专利类型：发明专利
发明人：王魁波，吴晓斌，沙鹏飞，罗艳，谢婉露，李慧，韩晓泉申请号：CN202111417648.5
申请日：20211125
全自动烧录机公开号：CN114280893A
公开日：
缘114
20220405
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明属于光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机及其污染控制系统和方法，光刻机的污染控制系统包括高纯清洁气源、纯化器、照明光学腔室气体装置、主腔室气体装置、投影光学腔室气体装置、硅片台腔室气体装置和真空泵组，各个气体装置分别包括各自的流量控制器和配气管道，各配气管道包括多个管道支路，用于对经由各自的流量控制器输送至相应腔室的清洁工艺气体进行分配。本发明的光刻机的污染控制系统能够调节输送至各个腔室的工艺气体流量，使得各个腔室形成合适的气压梯度，并通过真空泵组从相应腔室抽气，使光刻机内部形成工艺气流场，从而将污染物排出到光刻机外部。 申请人：中国科学院微电子研究所
证件识别地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号
国籍：CN
女用小便器代理机构：北京辰权知识产权代理有限公司防辐射屏
代理人：郎志涛
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