张闾实1、 定位误差，主要由光栅刻划误差和阿贝误差。
precis定位误差是测量机移动部件实际位移量与相关移动指令位移的偏差值，因此说光栅读数系统指示误差是产生定位误差的主要原因。它主要包括光栅刻度刻划误差、引发读数系统产生误差值的电路、细分误差等。除此以外还包括阿贝误差（即受力方向与移动方向在一条直线上或在其延长线上）。
三坐标测量机中 Z 轴基本符合阿贝原则，而 X，Y 轴均不符合此原则。对于 X 轴而言当移动部件在工作台上运动时所产生的误差应该是定位误差与阿贝误差之和。在不同的 Y，Z 轴位置上，由于阿贝臂的不同对应所产生的阿贝误差也不同，阿贝臂越长产生的阿贝误差就越大，反之越小。
2、 直线运动误差，主要包括导轨加工误差和随机误差。
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下面以Z 轴为例，要求移动距离Z=200mm，实际移动轨迹不可能与 Z轴完全一致。 它包括在X、Y轴两个方向上的偏移。因此直线运动误差不同于导轨的直线度误差，它分别体现在不同的坐标轴上是由导轨系统综合产生的，主要由导轨的加工误差引起。
好大一片天3、 角运动误差，主要包括滚转误差、俯仰误差、偏转误差。
坐标测量机的运动部件在沿导轨作直线运动时，除了会发生直线运动误差外，还会产生绕轴的角运动误差。仍以 X 轴为例，当运动部件沿 X 轴移动时，会产生绕 X、Y、Z 轴转动的角运动误差。一般定义为：绕直线运动方向转动的角运动误差称为滚转误差；绕与运动方向垂直的水平轴转动的误差称为俯仰误差，绕与主运动方向垂直的铅垂轴转动的角运动误差称为偏转误差。
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4、 垂直度误差
三坐标的每个轴向上的运动部件，以 X 轴为例主要有一个定位误差、两个直线度误差（分别在 Y轴和Z轴 上产生一个直线度误差）），三个角运动误差（滚转误差、俯仰误差、角摆误差）等六项误差外。由安装调试等原因，三根坐标轴之间的夹角可能偏离理论值 90 度，从而造成轴线之间的垂直度误差分别为：XY、 XZ、 YZ 轴之间的垂直度误差。
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