一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置的制作方法

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1.本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置。

背景技术：

2.常压化学气相沉积炉在对物料进行提纯加工的过程中，会产生大量挥发物，大量挥发物经过常压化学气相沉积炉内部的反映后，需要通过净化处理后，达到排放标准才能正常的进行尾气的排放，常压化学气相沉积炉上的进气管道直接与常压化学气相沉积炉的内部连通，用于气体的输入。
3.常压化学气相沉积炉内部产生的挥发物沾附在进气管道上后，容易不断的累积，过多时会直接影响进气管道的正常输送，需要定期对进气管道进行清理，保持进气管道的正常通气。
4.在现有技术中，现有的化学气相沉积炉进气管道在安装使用时，需要人工进行维护和清理，保持进气管道的通畅性，由于化学气相沉积炉内部的挥发气体在与进气管道的端面接触时会直接附着在进气管道的内壁，尤其在进气管道不输送气体状态下，化学气相沉积炉内部的挥发物气体易发生回流的现象，导致进气管道内部发生堵塞。
5.因此，有必要提供一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置解决上述技术问题。

技术实现要素：

6.本实用新型提供一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，解决了化学气相沉积炉的进气管道易受到挥发物的附着而产生堵塞的问题。
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，包括：进气管；封堵组件，所述封堵组件包括固定板和密封轴，所述固定板固定安装在所述进气管上，所述密封轴固定安装于所述固定板上；伸缩组件，所述伸缩组件包括固定罩和伸缩件，所述固定罩固定安装在所述进气管上，所述固定罩上安装有伸缩件；活塞环，所述活塞环固定安装于所述伸缩件的轴端。
8.优选的，所述密封轴的半径为2cm，所述密封轴与所述进气管在同一轴线上。
9.优选的，所述活塞环包括罩体，所述罩体上开设有调节槽、连接孔和伸缩孔，所述调节槽与所述连接孔连通，所述调节槽与所述伸缩孔连通。
10.优选的，所述罩体固定安装在所述伸缩件的轴端，所述罩体滑动安装于所述进气管上。
11.优选的，所述连接孔与所述固定板相适配，所述密封轴滑动安装在所述伸缩孔上。
12.优选的，所述罩体上开设有安装槽，所述安装槽上安装有驱动组件，所述驱动组件包括驱动电机、驱动齿轮和从动齿环，所述从动齿环上固定安装有旋转罩，所述旋转罩上安装有清扫刮板。
13.优选的，所述驱动电机镶嵌安装在所述安装槽上，所述驱动齿轮固定安装在所述
驱动电机的轴端，所述从动齿环啮合安装在所述驱动齿轮上。
14.优选的，所述旋转罩转动安装在所述罩体上，所述清扫刮板抵接安装在所述进气管上。
15.与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置具有如下有益效果：
16.本实用新型提供一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，通过在进气管的输出端安装有可伸缩调控的活塞环，方便在无气体输入时关闭且对进气管的输出端进行封堵，防止化学气相沉积炉内部的气体回流，同时减少挥发物进入进气管道的内部而造成堵塞的现象，在进气管的内部通气至正压状态时，打开活塞环，使得气体不会发生回流，避免了气体中的挥发物附着在进气管上，防止进气管发生附着堵塞的现象。
附图说明
17.图1为本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置的第一实施例的三维图；
18.图2为图1所示的整体的结构示意图；
19.图3为图2所示的活塞环部分的三维图；
20.图4为本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置的第二实施例的三维图；
21.图5为图4所示的a部放大示意图。
22.图中标号：
23.1、进气管；
24.2、封堵组件，21、固定板，22、密封轴；
25.3、伸缩组件，31、固定罩，32、伸缩件；
26.4、活塞环，41、罩体，42、调节槽，43、连接孔，44、伸缩孔，45、安装槽；
27.5、驱动组件，51、驱动电机，52、驱动齿轮，53、从动齿环；
28.6、旋转罩；
29.7、清扫刮板。
具体实施方式
30.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
31.第一实施例：
32.请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置的第一实施例的三维图；图2为图1所示的整体的结构示意图；图3为图2所示的活塞环部分的三维图。
33.一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，包括：进气管1；封堵组件2，所述封堵组件2包括固定板21和密封轴22，所述固定板21固定安装在所述进气管1上，所述密封轴22固定安装于所述固定板21上；伸缩组件3，所述伸缩组件3包括固定罩31和伸缩件32，所述固定罩31固定安装在所述进气管1上，所述固定罩31上安装有伸缩件32；活塞环4，所述活塞环4固定安装于所述伸缩件32的轴端。
34.通过在进气管1的输出端安装有可伸缩调控的活塞环4，方便在无气体输入时关闭且对进气管1的输出端进行封堵，防止化学气相沉积炉内部的气体回流，同时减少挥发物进入进气管道1的内部而造成堵塞的现象，在进气管1 的内部通气至正压状态时，打开活塞环4，使得气体不会发生回流，避免了气体中的挥发物附着在进气管1上，防止进气管1发生附着堵塞的现象。
35.所述密封轴22的半径为2cm，所述密封轴22与所述进气管1在同一轴线上。
36.伸缩件32采用液压伸缩缸，使用时配备现有的液压设备和控制设备，为伸缩件32轴端的伸缩调节提供动力的来源；
37.伸缩件32方便带动罩体41同步移动调节。
38.所述活塞环4包括罩体41，所述罩体41上开设有调节槽42、连接孔43 和伸缩孔44，所述调节槽42与所述连接孔43连通，所述调节槽42与所述伸缩孔44连通。
39.罩体41在伸缩件32的控制下能够伸缩调节；
40.罩体41向外伸展时，连接孔43开启，伸缩孔44开启，方便进气管1内部气体输入化学气相沉积炉的内部；
41.罩体41向内收缩时，连接孔43收缩在进气管1的内部实现关闭，伸缩孔 44收缩在密封轴22表面实现关闭，达到不需要输送气体时的密封，从而防止气体无输送时化学气相沉积炉内部携带挥发物的回流现象。
42.所述罩体41固定安装在所述伸缩件32的轴端，所述罩体41滑动安装于所述进气管1上。
43.所述连接孔43与所述固定板21相适配，所述密封轴22滑动安装在所述伸缩孔44上。
44.本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置的工作原理如下：
45.使用时，优先在进气管1上输入气体，气体压强高度化学气相沉积炉内部的压强；
46.启动伸缩件32，伸缩件32控制活塞环4向外滑动，使得活塞环4展开，保障正常的气体输入；
47.在不需要注入气体时，保持气体输入的恒定状态，优先启动伸缩件32，伸缩件32带动活塞环4收缩且复位后，再关闭气体输入。
48.与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置具有如下有益效果：
49.通过在进气管1的输出端安装有可伸缩调控的活塞环4，方便在无气体输入时关闭且对进气管1的输出端进行封堵，防止化学气相沉积炉内部的气体回流，同时减少挥发物进入进气管道1的内部而造成堵塞的现象，在进气管1 的内部通气至正压状态时，打开活塞环4，使得气体不会发生回流，避免了气体中的挥发物附着在进气管1上，防止进气管1发生附着堵塞的现象。
50.第二实施例：
51.请参阅图4和图5，基于本技术的第一实施例提供的一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，本技术的第二实施例提出另一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。
52.具体的，本技术的第二实施例提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置的不同之处在于，化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，还包括：
53.所述罩体41上开设有安装槽45，所述安装槽45上安装有驱动组件5，所述驱动组件5包括驱动电机51、驱动齿轮52和从动齿环53，所述从动齿环 53上固定安装有旋转罩6，所述旋转罩6上安装有清扫刮板7。
54.通过驱动组件5方便带动旋转罩6转动调节，旋转罩6转动调节时能够同步带动清扫刮板7进行旋转，在罩体41处于收起状态时，清扫刮板7旋转时能够提前对进气管1输出端的端面进行清灰和预处理，防止进气管1的端面残留的附着物会落在活塞环4的内部，保障设备运行的稳定性。
55.所述驱动电机51镶嵌安装在所述安装槽45上，所述驱动齿轮52固定安装在所述驱动电机51的轴端，所述从动齿环53啮合安装在所述驱动齿轮52 上。
56.驱动电机51使用时连接外界的电源，驱动电机51为驱动齿轮52的转动调节提供动力的来源，驱动齿轮52转动时能够同步带动从动齿环53转动，从动齿环53转动时能够同步带动旋转罩6转动，旋转罩6同步带动清扫刮板7 旋转，以便于进气管1的端面进行清扫和维护。
57.所述旋转罩6转动安装在所述罩体41上，所述清扫刮板7抵接安装在所述进气管1上。
58.罩体41为旋转罩6的转动调节提供稳定的动力来源，清扫刮板7安装在旋转罩6上，且在罩体41处于收起状态时能够对进气管1输入端的端面进行清扫和刮灰，方便对附着物的清扫。
59.本实用新型提供的第二实施例的工作原理：
60.需要对进气管1输入端的端面进行清灰时，优先启动伸缩件32，伸缩件 32带动活塞环4收缩，清扫刮板7的表面抵接在进气管1上；
61.启动驱动电机51，清扫刮板7旋转且对进气管1进行清扫和自动维护，以便于化学气相沉积炉内部的进气管道进行自动维护。
62.本实用新型提供的第二实施例的有益效果：
63.通过驱动组件5方便带动旋转罩6转动调节，旋转罩6转动调节时能够同步带动清扫刮板7进行旋转，在罩体41处于收起状态时，清扫刮板7旋转时能够提前对进气管1输出端的端面进行清灰和预处理，防止进气管1的端面残留的附着物会落在活塞环4的内部，保障设备运行的稳定性。
64.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，包括：进气管；封堵组件，所述封堵组件包括固定板和密封轴，所述固定板固定安装在所述进气管上，所述密封轴固定安装于所述固定板上；伸缩组件，所述伸缩组件包括固定罩和伸缩件，所述固定罩固定安装在所述进气管上，所述固定罩上安装有伸缩件；活塞环，所述活塞环固定安装于所述伸缩件的轴端。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述密封轴的半径为2cm，所述密封轴与所述进气管在同一轴线上。3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述活塞环包括罩体，所述罩体上开设有调节槽、连接孔和伸缩孔，所述调节槽与所述连接孔连通，所述调节槽与所述伸缩孔连通。4.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述罩体固定安装在所述伸缩件的轴端，所述罩体滑动安装于所述进气管上。5.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述连接孔与所述固定板相适配，所述密封轴滑动安装在所述伸缩孔上。6.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述罩体上开设有安装槽，所述安装槽上安装有驱动组件，所述驱动组件包括驱动电机、驱动齿轮和从动齿环，所述从动齿环上固定安装有旋转罩，所述旋转罩上安装有清扫刮板。7.根据权利要求6所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述驱动电机镶嵌安装在所述安装槽上，所述驱动齿轮固定安装在所述驱动电机的轴端，所述从动齿环啮合安装在所述驱动齿轮上。8.根据权利要求7所述的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，其特征在于，所述旋转罩转动安装在所述罩体上，所述清扫刮板抵接安装在所述进气管上。

技术总结

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置。所述化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，包括：进气管；封堵组件，所述封堵组件包括固定板和密封轴，所述固定板固定安装在所述进气管上，所述密封轴固定安装于所述固定板上。本实用新型提供的化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，通过在进气管的输出端安装有可伸缩调控的活塞环，方便在无气体输入时关闭且对进气管的输出端进行封堵，防止化学气相沉积炉内部的气体回流，同时减少挥发物进入进气管道的内部而造成堵塞的现象，在进气管的内部通气至正压状态时，打开活塞环，使得气体不会发生回流，避免了气体中的挥发物附着在进气管上，防止进气管发生附着堵塞的现象。防止进气管发生附着堵塞的现象。防止进气管发生附着堵塞的现象。