径过长而产生凝固或温度下降的现象，从而对工件的镀膜效果其保障作用。
37.以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

技术特征：

1.一种可磁控镀保护膜的镀膜机，包括内部设置有镀膜腔体（11）的镀膜筒身（1）与设置在镀膜筒身（1）侧壁上的若干弧源组件（2），所述镀膜腔体（11）内设置有靶材组件（3）和设置在靶材组件（3）外环周的转盘架（4），其特征在于，所述转盘架（4）外环周设置有至少一组镀保护膜组件（5），所述镀保护膜组件（5）包括蒸发电极杆（51）与安装在蒸发电极杆（51）上的若干蒸发铜块（52），所述蒸发铜块（52）上固定有保护膜靶材。2.根据权利要求1所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜筒身（1）的内侧壁向外侧壁凸起形成安装腔（12），所述镀保护膜组件（5）位于安装腔（12）内，所述镀膜筒身（1）内设置有若干可沿镀膜筒身（1）内侧壁转动的弧源挡板组件（6），所述弧源挡板组件（6）用于遮挡弧源组件（2）与镀保护膜组件（5）。3.根据权利要求2所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述弧源挡板组件（6）包括设置在所述镀膜筒身（1）顶板上的吊轨（61）、可于吊轨（61）内转动的齿条（62）、与齿条（62）连接的挡板（63）以及气缸组件（64），所述气缸组件（64）包括旋转气缸（641）以及与旋转气缸（641）主轴连接的齿轮（642），所述旋转气缸（641）驱动齿轮（642）旋转使齿条（62）位于吊轨内转动。4.根据权利要求1所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述靶材组件（3）包括多根纵向设置于所述镀膜腔体（11）中部的圆柱靶材（31）。5.根据权利要求1所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔体（11）顶部设置有用于驱动所述转盘架（4）旋转的驱动组件（7），所述驱动组件（7）包括电机组件（71）、安装在镀膜筒身（1）顶板内壁的固定齿轮（72）以及若干设置在转盘架（4）顶部与固定齿轮（72）相联动的转动齿轮（73），所述电机组件（71）包括安装在镀膜筒身（1）顶板外壁的驱动电机（711）、与驱动电机（711）连接的主动齿轮（712）以及与转盘架（4）连接的从动齿轮（713），所述主动齿轮（712）与从动齿轮（713）相啮合。6.根据权利要求5所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，每个所述转动齿轮（73）下端连接有挂杆轴（731），所述挂杆轴（731）设置有挂杆槽（732）。7.根据权利要求1所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜筒身（1）铰接连接有镀膜筒盖（8），所述镀膜筒盖（8）上设置有连通外界与镀膜腔体（11）的观察孔（81），所述观察孔（81）内密封设置有透明观察板（82）。8.根据权利要求7所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜筒身（1）设置有抽真空口（9），所述抽真空口（9）内设置有百叶窗组件（91），所述抽真空口（9）侧壁设置有驱动百叶窗组件（91）活动的调节阀组件（92）。9.根据权利要求1所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔体（11）内设置有若干多弧气管组件（10）。10.根据权利要求1所述的一种可磁控镀保护膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔体（11）内设置有若干加热管组件（13）。

技术总结

本实用新型提供一种可磁控镀保护膜的镀膜机，属于镀膜技术领域，其包括内部设置有镀膜腔体的镀膜筒身与设置在镀膜筒身侧壁上的若干弧源组件，所述镀膜腔体内设置有靶材组件和设置在靶材组件外环周的转盘架，所述转盘架外环周设置有至少一组镀保护膜组件，所述镀保护膜组件包括蒸发电极杆与安装在蒸发电极杆上的若干蒸发铜块，所述蒸发铜块上固定有保护膜靶材。本实用新型通过在镀膜腔体内设置镀保护膜组件，能够在工件正常镀膜后直接进行镀保护膜，中间无需将工件取出与转移，一机多用，实用性强，极大提升了加工效率。极大提升了加工效率。极大提升了加工效率。