一种光刻机以及物理光刻方法[发明专利]

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专利名称：一种光刻机以及物理光刻方法专利类型：发明专利

发明人：李西军晶闸管调压器

汽车整形申请号：CN202210151923.1

申请日：20220218

公开号：CN114488713A

公开日：

20220513cd4543

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本公开实施例提出了一种光刻机以及物理光刻方法，所述光刻机能够在涂覆有物理光刻胶的晶圆上实现物理光刻，其包括控制装置、光刻源、束脉冲调制器、束聚焦装置、束扫描装置以及运动工件台，所述控制装置用于接收需要曝光的图形信息并基于与图形对应的光刻数据生成用于控制所述束脉冲调制器以输出曝光束在曝光位置的最佳脉冲宽度的调制信号、用于将曝光束依次偏转到曝光位置的束扫描信号以及用于控制所述运动工件台的运动控制信号。本公开实施例能够利用物理光刻材料吸收能量后发生从固体到气体的升华相变同时实现曝光、显影和定影的过程，工序短，故不需要专门设置的显影和定影程序，光刻工艺对环境友好。

申请人：西湖大学

射击标靶莫氏变径套地址：310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号

国籍：CN

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本文发布于:2023-05-15 00:48:46，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://patent.en369.cn/patent/4/100003.html

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