硅片加工

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硅片加工技术
1.硅的主要性质:原子序数:14、现对原子质量:、晶体结构:金刚石结构、熔点:、颜:银白
2.硅片按生产工艺分为:切割研磨片化腐片抛光
3.硅片加工第一道工序:定向、滚磨开方
4.滚磨开方的设备:单晶切方滚磨机带锯线锯。
5.硅单晶主参考面方位的确定方法:光图定向法晶棱连线法
6.硅单晶定向切割可分为:多线切割内圆切割
7.硅片的研磨方式有:单面研磨双面研磨
8.硅片抛光的方法分为:机械抛光化学抛光化学机械抛光、最常用的方法是化学机械抛光
9.吸附分为:化学吸附物理吸附
10.环境洁净度等级标准:美国联邦标准
11.硅片表面污染类型:有机杂质玷污颗粒类杂质玷污金属杂质玷污
12.化学试剂按纯度分为:优级纯分析纯化学纯
13.超声波清洗系统的组成:超声波电源清洗槽换能器
14.纯水制备系统的组成:预处理系统初级处理系统顾客价值精处理系统
15.硅片电学参数:导电类型电阻率电阻率变化电阻率条纹
16.硅晶体两种切割工艺比较:
内圆切割:内圆刀片、一片一片切割、刀缝、品种变换简单方便、灵活,风险低、效率低、原料损耗高、硅片体型变大、加工参数一致性差。
线切割:钢丝切割线、整锭同时切割、线缝、效率高、原料损耗小、硅片体型变小、加工参数一致性好、风险高。
17.硅单晶内圆切割与多线切割的工艺过程:
内圆切割:
多线切割:
18.磨削液的作用冷却排渣润滑swimovate防锈
19.研磨工艺过程:
20.研磨前为什么要进行厚度分选?
答:经切割的硅片厚度较分散,为使研磨后的硅片厚度较一致,并且总厚度变化TTV小,需要对切割后的硅片进行厚度分选,将厚度一致的硅片放在同盘进行研磨。
21.硅边缘倒角的目的、形状、工艺过程。
答:硅片倒角的目的为了有效的释放内部应力、以减少后续的加工损伤;
倒角形状:圆弧形、梯形;
工艺过程:
22.硅片热处理的作用、范围、工艺条件、步骤。
答:
作用:
消除氧的施主效应;
释放应力;
范围:直拉非重掺硅片;
工艺条件:
温度:左右;
时间:
步骤:
23.硅片化学减薄的作用与意义、方法、工艺过程
答:
作用与意义:
使硅片表面洁净;
提高抛光效率;
消除硅片内应力;
方法:酸腐蚀、碱腐蚀;
工艺过程:
24.抛光布垫技术要求、作用及存放。
答:
技术要求:
质地柔软;
吸水量大;
耐磨、耐化学腐蚀。
作用:存储及运输抛光液;
存放:
环境要求:
环境温度:世说新语言语大学生村官调研报告
相对湿度:左右;
洁净等级:级。
平放存储;
避免过期存放而变质失效。
25.硅片抛光方式,工艺过程。
答:
方式:碱性二氧化硅抛光;
工艺过程:
26.碱性二氧化硅抛光方法与原理。
答:
碱对硅的腐蚀反应;
胶粒见的吸附作用;
腾飞电开水器◆抛光衬垫与硅片的机械摩擦作用;
碱的络合作用。
27.抛光速率的影响因素。
答:
抛光压力:在其他条件不变时,随着压力的提高,抛光速率也随之上升,但在实际生产中,当压力到达临界点时,若继续提高压力,抛光效率不但不会弄上升,反而会下降。
抛光温度:温度越高,化学反应速率越快,抛光速率越高;
PH值:抛光速率与PH值成指数函数关系,提高PH值,可以加快硅片与抛光液的化学反应速率,提高抛光速率;
硅片晶体结构:不同型号、不同晶向及不同电阻率的硅片,其面密度及原子、结合力都不同,因此抛光过程中的化学腐蚀速率有所不同;
摩擦力:为摩擦系数,为抛光压力。
28.抛光前为什么要进行厚度分选?
答:为了保证抛光后硅片的几何特性,需进行厚度分选,然后分档装片加工。
29.硅片切割片、研磨片、抛光片清洗过程。
答:
切割片:
研磨片:
抛光片:
30.硅片检验的内容、方法、意义。
答:
内容:电学参数、结晶学参数、几何参数和表面洁净度参数;
方法:接触式和非接触式;
意义:预防,把关。
31.硅片检验的环境条件:
答:
环境温度:
相对湿度:
电源:交流电;
环境洁净度:
光源:
高强度狭束光源:离光源处光照度e学论坛;
大面积散射光源:检测面上光照度为
32.当你领到一批硅片时,应如何实施研磨。
答:

本文发布于:2023-06-28 04:30:43,感谢您对本站的认可!

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