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《1硅片加工技术》授课计划

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课程授课计划
选用教材及参考资料 《硅片加工技术》  张厥宗 著    化学工业出版社                   
纳达尔资料
授课单元序号
主要教学内容与要求
各教学环节学时数
（在对应栏目中填写学时数）
周次
授课地点
理论
实验
实训
一体化教学
1
教学内容：
第1章　概述
教学要求：
1、了解硅材料的应用及发展；
  2、掌握太阳能光伏产业。
2
第
1
周
教学楼
2
教学内容：
2.1　硅的基本物理、化学性质
教学要求：
1、了解硅材料的种类；
2、掌握硅材料的性质。
2
第
1
周
教学楼
3
教学内容：
    2.2半导体硅的物理、化学性质
教学要求：
1、了解半导体硅的晶体结构；
2、掌握半导体材料的p-n结特性。
2
第
2
周
教学楼
4
教学内容：
  6.1-6.2　太阳能光电转换原理—光生伏特效应
教学要求：
1、掌握太阳能光电转换原理；
2、了解太阳能电池晶片的主要技术参数。
2
第
2
周
教学楼
5
教学内容：
    6.3　太阳能光伏产业用硅系晶体材料
教学要求：
1、理解直拉单晶硅棒的生产工艺；
2、熟悉铸造多晶硅的生产工艺。
2
第
3
周
教学楼
6
教学内容：
    6.4　晶体硅太阳能电池晶片的结构
教学要求：
了解太阳能电池晶片的结构。
2
第
3
欧洲警察
周
教学楼
7
教学内容：
    光生伏特效应原理
教学要求：
了解光生伏特效应的原理。
2
第
4
周
实验室
８
教学内容：
    7.1　太阳能电池产业用硅晶片的技术要求
教学要求：
了解太阳能电池产业用硅晶片的技术要求
2
第
4
周
教学楼
9
教学内容：
  7.2-7.4　太阳能电池用硅晶片的加工工艺流程
教学要求：
1、掌握太阳电池用的硅晶片的加工过程；
2、了解太阳电池用的硅晶片的加工技术。
2
第
5
周
教学楼
10
教学内容：
  7.5-7.6　太阳电池组件装置的生产工艺过程
教学要求：
1、了解太阳能电池的应用；
2、掌握太阳电池组件装置的生产工艺过程。
2
第
5
周
教学楼
11
教学内容：
    电池片生产工艺流程
教学要求：
熟悉电池片的生产工艺流程
2
第
6
周
实验室
12
教学内容：
    光伏组件生产工艺流程
教学要求：
熟悉组件的生产工艺流程
2
第
6
周
实验室
13
教学内容：
3.1　对集成电路（IC）用硅单晶、抛光片的技术要求
教学要求：
1、了解半导体材料的纯度；
2、掌握对集成电路（IC）用硅单晶的技术要求。
2
第
7
周
教学楼
14
教学内容：
    3.3　控制硅片质量的主要特征参数
教学要求：
1、掌握硅片质量控制中有关技术术语；
2、了解硅片加工的质量特性参数。
李福菊
2
第
7
周
教学楼
15
教学内容：
    3.4-3.5　硅晶片加工的工艺流程
教学要求：
1、掌握硅晶片加工的工艺流程；
2、了解硅单晶棒（锭）的制备。
2
第
8
周
教学楼
16
教学内容：
    3.6-3.9　硅晶棒（锭）的截断
教学要求：
了解硅单晶棒外圆的滚磨（圆）磨削、硅单晶棒外圆的滚磨（圆）磨削
2
第
8
周
教学室
17
教学内容：
    3.10-3.14　硅切片、倒角、表面处理
教学要求：
1、掌握硅切片工艺；
2、了解硅片的倒角与表面处理。
2
第
9
周
教学楼
18
教学内容：
    3.15-3.17　硅片的抛光
教学要求：
1、掌握硅片抛光原理；
2、了解硅片抛光工艺流程。
2
第
9
周
教学楼
19
教学内容：
    3.18-3.20　硅片的化学清洗
教学要求：
1、掌握清洗工艺流程；
2、了解硅片的包装。
2
第
10
周
教学楼
20
教学内容：
    硅片生产工艺流程
教学要求：
了解硅片的生产工艺流程及注意事项
2
第
10
周
实验室
21
教学内容：
    4.1　硅外延片
教学要求：
1、掌握硅外延片的种类；
2、了解硅外延片的制备。
2
第
11
周
教学楼
22
教学内容：
    4.2　硅锗材料
教学要求：
1、掌握硅锗材料的种类；
2、了解硅锗材料的制备。
2
第
11
周
教学楼
23
教学内容：
    4.3　硅退火片
教学要求：
1、掌握硅退火片的制备；
2、了解绝缘层上的硅。
2
第
12
周
教学楼
24
教学内容：
    5.1-5.3　硅片主要机械加工参数的测量
教学要求：
1、掌握硅片主要机械加工参数；
2、了解导电类型（导电型号）的测量。
2
d825第
12
周
教学楼
25
教学内容：
    5.4-5.8　电阻率及载流子浓度的测量
教学要求：
1、熟悉硅片电学参数；
2、了解电阻率等的测量
2
第
13
周
教学楼
26
教学内容：
    硅片少子寿命的检测
教学要求：
掌握硅片少子寿命的检测原理与方法。
2
第
13
周
实验室
27
教学内容：
    8.1-8.2 洁净室空气洁净度等级及标准
教学要求：
1、了解洁净室空气洁净度等级及标准；
2、熟悉洁净室在半导体工业中适用范围。
2
第
14
周
教学楼
28
教学内容：
    8.3-8.4 洁净室的设计
教学要求：
1、了解洁净室的设计；
2、熟悉洁净室的维护与应用。
2
第
14
周
教学楼
29
教学内容：
    9.1-9.2　电力供给系统、超纯水系统
教学要求：
1、熟悉超纯水系统；
2、掌握电力供给系统。开远市教育局
2
第
15
周
教学楼
30
教学内容：
    9.3-9.4　高纯化学试剂及高纯气体
教学要求：
1、掌握高纯化学试剂及气体的安全使用；
2、了解三废的处理。
2
第
15
周
教学楼
31
教学内容：
复习
2
第
16
周
教学楼
商标法32
教学内容：
复习
2
第
16
周
教学楼
合计学时
64
54
10
备
注
教学主任（院长）签字：
年  月  日
说明：1、本课程授课计划由授课教师负责填写，于每学期开学第二周内送交所在院部教学主任（院长）审定，签字后备查。
2、此表一式三份，其中任课教师一份，教师所在院部存档一份，报送教务处一份。

本文发布于:2023-06-28 05:01:07，感谢您对本站的认可！

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