一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法[发明专利]

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专利名称：一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法专利类型：发明专利

发明人：杜春雷，罗先刚，董小春，刘强动物胶配方整个过程

低压气力输送

熔断器盒申请号：CN200710121241.1

申请日：20070831

公开号：CN101126896A

公开日：

20080220吸油烟机止回阀

专利内容由知识产权出版社提供

烟道蝶阀摘要：一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法：在基底表面蒸镀与基底黏结能力较弱的金属膜层，并在其表面制作目标微纳结构；将PDMS与固化剂进行混合，并浇铸于金属膜层表面；在25－95℃的环境中固化，形成弹性膜；掀起PDMS膜，去除黏附在PDMS膜表面的金属膜层，目标微纳结构将镶嵌与PDMS膜层内部，在PDMS表面分别旋涂厚度10～100nm的保护层，形成超分辨光刻掩模；在另一基片表面涂布光刻胶，并蒸镀厚度10～100nm的金属银；将形成的超分辨光刻掩模的图形面与光刻胶表面的金属银精密贴合，并进行曝光移除超分辨光刻掩模，去除银膜，并对光刻胶进行显影，显影后即可形成需要的目标图形。本发明不仅分辨率大大提高，降低了传统光刻的复杂程度，并且利用PDMS材料的弹性，还可以利用该材料在曲面表面实现微纳结构的成形。

申请人：中国科学院光电技术研究所

地址：610209 四川省双流350信箱

国籍：CN

代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司

连锁系统

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本文发布于:2023-05-15 00:51:19，感谢您对本站的认可！

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