一种单晶炉稳定装置的制作方法

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1.本技术涉及光伏技术领域，尤其涉及一种单晶炉稳定装置。

背景技术：

2.随着光伏技术的发展，对单晶制造的工艺要求越来越高，直拉单晶炉是应用较普遍的单晶炉。直拉单晶炉包括主室和副室，分别用于单晶硅棒的形成与物料转运。
3.在生产硅棒过程中，需要多次隔离并旋转副室进行加料、更换籽晶夹头、取晶棒等操作。
4.在旋转副室时，会造成副室内物体的晃动，导致副室内的物体与副室内壁发生碰撞，发生事故。

技术实现要素：

5.本实用新型实施例提供一种单晶炉稳定装置，以解决现有技术中单晶炉副室在旋转时，副室内物料晃动的问题。
6.本实用新型实施例提供一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；
7.所述固定壳体设置在所述单晶炉的主室与副室之间，所述固定壳体中部设置有通孔，所述通孔连通所述单晶炉的主室与副室；
8.所述稳定块位于所述固定壳体的通孔内；
9.所述固定壳体对称设置有第一安装孔，所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔与所述稳定块固定连接，所述伸缩件沿所述第一安装孔伸缩。
10.可选地，所述固定壳体的截面为圆形，所述固定壳体设置有两组对称的第一安装孔，两组所述第一安装孔的连线形成的直线互相垂直；
11.每个所述第一安装孔处固定设置所述伸缩件，所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔与所述稳定块固定连接。
12.可选地，所述固定壳体上对称设置有稳定块活动空间，所述稳定块活动空间用于容纳所述稳定块；
13.所述稳定块活动空间朝向所述固定壳体的外侧凸出，所述稳定块活动空间的形状与所述稳定块的形状相适应。
14.可选地，所述稳定块活动空间的凸起平面设置有所述第一安装孔；所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔，并与活动设置在所述稳定块活动空间的稳定块连接。
15.可选地，所述第一安装孔处设置有第一密封圈。
16.可选地，所述伸缩件包括气缸；
17.所述气缸内设置有活塞杆，所述活塞杆的一端伸出所述气缸并与所述稳定块固定连接，所述活塞杆的另一端在所述气缸内做伸缩活动。
18.可选地，所述气缸还包括气管，所述气管与设置在所述单晶炉外部的固定的气源
装置连接。
19.可选地，所述固定壳体与所述单晶炉的主室与副室接触的位置设置有第二密封圈。
20.可选地，所述稳定块包括：第一分部、第二分部、第三分部和第四分部；
21.所述第一分部、第二分部、第三分部和第四分部共同形成中空的容纳部。
22.可选地，所述第三分部设置有第二安装孔；
23.所述伸缩件的一端通过所述第二安装孔伸入所述容纳部，并通过螺栓与所述稳定块固定连接。
24.本实用新型公开了一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；固定壳体设置在单晶炉的主室与副室之间，固定壳体中部设置有通孔，通孔连通单晶炉的主室与副室；稳定块位于固定壳体的通孔内；固定壳体对称设置有第一安装孔，伸缩件的一端伸入第一安装孔与稳定块固定连接，伸缩件沿第一安装孔伸缩。通过对称设置的伸缩件，以及与伸缩件连接的稳定块，在需要对单晶炉内的硅棒固定时，伸缩件进行伸缩活动，推动稳定块向单晶炉的内腔延伸，对称延伸的稳定块可以对单晶炉副室内的硅棒进行夹持，进而起到硅棒的稳定作用，避免硅棒在副室内晃动，触碰到副室内壁造成安全事故。
25.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
27.图1为本实用新型实施例提供的一种单晶炉稳定装置截面图；
28.图2为本实用新型实施例提供的一种单晶炉稳定装置装配图；
29.图3为本实用新型实施例提供的一种单晶炉稳定装置工作状态图。
30.附图标记：
31.11-固定壳体；12-稳定块；13-伸缩件；14-稳定块活动空间；15-第一安装孔；16-第二安装孔；17-第一密封圈；21-副室；22-主室；131-活塞杆；132-气缸；121-第一分部；122-第二分部；123-第三分部；124-第四分部。
具体实施方式
32.下面将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。虽然附图中显示了本实用新型的示例性实施例，然而应当理解的是，还可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。
33.参照图1、图2所示，本实用新型实施例公开了一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体11，至少两个稳定块12和至少两个伸缩件13；固定壳体11设置在单晶炉的主室22与副室21之间，固定壳体11中部设置有通孔，通孔连通单晶炉的主室22与副室21；稳定块12位于固
定壳体11的通孔内；固定壳体11对称设置有第一安装孔15，伸缩件13的一端伸入第一安装孔15与稳定块12固定连接，伸缩件13沿第一安装孔15伸缩。
34.具体地，固定壳体11安装于副室21下部的隔离阀仓的下端口，位于主室22与副室21之间，并连通主室22与副室21，固定壳体上用于安装伸缩件与稳定块，在固定壳体11上设置第一安装孔，伸缩件13设置在固定壳体11外侧，稳定块12设置于固定壳体11的通孔内，并通过第一安装孔15将外侧的伸缩件13与内侧的稳定块12固定连接。通过伸缩件13的伸缩作用，带动稳定块12在副室内腔推近，对称设置的至少两个稳定块12同步推近后，可以对副室21内的硅棒或料筒起到夹持作用，避免硅棒或料筒在副室内晃动。
35.稳定块12可以限制副室内料筒、籽晶、夹头、晶棒等部件的摆动空间，以达到稳定作用，稳定块12材质可以为合成石、聚四氟乙烯，能反复在高温和室温下稳定工作不变形，稳定块的材质还可以采用其它耐高温材料。本实用新型实施例在此不做限定。
36.伸缩件13固定设置在第一安装孔15的位置处。伸缩件13可伸缩的一端与稳定块12固定连接，以带动稳定块运动，伸缩件可以为在需要对副室内的硅棒或料筒固定时，人为的开启稳定块的工作，或者也可以通过自动检测硅棒或料筒是否到达预设位置，自动开始工作。
37.例如，在采用多次加料拉晶工艺制备单晶时，加料过程中，当料筒在放入副室并下降到预设位置，即稳定块12所在位置后，稳定块12开始工作，伸缩件13带动稳定块向前推近，对称设置的稳定块可以缩小料筒的晃动空间，使得料筒在放入和取出过程中不因副室旋转惯性导致料筒和副室内壁碰撞，同时还可实现料筒放入和提出过程中的自动化工步衔接，提升效率。
38.另外，在取晶棒过程中，当单晶硅棒的末端提升至预设位置时，同理伸缩件带动稳定块向前推近，稳定单晶硅棒，避免单晶硅棒在旋转取出过程中，晶棒画弧摆动，或其他因素造成的单晶硅棒的晃动导致发生的碰撞。在更换籽晶和石墨夹头后，稳定块还可以稳定石墨夹头，以保证在调温熔接前籽晶的稳定状态，避免因为籽晶晃动导致异常。
39.综上，本实用新型公开了一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；固定壳体设置在单晶炉的主室与副室之间，固定壳体中部设置有通孔，通孔连通单晶炉的主室与副室；稳定块位于固定壳体的通孔内；固定壳体对称设置有第一安装孔，伸缩件的一端伸入第一安装孔与稳定块固定连接，伸缩件沿第一安装孔伸缩。通过对称设置的伸缩件，以及与伸缩件连接的稳定块，在需要对单晶炉内的硅棒固定时，伸缩件进行伸缩活动，推动稳定块向单晶炉的内腔延伸，对称延伸的稳定块可以对单晶炉副室内的硅棒进行夹持，进而起到硅棒的稳定作用，避免硅棒在副室内晃动，触碰到副室内壁造成安全事故。
40.可选地，参考图1、图3，固定壳体11的截面为圆形，固定壳体11设置有两组对称的第一安装孔15，两组第一安装孔15的连线形成的直线互相垂直；每个第一安装孔15处固定设置伸缩件13，伸缩件13的一端伸入第一安装孔15与稳定块12固定连接。
41.具体地，固定壳体为圆柱形的壳体，可以对称设置四个第一安装孔15以安装伸缩件与稳定块，第一安装孔可以设置在两组第一安装孔15的连线形成的直线互相垂直的位置，设置对称的两组第一安装孔，并对应设置伸缩件与稳定块，在稳定块向前推进时，四个稳定块可以牢牢的固定在单晶硅棒的周边，避免单晶硅棒的晃动。第一安装孔也可以设置
三个、五个、六个等，相邻的两个第一安装孔之间间隔的距离相同，伸缩件与稳定块可以对应第一安装孔的位置进行设置，本实用新型实施例在此不做限定。
42.进一步地，在拉晶过程放入料筒的过程中，当料筒旋至主室上方后，可将稳定装置接入自动控制面板中，当料筒提入至副室内，控制单元输出指令给控制面板，气缸开始工作，四个活塞杆同步推近，实现料筒提入的自动化，无需人工手动使用无尘布稳住料筒，节约了人力，且提高了操作的可靠性。同理，取晶棒、更换籽晶和石墨夹头等步骤都可以以同样的方式实现自动化，实现制备单晶硅棒各流程的自动化，提高了生产效率。
43.可选地，参照图3所示，所述固定壳体11上对称设置有稳定块活动空间14，稳定块活动空间14用于容纳稳定块12；稳定块活动空间14朝向固定壳体11的外侧凸出，稳定块活动空间14的形状与稳定块12的形状相适应。
44.具体地，稳定块活动空间14对称朝向固定壳体11的外侧凸出，凸出的空间与稳定块12占用空间的大小相等，设置稳定块活动空间可以避免稳定块12处于副室21内腔，影响单晶硅的成晶过程。稳定块12的形状可以为方形，也可以为圆形或其他不规则形状，相应的，稳定块活动空间14可以与稳定块12的形状相适应设置，稳定块活动空间可以与壳体为一体成型设置，本实用新型实施例在此不做限定。
45.进一步地，若稳定块12的体积较小，处于固定壳体的通孔内时，占用的空间有限，对单晶生成的影响较小，此时，在固定壳体11上无需设置稳定块活动空间。稳定块可以在贴合固定壳体内壁的位置与固定壳体中轴线之间的距离内进行活动。
46.可选地，参照图1所示，稳定块活动空间14的凸起平面设置有第一安装孔15；伸缩件13的一端伸入第一安装孔15，并与活动设置在稳定块活动空间14的稳定块12连接。
47.具体地，稳定块活动空间14用于容纳稳定块12，第一安装孔15可以设置在稳定块活动空间14的凸起平面的中间位置，相应的，伸缩件13固定设置在凸起平面的外侧，通过第一安装孔15与凸起平面内的稳定块固定连接。
48.可选地，参照图2所示，第一安装孔15处设置有第一密封圈。
49.具体地，第一安装孔15处设置有第一密封圈17，第一密封圈17用于隔离第一安装孔处的空气流通，避免伸缩件13在伸缩时的空隙，影响单晶炉工作时的密封性能，进而影响炉内的温度与单晶硅的成晶过程，第一密封圈可以为耐高温材质，比如聚四氟乙烯、全氟橡胶等材质，以起到密封单晶炉内外的作用，本实用新型实施例在此不做限定。
50.可选地，参照图3所示，伸缩件13包括气缸132；气缸132内设置有活塞杆131，活塞杆131的一端伸出气缸132并与稳定块12固定连接，活塞杆131的另一端在气缸内做伸缩活动。
51.具体地，伸缩件13包括气缸132，气缸132内的活塞杆131可以在气缸内气体的推动下，向前活动，活塞杆的一端穿过第一安装孔15、第二安装孔16后与稳定块12固定连接，活塞杆可以为耐高温的材质，以适应单晶炉内的高温，活塞杆131在气缸132内的一端与气缸连接，连接方式可以为弹性连接，以使得活塞杆可伸缩。
52.进一步地，当料筒或单晶硅棒达到预设位置时，活塞杆131的一侧供气聚能产生气压，气压推动活塞杆伸出，带动稳定块向前推动，形成夹持料筒或单晶硅棒的空间。活塞杆131在气缸内的一端与气缸之间可以通过弹簧连接，在稳定块12工作完成后，活塞杆131可以在弹簧的作用下回到气缸内的初始位置。
53.另外，伸缩件还可以设置为电动的形式，通过电力作用伸缩，并推动活塞杆的活动，本实用新型实施例在此不做限定。
54.可选地，气缸132还包括气管，气管与设置在单晶炉外部的固定的气源装置连接。
55.具体地，气缸132内设置有气管，气管用于提供压缩空气，气管与单晶炉外壁的气源装置连接，气源装置用于给气缸供气，气源装置可以固定设置在靠近单晶炉外壁的位置处。
56.可选地，参考图2，固定壳体11与单晶炉的主室22与副室21接触的位置设置有第二密封圈。
57.具体地，固定壳体11与单晶炉的主室22接触的位置，设置有第二密封圈，在主室与副室连通时，第二密封圈可以保证主室与副室连通的密封性，避免接触位置的间隙影响单晶硅的生长过程，第二密封圈可以为耐高温材质，比如聚四氟乙烯、全氟橡胶等材质，本实用新型实施例在此不做限定。
58.可选地，参照图3所示，稳定块12包括：第一分部121、第二分部122、第三分部123和第四分部124。第一分部121、第二分部122、第三分部123和第四分部124共同形成中空的容纳部。
59.具体地，参照图3所示，稳定块12为中空的方形块状结构，第一分部121与第二分部122分别位于第三分部123的两端，并高于第三分部123，第四分部124与第三分部123对称设置，形成中空的容纳部，第四分部124可以活动连接第一分部121与第二分部122。
60.进一步地，容纳部用于容纳伸缩件13与稳定块12固定连接的一端。同时，活动设置的第四分部144，还用于方便稳定块12与伸缩件13的装卸，可以将第四分部旋开，使用螺栓安装伸缩件伸入稳定块的一端，在稳定块与伸缩件安装完成后，可以将第四分部124闭合。另外，可以不设置容纳部，在安装块中与伸缩件安装的一面打孔，将伸缩件的一端通过孔洞与稳定块固定，本实用新型实施例在此不做限定。
61.可选地，参照图3所示，第三分部123设置有第二安装孔16；伸缩件13的一端通过第二安装孔16伸入容纳部，并通过螺栓与稳定块12固定连接。
62.具体地，第三分部123设置有第二安装孔16，伸缩件13通过第一安装孔15进入固定壳体11的内侧，进一步通过第二安装孔16伸入稳定块12内部的容纳部，伸缩件13的一端设置有与螺栓连接的螺纹，通过螺栓将伸缩件13伸入第二安装孔16的一端与稳定块固定连接，螺栓连接方便拆卸，装配简单，且成本较低。
63.综上，本实用新型公开了一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；固定壳体设置在单晶炉的主室与副室之间，固定壳体中部设置有通孔，通孔连通单晶炉的主室与副室；稳定块位于固定壳体的通孔内；固定壳体对称设置有第一安装孔，伸缩件的一端伸入第一安装孔与稳定块固定连接，伸缩件沿第一安装孔伸缩。通过对称设置的伸缩件，以及与伸缩件连接的稳定块，在需要对单晶炉内的硅棒固定时，伸缩件进行伸缩活动，推动稳定块向单晶炉的内腔延伸，对称延伸的稳定块可以对单晶炉副室内的硅棒进行夹持，进而起到硅棒的稳定作用，避免硅棒在副室内晃动，触碰到副室内壁造成安全事故。
64.本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互
换，以便本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。
65.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
66.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，包含在本实用新型的保护范围内。

技术特征：

1.一种单晶炉稳定装置，其特征在于，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；所述固定壳体设置在所述单晶炉的主室与副室之间，所述固定壳体中部设置有通孔，所述通孔连通所述单晶炉的主室与副室；所述稳定块位于所述固定壳体的通孔内；所述固定壳体对称设置有第一安装孔，所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔与所述稳定块固定连接，所述伸缩件沿所述第一安装孔伸缩。2.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述固定壳体的截面为圆形，所述固定壳体设置有两组对称的第一安装孔，两组所述第一安装孔的连线形成的直线互相垂直；每个所述第一安装孔处固定设置所述伸缩件，所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔与所述稳定块固定连接。3.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述固定壳体上对称设置有稳定块活动空间，所述稳定块活动空间用于容纳所述稳定块；所述稳定块活动空间朝向所述固定壳体的外侧凸出，所述稳定块活动空间的形状与所述稳定块的形状相适应。4.根据权利要求3所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述稳定块活动空间的凸起平面设置有所述第一安装孔；所述伸缩件的一端伸入所述第一安装孔，并与活动设置在所述稳定块活动空间的稳定块连接。5.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述第一安装孔处设置有第一密封圈。6.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述伸缩件包括气缸；所述气缸内设置有活塞杆，所述活塞杆的一端伸出所述气缸并与所述稳定块固定连接，所述活塞杆的另一端在所述气缸内做伸缩活动。7.根据权利要求6所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述气缸还包括气管，所述气管与设置在所述单晶炉外部的固定的气源装置连接。8.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述固定壳体与所述单晶炉的主室与副室接触的位置设置有第二密封圈。9.根据权利要求1所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述稳定块包括：第一分部、第二分部、第三分部和第四分部；所述第一分部、第二分部、第三分部和第四分部共同形成中空的容纳部。10.根据权利要求9所述的单晶炉稳定装置，其特征在于，所述第三分部设置有第二安装孔；所述伸缩件的一端通过所述第二安装孔伸入所述容纳部，并通过螺栓与所述稳定块固定连接。

技术总结

本实用新型公开了一种单晶炉稳定装置，包括：固定壳体，至少两个稳定块和至少两个伸缩件；固定壳体设置在单晶炉的主室与副室之间，固定壳体中部设置有通孔，通孔连通单晶炉的主室与副室；稳定块位于固定壳体的通孔内；固定壳体对称设置有第一安装孔，伸缩件的一端伸入第一安装孔与稳定块固定连接，伸缩件沿第一安装孔伸缩。在需要对单晶炉内的硅棒固定时，伸缩件进行伸缩活动，推动稳定块向单晶炉的内腔延伸，对称延伸的稳定块可以对单晶炉副室内的硅棒进行夹持，进而起到硅棒的稳定作用，避免硅棒在副室内晃动，触碰到副室内壁造成安全事故。故。故。