1影响新TEM样品制备质量的因素-中科院物理所王凤莲老师

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中国科学院物理研究所

2011.4.20桂林影响TEM

样品制备质量的因素

电水壶底座

2

影响TEM 样品制备质量的因素

1.与仪器相关的因素

2.与样品相关的因素

清烟器王凤莲李莹导联线

标定3

1.与仪器相关的因素z 仪器的真空度

z 离子束电压119b

z 离子束电流（氩气的流量）z 离子束的入射角z

离子的对中

4Gatan离子减薄仪

PIPS  691PIPS  691PIPS  691

Model  600

煮面炉

5z 仪器的真空度 真空泵的抽气速率

样品室的清洁

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