1.本实用新型涉及磷化铟衬底材料制造技术领域,特别是一种上蜡机
陶瓷盘自动取放装置。
背景技术:
2.在100ghz以上的带宽水平,使用磷化铟基射频器件在回程网络和点对点通信网络的无线传输方面具有明显优势,未来在6g通信甚至7g通信无线传输网络中,磷化铟衬底将有望成为射频器件的主流衬底材料。
3.目前磷化铟衬底晶片上蜡工序中的陶瓷盘取放为人工操作,工作人员把陶瓷盘放至贴片平台的加热工位,把陶瓷盘加热至75℃-85℃,再把上蜡完毕的晶片粘贴至陶瓷盘中,工作人员再把贴完晶片的陶瓷盘移动至冷却工位上;人工取放陶瓷盘的方式存在生产效率低、工作人员劳动强度大、工作人员容易被烫伤等问题。
技术实现要素:
4.本实用新型的目的是:提供一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其能够把陶瓷盘在存盘架、加热工位和冷却工位之间进行转移,实现陶瓷盘取放的自动化,提高生产效率,降低工作人员的劳动强度,避免工作人员被烫伤。
5.为了实现上述目的,本实用新型一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置,包括贴片平台、导轨、取盘
机械手和存盘架;
所述贴片平台的上表面设有加热工位和冷却工位;所述导轨设于所述贴片平台的上表面;所述取盘机械手设于所述导轨上,所述取盘机械手沿所述导轨在所述加热工位和所述冷却工位之间做往复运动;所述存盘架位于所述贴片平台的一侧,所述取盘机械手能够从所述存盘架取出陶瓷盘并移动到所述加热工位,或将所述陶瓷盘从所述冷却工位移动到存盘架上。
6.优选地,所述取盘机械手包括旋转电机、
伸缩器及取盘器;所述旋转电机设于所述导轨上,所述伸缩器连接于所述旋转电机的输出轴上,所述旋转电机用于驱动所述伸缩器绕所述旋转电机的竖直中心轴进行转动,所述取盘器连接于所述伸缩器的输出端上,所述伸缩器用于驱动所述取盘器在水平方向上远离或靠近所述旋转电机。
7.优选地,所述伸缩器为气缸、液压缸和电缸中的一种。
8.优选地,所述取盘器包括取盘器主体及真空发生器;所述取盘器主体的一端设有u型槽,所述u型槽的内槽底中心处设有吸附孔,所述真空发生器与所述取盘器主体连接并与所述吸附孔连通。
9.更优地,所述u型槽的内径d大于或等于所述陶瓷盘的外径e。
10.优选地,所述存盘架包括架体、及与所述架体连接的升降器,所述升降器用于驱动所架体在竖直方向上进行上升或下降。
11.更优地,所述架体具有多个存盘槽,多个所述存盘槽由上至下均匀排列。
12.优选地,所述升降器为气缸、液压缸和电缸中的一种。
13.更优地,所述存盘架还包括底框,所述升降器安装在所述底框。
14.优选地,所述加热工位安装有加热盘,所述冷却工位安装有冷却盘。
15.优选地,所述导轨为直线导轨,直线导轨运动的作用是用来支撑和引导运动部件,按给定的方向做往复直线运动。
16.本实用新型提供的与现有技术相比,其有益效果在于:通过所述取盘机械手可以把未贴晶片的陶瓷盘从所述存盘架转移至所述加热工位上,通过所述导轨使得所述取盘机械手可以把已贴晶片的陶瓷盘从所述加热工位转移至所述冷却工位,通过所述取盘机械手可以把已冷却的陶瓷盘放入所述存盘架中,因此,本实用新型能够把陶瓷盘在存盘架、加热工位和冷却工位之间进行转移,实现陶瓷盘取放的自动化,提高生产效率,降低工作人员的劳动强度,避免工作人员被烫伤。
附图说明
17.图1是本实用新型实施例提供的一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置的结构图;
18.图2为本实用新型实施例提供的取盘机械手的侧视图;
19.图3为本实用新型实施例提供的取盘器的结构图;
20.图4为本实用新型实施例提供的取盘器主体及陶瓷盘的俯视图;
21.图5为本实用新型实施例提供的存盘架的结构图。
22.图中,1、贴片平台;11、加热工位;12、冷却工位;
23.2、导轨;
24.3、取盘机械手;31、旋转电机;32、伸缩器;33、取盘器;331、取盘器主体;332、真空发生器;311、u型槽;3312、吸附孔;
25.4、存盘架;41、架体;42、升降器;43、底框;411、存盘槽。
具体实施方式
26.下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
27.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.如图1所示,本实用新型实施例所提供的是一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置,包括贴片平台1、导轨2、取盘机械手3和存盘架4。
30.所述贴片平台1的上表面设有加热工位11和冷却工位12;所述导轨2设于所述贴片平台1的上表面;所述取盘机械手3沿所述导轨2在所述加热工位11和所述冷却工位12之间
做往复运动;所述存盘架4位于所述贴片平台1的一侧,所述取盘机械手3能够从所述存盘架4取出陶瓷盘并移动到所述加热工位11,或将所述陶瓷盘从所述冷却工位12移动到存盘架4上。
31.优选地,所述加热工位11安装有加热盘,所述冷却工位12安装有冷却盘。
32.优选地,所述导轨2为直线导轨。
33.参见图2-4,本实用新型实施例所提供的所述取盘机械手3包括旋转电机31、伸缩器32及取盘器33;所述旋转电机31设于所述导轨2上,所述伸缩器32连接于所述旋转电机31的输出轴上,所述旋转电机31用于驱动所述伸缩器32绕所述旋转电机31的竖直中心轴进行转动,所述取盘器33连接于所述伸缩器32的输出端上,所述伸缩器32用于驱动所述取盘器33在水平方向上远离或靠近所述旋转电机31。
34.所述取盘器33包括取盘器主体331及真空发生器332;所述取盘器主体331的一端设有u型槽3311,所述u型槽3311的内槽底中心处设有吸附孔3312,所述真空发生器332与所述取盘器主体331连接并与所述吸附孔3312连通。
35.所述u型槽3311的内径d大于或等于所述陶瓷盘100的外径e。
36.优选地,所述伸缩器32为电缸。
37.参见图5,本实用新型实施例所提供的所述存盘架4包括架体41、及与所述架体41连接的升降器42,所述升降器42用于驱动所架体41在竖直方向上进行上升或下降。
38.所述架体41具有多个存盘槽411,多个所述存盘槽411由上至下均匀排列。
39.所述存盘架4还包括底框43,所述升降器42安装在所述底框43上。所述底框43呈半包围的长方体状。
40.优选地,所述升降器42为电缸。
41.本实用新型的工作过程为:所述取盘机械手3把所述陶瓷盘100从所述存盘架4转移至所述加热工位11的具体步骤:所述升降器42带动所述架体41进行上升或下降,以使得空的陶瓷盘100与取盘机械手3位于同一高度;所述旋转电机31驱动所述伸缩器32及取盘器33旋转180
°
,以使得所述取盘器33的u型槽3311的开口朝向装有未贴有晶片的陶瓷盘100的存盘槽411;所述伸缩器32的输出端进行伸长,以驱动所述取盘器33从所述贴片平台1朝向陶瓷盘100的方向进行运动,所述陶瓷盘进入所述u型槽3311中,同时真空发生器332开始提供负压,以使得所述u型槽3311可以通过吸附孔3312对陶瓷盘100进行吸附固定;所述伸缩器32的输出端进行缩短,以驱动所述取盘器33回复至所述贴片平台1;旋转电机31驱动伸缩器32及取盘器33旋转180
°
,以使得所述陶瓷盘100位于所述加热工位11的正上方,真空发生器332停止提供负压,以把所述陶瓷盘100释放至加热工位11上。
42.加热工位把未贴片的陶瓷盘升温至75℃-85℃,贴片机械手把晶片粘贴至所述陶瓷盘的表面上;所述取盘机械手3沿导轨2把贴完晶片的陶瓷盘100从加热工位11移动至冷却工位12,并把陶瓷盘100放置在冷却工位12一定时间。
43.所述取盘机械手3把贴完晶片的所述陶瓷盘100从所述冷却工位12转移至所述陶瓷盘取放架的具体步骤:所述升降器42带动架体41进行上升或下降,以使得空的所述存盘槽411与取盘机械手3位于同一高度;真空发生器332开始提供负压,以使得所述u型槽3311可以通过吸附孔3312对贴完晶片的陶瓷盘100进行吸附固定,旋转电机31驱动伸缩器32及取盘器33旋转180
°
,以使得取盘器33的u型槽3311的开口朝向空的存盘槽411;伸缩器32的
输出端进行伸长,以驱动取盘器33朝向空的存盘槽411的方向进行运动,以使得贴完晶片的陶瓷盘放入存盘槽411中,同时真空发生器332开始停止负压,取盘器主体331把贴完晶片的陶瓷盘释放在存盘架4中;伸缩器32的输出端进行缩短,以驱动取盘器33回复至贴片平台1;旋转电机31通过伸缩器32带动取盘器33旋转180
°
,取盘机械手3沿导轨2从冷却工位12移动至加热工位11。
44.综上,本实用新型实施例提供一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置,具有如下有益效果:
45.(1)采用所述导轨2和取盘机械手3,可以在所述存盘架4、加热工位11和冷却工位12之间对陶瓷盘进行转移,实现陶瓷盘取放的自动化,提供生产效率,降低工作人员劳动强度,避免工作人员被烫伤。
46.(2)采用所述旋转电机31和伸缩器32,使得所述取盘器33可以进入所述存盘槽411中进行陶瓷盘的取出或放下。
47.(3)采用所述真空发生器332,可以为所述取盘器主体331提供负压,以使得所述取盘器主体331可以吸附固定陶瓷盘。
48.(4)采用所述u型槽3311并在所述u型槽3311内槽底中心处设置所述吸附孔3312,可以使得陶瓷盘能在所述u型槽3311的导向作用及所述吸附孔3312的吸气作用下,对所述吸附孔3312进行封闭,以使得所述取盘器33能够吸附固定陶瓷盘。
49.(5)采用所述升降器42,使得所述架体41可以把对应的存盘槽411上升或下降至与所述取盘机械手3的高度上,以使得所述取盘机械手3可以把未贴有晶片的陶瓷盘从对应存盘槽411中进行取出,或把贴有晶片的陶瓷盘放入空的存盘槽411中。
50.(6)采用直线导轨,使得所述取盘机械手3可以在所述加热工位11和所述冷却工位12之间做直线往复运动。
51.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和替换,这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
技术特征:
1.一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,包括:贴片平台,所述贴片平台的上表面设有加热工位和冷却工位;导轨,所述导轨设于所述贴片平台上;取盘机械手,所述取盘机械手安装于所述导轨上,所述取盘机械手沿所述导轨在所述加热工位和所述冷却工位之间做往复运动;存盘架,所述存盘架位于所述贴片平台的一侧,所述取盘机械手能够从所述存盘架取出陶瓷盘并移动到所述加热工位,或将所述陶瓷盘从所述冷却工位移动到存盘架上。2.根据权利要求1所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述存盘架包括架体、及与所述架体连接的升降器,所述升降器用于驱动所架体在竖直方向上进行上升或下降。3.根据权利要求2所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述取盘机械手包括旋转电机、伸缩器及取盘器;所述旋转电机设于所述导轨上,所述伸缩器连接于所述旋转电机的输出轴上,所述旋转电机用于驱动所述伸缩器绕所述旋转电机的竖直中心轴进行转动,所述取盘器连接于所述伸缩器的输出端上,所述伸缩器用于驱动所述取盘器在水平方向上远离或靠近所述旋转电机。4.根据权利要求3所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述取盘器包括取盘器主体及真空发生器;所述取盘器主体的一端设有u型槽,所述u型槽的内槽底中心处设有吸附孔,所述真空发生器与所述取盘器主体连接并与所述吸附孔连通。5.根据权利要求4所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述u型槽的内径d大于或等于所述陶瓷盘的外径e。6.根据权利要求2所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述架体具有多个存盘槽,多个所述存盘槽由上至下均匀排列。7.根据权利要求2所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述存盘架还包括底框,所述升降器安装在所述底框上。8.根据权利要求1-7任一项所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述加热工位安装有加热盘,所述冷却工位安装有冷却盘。9.根据权利要求1-7任一项所述的上蜡机陶瓷盘自动取放装置,其特征在于,所述导轨为直线导轨。
技术总结
本实用新型涉及磷化铟衬底材料制造技术领域,公开了一种上蜡机陶瓷盘自动取放装置,包括贴片平台、导轨、取盘机械手和存盘架;所述贴片平台的上表面设有加热工位和冷却工位;所述导轨设于所述贴片平台的上表面;所述取盘机械手设于所述导轨上,所述取盘机械手沿所述导轨在所述加热工位和所述冷却工位之间做往复运动;所述存盘架位于所述贴片平台的一侧;本实用新型能够把陶瓷盘在存盘架、加热工位和冷却工位之间进行转移,实现陶瓷盘取放的自动化,提高生产效率,降低工作人员的劳动强度,避免工作人员被烫伤。免工作人员被烫伤。免工作人员被烫伤。
技术研发人员:
郑金龙 杨小丽 周铁军 马金峰
受保护的技术使用者:
广东先导微电子科技有限公司
技术研发日:
2022.08.25
技术公布日:
2023/2/20