1.0 目的
1.1 本文定义了靶材分离的操作流程(包括废靶，返工的靶材)以及废靶的处理方 法。
2.0 范围
2.1 适用于结合靶材的分离，每一片结合后需要被分离的靶材都要进行规格的检 查。
3.0 责任
3.1 所有生产人员都要按照本流程进行生产操作。
3.2 QA工程师负责保证分离后背板的品质和废靶的处理方法。 4.0 相关文件
4.1 SZ/GEN/QI-Q007，进料检查作业指导书
4.2 SZ/GEN/QI-Q008，出货检查作业指导书
标题:
靶材分离作业指导书
5.0 结合靶材的分离流程
分离的靶材是结合过的靶材或是废靶。一片结合好的靶材被分离可能是由于规格的超标或是结合率的不良所造成。这里以一片结合好靶材的分离做例子。
5.1 生产技术员首先把要分离的靶材放置在工作
车上。
5.2 在靶材的表面放一片保护板，然后用25mm
的高温胶带沿着靶材的四周把保护板与靶材
固定。
5.3 高温胶带环绕一周，切断。
5.4 把高出保护板的高温胶带粘在保护板上。
5.5 把背板的四周也用高温胶带粘起来，防止四
周的孔洞被堵塞。
标题:
靶材分离作业指导书
5.6 背板的非结合面用50mm的高温胶带粘起
来。
粒清除，再用塑料刷子把颗粒清扫到托盘
中。加热台才可使用。
5.8 把靶材放到加热台上。
5.9 加热台的温度设制为180度.
标题:
靶材分离作业指导书
5.10 在靶材上盖上保温棉，降低热量的散发。
5.11 观察加热台的温度显示，当温度达到设定温
度时，除去保温棉，用木锤的一端敲击靶材
的表面，如果铟已经完全溶化，则会从边缘
流出来。准备开始分离。
5.12 用木锤从靶材的边缘把靶材和背板分开。
标题:
靶材分离作业指导书
5.13 生产技术员用铲刀插入靶材和背板的空隙
处，轻轻的把靶材掀起。
5.14 生产技术员用另一只手握住被掀起的靶材，
把它与背板完全分离，把保护板面向加热
台，放下靶材。
5.15 使用镊子把铟层中的铜丝夹除。
5.16 生产技术员使用雨刮把靶材和背板上的铟层
刮除。
