含立方烷的丙烯酸酯系成膜树脂和ArF光刻胶及其制备方法和光刻方法

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专利名称：含立方烷的丙烯酸酯系成膜树脂和ArF光刻胶及其制备方法和光刻方法

专利类型：发明专利

发明人：肖楠，宋里千，王静

申请号：CN201811620801.2

申请日：20181228

电热丝打火机公开号：CN109679020A

公开日：

刀模

玻璃退火炉>沐浴粉

20190426

十字滑块联轴器专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明属于半导体及集成电路领域，具体公开了一种含立方烷的丙烯酸酯系成膜树脂和ArF 光刻胶及其制备方法和光刻方法。所述ArF光刻胶含有成膜树脂以及光致产酸剂，所述成膜树脂由质量分数为20‑60％的具有式(1)所示结构的单元单体Ⅰ和质量分数为40‑80％的具有式(2)所示结构的单元单体Ⅱ共聚得到，R和R各自独立地为氢原子或甲基，R为酸敏基团。本发明提供的光刻胶具有较好的耐刻蚀性，在光刻过程中无需采用硬掩模层，采用新的光刻工艺来替代硬掩模工艺，不仅能够省去硬掩模层，而且还能够达到与原工艺相当甚至更好的耐刻蚀性能。此外，本发明提供的光刻工艺只需要使用后续光刻的旋转匀胶机，不需要CVD机台，而达到降低材料成本和生产时间的目的。

申请人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司

地址：361000 福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号

国籍：CN

代理机构：厦门市精诚新创知识产权代理有限公司

代理人：赖秀华

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本文发布于:2023-05-15 00:50:55，感谢您对本站的认可！

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