专利类型：发明专利
热解焚烧炉
发明人：袁华，黄永发，杨尚勇，胡展源申请号：CN201910743009.4
申请日：20190813
公开号：CN110501873A
空转锁
公开日：
20191126
专利内容由知识产权出版社提供
轴承装配机摘要：本申请公开了一种光刻胶和光刻方法，属于半导体制造技术领域。所述光刻胶包括：化学放大胶，该化学放大胶包括聚合树脂和光致产酸剂；碱性添加剂，在被光照后，该碱性添加剂的酸碱度由碱性转变至酸性。本申请通过在包含光学放大胶的光刻胶中添加碱性添加剂，在将该光刻胶应用于光刻工艺时，光刻胶中的光致消碱剂在曝光区域碱性消失，不影响光酸化学放大，保留非曝光区域的碱性，淬灭非曝光区域产生的微量酸分子，使得曝光区域和非曝光区域酸分子浓度差异增大，提高了曝光区域与非曝光区域的对比度，从而能够优化光刻图形的形貌，增大光刻的工艺窗口。 申请人：上海华力集成电路制造有限公司
自动旋转喷雾喷头地址：201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
国籍：CN
冰壶制作代理机构：上海浦一知识产权代理有限公司
代理人：戴广志
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