一种多参考点高精度掩膜版贴片装置的制作方法

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1.本发明涉及掩膜版刻划技术领域，具体的，涉及一种多参考点高精度掩膜版贴片装置。

背景技术：

2.随着生活水平的不断提高，人们对各种电子电器产品的追求日益小型化，以便携带和摆放，但是传统使用的穿孔插放电子元件的方法已无法再将产品体积缩小；为了电子产品功能更完整，特别是大规模、高集成ic，精度要求越来越高。其中，ic行业使用的3*5尺寸光罩，需在掩膜版贴合一对贴片来提高定位精度。该3*5光罩是公司未来的一个增长点。
3.现有贴合设备为公司自研设备，存在老化、贴合精度不高、设备可调整性差等隐患，因此需要再新增一台更高精度、操作更便利的设备。

技术实现要素：

4.本发明提出一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，解决了相关技术中设备贴合精度不高的问题。
5.本发明的技术方案如下：一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，包括机架，设于所述机架上的第一调整组件、支柱和第一推顶件，设于所述第一调整组件上的摄像机，设于所述支柱顶端的第二调整组件，设于所述第二调整组件上的压板，设于所述第一推顶件顶端的支撑台，设于所述支撑台上的第三调整组件，所述第三调整组件位于掩膜版的下方，掩膜版位于所述压板和所述第二调整组件之间，贴片位于所述第三调整组件和掩膜版之间，所述摄像机借助所述第一调整组件实现在空间xyz三个方向的移动，所述压板和掩膜版借助所述第二调整组件实现在xz方向的移动和绕y轴的转动，所述贴片借助所述第三调整组件实现xyz方向的微调，所述第三调整组件借助所述第一推顶件实现y方向上的移动，所述摄像机为两个且始终位于同一高度上，所述贴片借助所述第三调整组件贴合在所述掩膜版上。
6.作为进一步的技术方案，所述第一调整组件为两个且与两个所述摄像机一一对应设置，两个所述摄像机借助对应的所述第一调整组件互不干涉，所述压板开设有凹槽，所述掩膜版上的标记点位于凹槽的投影内，所述摄像机经过调整位于所述凹槽的正上方且用于捕捉所述掩膜版上的标记点。
7.作为进一步的技术方案，所述第二调整组件包括第二夹持件和第二微调件，所述第二夹持件包括第二夹持座和第二推顶件，所述掩膜版卡设在所述第二夹持座和所述第二推顶件之间，所述第二推顶件设于所述第二夹持座上，所述第二夹持座上设置有支撑柱，所述掩膜版卡设在所述支撑柱和所述压板之间，所述第二微调件包括第二底板、第二xz调整结构和旋转结构，所述旋转结构包括第一转台和第二转台，所述第二转台转动设于所述第一转台上，所述第一转台连接有转台推顶件，所述第二转台具有凸块，所述转台推顶件的推顶端推顶所述凸块，所述第二底板设于所述支柱上，所述第二xz调整结构设于所述第二底
板上，所述第一转台设于所述第二xz调整结构上，所述第二夹持座设于所述第二转台上。
8.作为进一步的技术方案，所述第二微调件还包括旋塞和转台锁止件，所述旋塞设于所述第一转台的外部且端部接触所述凸块的另一侧，所述转台锁止件设于所述第一转台上且端部抵接所述第二转台。
9.作为进一步的技术方案，所述第三调整组件为两个且对称设置在所述第二调整组件的两侧，所述第三调整组件包括第三夹持件和第三微调件，所述第三夹持件包括第三夹持座和第三推顶件，所述第三夹持座具有用于放置贴片的承载面，所述第三推顶件配合所述第三夹持座卡紧所述贴片，所述第三微调件包括第三xz调整结构和y向微调结构，所述y向微调结构包括微调底座、微调推顶件、微调平台和微调传导件，所述微调底座设于所述第三xz调整结构上，所述微调平台沿y方向滑动设于所述微调底座上，所述微调传导件转动设于所述微调底座上并借助所述微调推顶件的推顶使所述微调平台进行移动，所述第三xz调整结构设于所述支撑台上。
10.作为进一步的技术方案，所述微调传导件具有呈v型的导脚，所述导脚转动设于所述微调底座上，所述微调平台具有凸起，所述导脚分别与所述凸起和所述微调推顶件的推顶端接触。
11.作为进一步的技术方案，所述第一调整组件包括第一xz调整结构和y向调整结构，所述第一xz调整结构设于所述机架上，所述y向调整结构设于所述第一xz调整结构上，所述摄像机设于所述y向调整结构上。
12.作为进一步的技术方案，所述第一xz调整结构、所述第二xz调整结构和所述第三xz调整结构中的结构相同，并且输出同样沿x和z方向的移动。
13.本发明的工作原理及有益效果为：与现有技术相比，第一调整组件设置在机架上，摄像机设置在第一调整组件上，由于第一调整组件能输出xyz三个方向上的移动，因此摄像机就可以实现在xyz三个方向上的移动，摄像机用于捕捉掩膜版上的标记，由于摄像机设置为两个，因此可以在掩膜版上至少设置两个不同位置的标记点，两个摄像机的高度始终保持一致，只要检测到摄像机中捕捉的标记清晰度一致，那么则可以证明掩膜版的板面与水平面完全平行，只有在掩膜版处于完全水平的状态下，贴片贴上后位置才最好；支柱设置在机架上，第二调整组件设置在支柱的顶端，第二调整组件可以输出沿xz方向的移动和绕y轴的转动，掩膜版设置在第二调整组件的输出端上，因此，掩膜版可以进行沿xz方向的移动和绕y轴的转动，针对摄像机对掩膜版上标记的捕捉，第一调整组件用于大调，在摄像机捕捉到标记后，为了进一步保证捕捉标记的稳定性和准确性，可以使用第二调整组件对掩膜版在空间上的位置和姿态进行调整，以使掩膜版位于最佳的贴片状态，第一调整组件和第二调整组件的组合形式，降低了对摄像机的位置调整的要求；支撑台设置在第一推顶件的推顶端上，支撑台上放置第三调整组件，贴片放置在第三调整组件上，第三调整组件可以实现沿xyz方向的微调，第一推顶件的推顶端可以沿竖直方向移动，由于贴片位于掩膜版的下方，因此，贴片可以借助第一推顶件迅速的靠近，当第一推顶件达到极限位置后，再通过第三调整组件对贴片的位置进行微调，然后将贴片完全贴在掩膜版上，针对相同规格的掩膜版和贴片，只要初次调整后，就可以通过控制第一推顶件的运动实现贴片贴合在掩膜版上，并且第一调整组件和第二调整组件不再出现任何位置变化时，只要将掩膜版固定夹持住，就可以使贴片进行贴合，贴合时，只需要第一推顶件进行推顶即可；压板将掩膜版压在第二
调整组件上，贴片位于掩膜版下方，第三调整组件位于贴片的下方。
附图说明
14.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
15.图1为本发明提供的整体的结构示意图；
16.图2图1隐藏了压板后的结构示意图；
17.图3为本发明中第一调整组件和摄像机配合处的结构示意图；
18.图4为图3在另一个方向上的结构示意图；
19.图5为本发明中第二调整组件、支柱和掩膜版配合处的结构示意图；
20.图6为图5在另一个方向上的结构示意图；
21.图7为第三调整组件、支柱和支撑台配合处的结构示意图；
22.图8为图7在另一个方向上的结构示意图；
23.图中：
24.1、机架，2、第一调整组件，3、支柱，4、第一推顶件，5、摄像机，6、第二调整组件，7、压板，8、支撑台，9、第三调整组件，10、掩膜版，11、贴片，12、第二夹持座，13、第二推顶件，14、支撑柱，15、第二底板，16、第二xz调整结构，17、第一转台，18、第二转台，19、转台推顶件，20、凸块，21、旋塞，22、转台锁止件，23、第三夹持座，24、第三推顶件，25、第三xz调整结构，26、微调底座，27、微调推顶件，28、微调平台，29、微调传导件，30、第一xz调整结构，31、y向调整结构。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本发明保护的范围。
26.如图1～图8所示，本实施例提出了一种多参考点高精度掩膜版10贴片11装置，包括机架1，设于机架1上的第一调整组件2、支柱3和第一推顶件4，设于第一调整组件2上的摄像机5，设于支柱3顶端的第二调整组件6，设于第二调整组件6上的压板7，设于第一推顶件4顶端的支撑台8，设于支撑台8上的第三调整组件9，第三调整组件9位于掩膜版10的下方，掩膜版10位于压板7和第二调整组件6之间，贴片11位于第三调整组件9和掩膜版10之间，摄像机5借助第一调整组件2实现在空间xyz三个方向的移动，压板7和掩膜版10借助第二调整组件6实现在xz方向的移动和绕y轴的转动，贴片11借助第三调整组件9实现xyz方向的微调，第三调整组件9借助第一推顶件4实现y方向上的移动，摄像机5为两个且始终位于同一高度上，贴片11借助第三调整组件9贴合在掩膜版10上。
27.本实施例中，第一调整组件2设置在机架1上，摄像机5设置在第一调整组件2上，由于第一调整组件2能输出xyz三个方向上的移动，因此摄像机5就可以实现在xyz三个方向上的移动，摄像机5用于捕捉掩膜版10上的标记，由于摄像机5设置为两个，因此可以在掩膜版10上至少设置两个不同位置的标记点，两个摄像机5的高度始终保持一致，只要检测到摄像机5中捕捉的标记清晰度一致，那么则可以证明掩膜版10的板面与水平面完全平行，只有在
掩膜版10处于完全水平的状态下，贴片11贴上后位置才最好；支柱3设置在机架1上，第二调整组件6设置在支柱3的顶端，第二调整组件6可以输出沿xz方向的移动和绕y轴的转动，掩膜版10设置在第二调整组件6的输出端上，因此，掩膜版10可以进行沿xz方向的移动和绕y轴的转动，针对摄像机5对掩膜版10上标记的捕捉，第一调整组件2用于大调，在摄像机5捕捉到标记后，为了进一步保证捕捉标记的稳定性和准确性，可以使用第二调整组件6对掩膜版10在空间上的位置和姿态进行调整，以使掩膜版10位于最佳的贴片11状态，第一调整组件2和第二调整组件6的组合形式，降低了对摄像机5的位置调整的要求；支撑台8设置在第一推顶件4的推顶端上，支撑台8上放置第三调整组件9，贴片11放置在第三调整组件9上，第三调整组件9可以实现沿xyz方向的微调，第一推顶件4的推顶端可以沿竖直方向移动，由于贴片11位于掩膜版10的下方，因此，贴片11可以借助第一推顶件4迅速的靠近，当第一推顶件4达到极限位置后，再通过第三调整组件9对贴片11的位置进行微调，然后将贴片11完全贴在掩膜版10上，针对相同规格的掩膜版10和贴片11，只要初次调整后，就可以通过控制第一推顶件4的运动实现贴片11贴合在掩膜版10上，并且第一调整组件2和第二调整组件6不再出现任何位置变化时，只要将掩膜版10固定夹持住，就可以使贴片11进行贴合，贴合时，只需要第一推顶件4进行推顶即可；压板7将掩膜版10压在第二调整组件6上，贴片11位于掩膜版10下方，第三调整组件9位于贴片11的下方。
28.本发明提供的一种多参考点高精度掩膜版10贴片11装置，当通过参考点将掩膜版10的位置调整好之后，就可以对第一调整组件2和第二调整组件6进行锁定，然后再利用第三调整组件9将贴片11的位置调整好后，再锁定第三调整组件9，此时，只需要更换掩膜版10和贴片11，并且使第一推顶件4进行推顶，就可以完成对掩膜版10的贴片11工作，并且还能保证贴片11与掩膜版10之间保持最大的接触面积。适用于大批量对掩膜版10进行贴片11的操作。
29.如图3～图4所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了第一调整组件2为两个且与两个摄像机5一一对应设置，两个摄像机5借助对应的第一调整组件2互不干涉，压板7开设有凹槽，掩膜版10上的标记点位于凹槽的投影内，摄像机5经过调整位于凹槽的正上方且用于捕捉掩膜版10上的标记点。
30.本实施例中，由于摄像机5为两个，为了避免两个摄像机5之间的干涉行为，可以设置两个第一调整组件2，两个摄像机5分别设置在对应的第一调整组件2上，这样更容易实现两个摄像机5各自独立的运行，只要保证两个摄像机5位于同一个高度上，就可以保证摄像机5捕捉到的标记的清晰度是满足要求的，一旦两个摄像机5捕捉的标记的清晰度都满足要求，就可以保证掩膜版10位于水平面内，压板7用于将掩膜版10按压在第二调整组件6上，为了避免压板7对摄像机5的捕捉动作造成影响，可以在压板7上开设凹槽，掩膜版10上的标记处在凹槽的投影内，凹槽在掩膜版10进行投影。
31.如图5～图6所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了第二调整组件6包括第二夹持件和第二微调件，第二夹持件包括第二夹持座12和第二推顶件13，掩膜版10卡设在第二夹持座12和第二推顶件13之间，第二夹持座12上设置有支撑柱14，掩膜版10卡设在支撑柱14和压板7之间，第二微调件包括第二底板15、第二xz调整结构16和旋转结构，旋转结构包括第一转台17和第二转台18，第二转台18转动设于第一转台17上，第一转台17连接有转台推顶件19，第二转台18具有凸块20，转台推顶件19的推顶端推顶凸块20。
32.本实施例中，第二调整组件6包括第二夹持件和第二微调件，第二夹持件包括第二夹持座12和第二推顶件13，掩膜版10卡设在第二夹持座12和第二推顶件13之间，即，第二夹持座12和第二推顶件13都对掩膜版10的竖向侧面进行夹持，并且设置在对称侧，这样就能避免掩膜版10在水平面上的移动和转动，第二夹持座12上设置支撑柱14，掩膜版10的底面与支撑柱14接触，顶面与压板7接触，这样就可以将掩膜版10完全夹持住；为了实现对掩膜版10在空间位置上的微调，第二微调件包括第二底板15、第二xz调整结构16和旋转结构，旋转结构包括第一转台17和第二转台18，第二转台18转动设置在第一转台17上，第一转台17的外缘连接有转台推顶件19，第二转台18具有凸块20，转台推顶件19的推顶端与凸块20保持接触，当转台推顶件19对凸块20进行推顶的时候，第二转台18相对于第一转台17出现转动，第一转台17设置在第二xz调整结构16上，第二夹持件设置在第二转台18上。
33.如图5～图6所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了第二微调件还包括旋塞21和转台锁止件22，旋塞21设于第一转台17的外部且端部接触凸块20的另一侧，转台锁止件22设于第一转台17上且端部抵接第二转台18。
34.本实施例中，为了实现第二转台18可以反方向转动，第二微调件还包括了旋塞21和转台锁止件22，旋塞21设置在第一转台17的外部，并且旋塞21的端部也抵接在凸块20的外部，即旋塞21和转台推顶件19设置在凸块20的对称侧，旋塞21配合转台推顶件19可以实现第二转台18的正反向转动，在第二转台18转动到合适位置后，可以依靠转台锁止件22对第二转台18和第一转台17之间进行相对锁定。转台锁止件22具有螺纹部，第一转台17上开设螺纹孔，转台锁止件22穿设在螺纹孔内，当转台锁止件22进行转动时，转台锁止件22的端部可以抵接在第二转台18上，以实现第一转台17相对于第二转台18的锁定。
35.如图7～图8所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了第三调整组件9为两个且对称设置在第二调整组件6的两侧，第三调整组件9包括第三夹持件和第三微调件，第三夹持件包括第三夹持座23和第三推顶件24，第三夹持座23具有用于放置贴片11的承载面，第三推顶件24配合第三夹持座23卡紧贴片11，第三微调件包括第三xz调整结构25和y向微调结构，y向微调结构包括微调底座26、微调推顶件27、微调平台28和微调传导件29，微调底座26设于第三xz调整结构25上，微调平台28沿y方向滑动设于微调底座26上，微调传导件29转动设于微调底座26上并借助微调推顶件27的推顶使微调平台28进行移动，第三xz调整结构25设于支撑台8上。
36.本实施例中，由于贴片11为两个，并且两个贴片11都贴合在掩膜版10上，为了保证同时进行贴合，可以将第三调整组件9的数量设置为与贴片11数量一致，即第三调整组件9的数量为两个，两个第三调整组件9对称设置在第二调整组件6的两侧。第三调整组件9包括第三夹持件和第三微调件，第三夹持件包括第三夹持座23和第三推顶件24，第三夹持座23上设置有承载面，贴片11放置在承载面上，第三推顶件24设置在第三夹持座23上，并且第三夹持件可以与第三夹持座23配合卡在贴片11的竖向侧面，这样就能保证贴片11在水平面内不会有移动和转动，承载面再对贴片11进行承托，就能保证贴片11跟随第三调整组件9进行移动，并且在贴片11贴合在掩膜版10上后，贴片11会自然与第三调整组件9分开。第三微调件包括第三xz调整结构25和y向微调结构，第三xz调整结构25用于输出沿x和z方向上的微调移动，y向微调结构用于输出沿y向的微调移动，y向微调结构包括微调底座26、微调推顶件27、微调平台28和微调传导件29，微调底座26设置在第三xz调整结构25上，微调平台28沿
y向滑动设置在微调底座26上，微调推顶件27设置在微调底座26的外缘上，微调传导件29设置在微调底座26上并用于将动力传递给微调平台28，这样微调推顶件27就可以设置在其他方向上，进而对y向进行避让，以避免对贴片11的贴合操作产生干涉。
37.如图7～图8所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了微调传导件29具有呈v型的导脚，导脚转动设于微调底座26上，微调平台28具有凸起，导脚分别与凸起和微调推顶件27的推顶端接触。
38.本实施例中，为了进一步实现微调推顶件27在其他方向上的布置情况，可以将微调传导件29选择为呈现v型的导脚，导脚转动设置在微调底座26上，微调平台28设置有凸起，导脚的两端分别与微调平台28和微调推顶件27的推顶端保持接触，当导脚中的v型部夹角比较大时，就可以将微调推顶件27放置在距离y向夹角大的平面内。
39.如图3～图4所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了第一调整组件2包括第一xz调整结构30和y向调整结构31，第一xz调整结构30设于机架1上，y向调整结构31设于第一xz调整结构30上，摄像机5设于y向调整结构31上。
40.本实施例中，为了实现摄像机5的位置调整，第一调整组件2包括第一xz调整结构30和y向调整结构31，y向调整结构31能输出沿y向的移动，摄像机5设置在y向调整结构31的输出端上，第一xz调整结构30能够输出沿x和z向上的移动，y向调整结构31设置在第一xz调整结构30上，xyz三个方向上的移动互不干涉。
41.如图3～图8所示，基于与上述实施例1相同的构思，本实施例还提出了第一xz调整结构30、第二xz调整结构16和第三xz调整结构25中的结构相同，并且输出同样沿x和z方向的移动。
42.本实施例中，为了降低整个装置的复杂程度，并且由于第一xz调整结构30、第二xz调整结构16和第三xz调整结构25输出的移动都是相同的互不干涉的x向和z向的移动，因此，可以将第一xz调整结构30、第二xz调整结构16和第三xz调整结构25的内部结构设置成完全相同的形式，可以根据针对的受力件不同选择合适的尺寸。即x向的移动是由推顶件实现，并且开可以进行自锁，z向的移动也是由推顶件实现，并且也可以进行自锁。由于x和z向上的移动互不干涉，因此，在空间方位上，两者对应的结构并没有限制。
43.需要说明的是，本发明中，第一推顶件4选择为气缸的形式，其余所有的推顶件和xyz方向上的移动调整件，都选择为手动的形式，因为手动更容易得到控制。
44.以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

1.一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，包括机架(1)，设于所述机架(1)上的第一调整组件(2)、支柱(3)和第一推顶件(4)，设于所述第一调整组件(2)上的摄像机(5)，设于所述支柱(3)顶端的第二调整组件(6)，设于所述第二调整组件(6)上的压板(7)，设于所述第一推顶件(4)顶端的支撑台(8)，设于所述支撑台(8)上的第三调整组件(9)，所述第三调整组件(9)位于掩膜版(10)的下方，掩膜版(10)位于所述压板(7)和所述第二调整组件(6)之间，贴片(11)位于所述第三调整组件(9)和掩膜版(10)之间，其特征在于，所述摄像机(5)借助所述第一调整组件(2)实现在空间xyz三个方向的移动，所述压板(7)和掩膜版(10)借助所述第二调整组件(6)实现在xz方向的移动和绕y轴的转动，所述贴片(11)借助所述第三调整组件(9)实现xyz方向的微调，所述第三调整组件(9)借助所述第一推顶件(4)实现y方向上的移动，所述摄像机(5)为两个且始终位于同一高度上，所述贴片(11)借助所述第三调整组件(9)贴合在所述掩膜版(10)上。2.根据权利要求1所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述第一调整组件(2)为两个且与两个所述摄像机(5)一一对应设置，两个所述摄像机(5)借助对应的所述第一调整组件(2)互不干涉，所述压板(7)开设有凹槽，所述掩膜版(10)上的标记点位于凹槽的投影内，所述摄像机(5)经过调整位于所述凹槽的正上方且用于捕捉所述掩膜版(10)上的标记点。3.根据权利要求2所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述第二调整组件(6)包括第二夹持件和第二微调件，所述第二夹持件包括第二夹持座(12)和第二推顶件(13)，所述掩膜版(10)卡设在所述第二夹持座(12)和所述第二推顶件(13)之间，所述第二推顶件(13)设于所述第二夹持座(12)上，所述第二夹持座(12)上设置有支撑柱(14)，所述掩膜版(10)卡设在所述支撑柱(14)和所述压板(7)之间，所述第二微调件包括第二底板(15)、第二xz调整结构(16)和旋转结构，所述旋转结构包括第一转台(17)和第二转台(18)，所述第二转台(18)转动设于所述第一转台(17)上，所述第一转台(17)连接有转台推顶件(19)，所述第二转台(18)具有凸块(20)，所述转台推顶件(19)的推顶端推顶所述凸块(20)，所述第二底板(15)设于所述支柱(3)上，所述第二xz调整结构(16)设于所述第二底板(15)上，所述第一转台(17)设于所述第二xz调整结构(16)上，所述第二夹持座(12)设于所述第二转台(18)上。4.根据权利要求3所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述第二微调件还包括旋塞(21)和转台锁止件(22)，所述旋塞(21)设于所述第一转台(17)的外部且端部接触所述凸块(20)的另一侧，所述转台锁止件(22)设于所述第一转台(17)上且端部抵接所述第二转台(18)。5.根据权利要求4所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述第三调整组件(9)为两个且对称设置在所述第二调整组件(6)的两侧，所述第三调整组件(9)包括第三夹持件和第三微调件，所述第三夹持件包括第三夹持座(23)和第三推顶件(24)，所述第三夹持座(23)具有用于放置贴片(11)的承载面，所述第三推顶件(24)配合所述第三夹持座(23)卡紧所述贴片(11)，所述第三微调件包括第三xz调整结构(25)和y向微调结构，所述y向微调结构包括微调底座(26)、微调推顶件(27)、微调平台(28)和微调传导件(29)，所述微调底座(26)设于所述第三xz调整结构(25)上，所述微调平台(28)沿y方向滑动设于所述微调底座(26)上，所述微调传导件(29)转动设于所述微调底座(26)上并借助所述微调推
顶件(27)的推顶使所述微调平台(28)进行移动，所述第三xz调整结构(25)设于所述支撑台(8)上。6.根据权利要求5所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述微调传导件(29)具有呈v型的导脚，所述导脚转动设于所述微调底座(26)上，所述微调平台(28)具有凸起，所述导脚分别与所述凸起和所述微调推顶件(27)的推顶端接触。7.根据权利要求6所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述第一调整组件(2)包括第一xz调整结构(30)和y向调整结构(31)，所述第一xz调整结构(30)设于所述机架(1)上，所述y向调整结构(31)设于所述第一xz调整结构(30)上，所述摄像机(5)设于所述y向调整结构(31)上。8.根据权利要求7所述的一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，其特征在于，所述第一xz调整结构(30)、所述第二xz调整结构(16)和所述第三xz调整结构(25)中的结构相同，并且输出同样沿x和z方向的移动。

技术总结

本发明涉及掩膜版刻划技术领域，提出了一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，包括机架，设于机架上的第一调整组件、支柱和第一推顶件，设于第一调整组件上的摄像机，设于支柱顶端的第二调整组件，设于第二调整组件上的压板，设于第一推顶件顶端的支撑台，设于支撑台上的第三调整组件，第三调整组件位于掩膜版的下方，掩膜版位于压板和第二调整组件之间，贴片位于第三调整组件和掩膜版之间，压板和掩膜版实现在XZ方向的移动和绕Y轴的转动，贴片借助第三调整组件实现XYZ方向的微调，摄像机为两个且用于定位掩膜版的位置，贴片借助第三调整组件贴合在掩膜版上。通过上述技术方案，解决了相关技术中设备贴合精度不高的问题。决了相关技术中设备贴合精度不高的问题。决了相关技术中设备贴合精度不高的问题。