专利类型：发明专利
发明人：邹文龙，李朝明，吴建宏，陈新荣，蔡志坚，刘全
申请号：CN201810494570.9
申请日：20180522
公开号：CN108761602A
公开日：
20181106
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明属于信息光学领域，涉及一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，在准直透镜的后方放置体布拉格光栅，曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；沿着光轴前后移动针孔滤波器，实时观察光电探测器的读数，当光电探测器的读数最大时，固定针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；本发明提出了一种自准直光路的调节方法，用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
申请人：苏州大学
地址：215137 江苏省苏州市相城区济学路8号
国籍：CN
代理机构：无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人：张欢勇
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