1.本实用新型涉及
晶体片加工技术领域,具体涉及一种用于圆柱斜切型晶体的镀膜
夹具。
背景技术:
2.在镀膜生产中,镀膜材料的沉积方向与晶体的被镀膜面大体处于垂直角度,需要通过均匀性挡板的修正来确保镀膜面磨料沉积的均匀性。若角度偏差过大,则会造成膜层指标不合格且膜层沉积不均匀。在镀膜过程中非镀膜面有其他加工要求或洁净度要求的情况下,需要在镀膜前对非镀膜面进行保护,以免受污染。
3.圆柱斜切型晶体是一类特殊的晶体,其结构特点在于
主体呈圆柱状,一端的端面(镀膜面)呈斜切状。由于镀膜面与晶体竖直方向存在夹角,若按照普通粘平面盘的上盘方式镀膜面无法与镀膜材料沉积方向垂直,这造成镀膜材料无法均匀的在镀膜面沉积,无法达到镀膜的技术指标要求,若按照普通粘斜面盘的上盘方式理论上虽然可以使镀膜面与镀膜材料沉积方向垂直,但由于圆柱的特殊性,上盘人员无法准确的把握晶体与斜面盘的角度,只能依靠肉眼确认镀膜面是否平行合格,这使得产品的不良率大大增加,且无法生产镀膜指标要求精度高的膜系。以上两种方式在镀膜前都需要对非镀膜面进行保护,当晶体尺寸过小时,保护工作难度将大大增加,耗费人力工时,且无法做到保护完全。
技术实现要素:
4.本实用新型的目的在于解决前述技术问题之一,提供一种用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,具有结构简单、成本低的有点,可提高用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具的镀膜效率。
5.为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
6.一种用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,能够用于辅助圆柱斜切晶体的镀膜,所述圆柱斜切晶体的一侧端面为斜切面;
7.所述镀膜夹具包括:
8.夹具主体:呈三棱柱形,沿其长度方向包括底面和两侧面;沿夹具主体的一侧侧面上设置有晶体夹孔,所述晶体夹孔沿底座侧面边沿长度方向排列,由侧面向底面的方向设置,贯通侧面和底面;
9.托板:具有托板孔,所述夹具主体可以与托板连接,且连接后,夹具主体部分穿过托板孔。
10.本实用新型一些实施例中,沿夹具主体长度方向的两端部形成对称设置的台阶结构,所述台阶结构处设置有安装孔;
11.所述托板包括两平行对称设置的侧边,沿其对称的两侧边对称设置有若干安装孔;
12.夹具主体两端台阶结构处的安装孔可与托板处的两侧边的安装孔相对,夹具主体
和托板可经固定件连接。
13.本实用新型一些实施例中,所述托板呈方形。
14.本实用新型一些实施例中,进一步包括
盖板,沿盖板长度方向的边沿排列设置有若干晶体夹孔,所述盖板可与夹具主体匹配安装,且二者安装后,盖板上晶体夹孔的位置与夹具主体上晶体夹孔的位置一一相对。
15.本实用新型一些实施例中,盖板上设置有固定孔,夹具主体设置有晶体夹孔的侧面上也设置有固定孔,盖板与夹具主体可经固定件固定连接。
16.本实用新型一些实施例中,夹具主体上的夹具安装孔由侧面向底面的方向呈倾斜设置。
17.本实用新型一些实施例中,所述晶体经胶带固定在晶体夹孔处,盖板的晶体夹孔处设置有胶带,位于盖板与夹具具体配合一面的相对面。
18.较现有技术相比,本实用新型的技术优势在于:
19.1.可以精准使镀膜材料的沉积方向与被镀膜面处在所需的角度上,误差降低。
20.2.无需人工保护非镀膜面,利用本夹具只有镀膜面暴露在镀膜材料沉积区域。节省人工成本,降低上盘难度。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为夹具主体结构示意图;
23.图2为盖板结构示意图;
24.图3为托板结构示意图;
25.图4为夹具组装状态结构示意图;
26.图5为夹具组装状态结构示意图;
27.图6为夹具组装后使用状态图;
28.图7为圆柱斜切型晶体结构示意图;
29.以上各图中:
30.1-夹具主体,101-底面,102-两侧面,103-晶体夹孔,104-安装孔,105-固定孔,106-台阶结构;
31.2-托板,201-托板孔,202-安装孔;
32.3-盖板,301-晶体夹孔,302-固定孔;
33.4-晶体。
具体实施方式
34.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
35.需要说明的是,当元件被称为“设置在”,“连接”,另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
36.需要理解的是,术语“上”、“下”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
37.本实用新型提供一种用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,能够用于辅助圆柱斜切晶体的镀膜。本实用新型中所述的圆柱斜切晶体4结构参考图7,其主体呈圆柱状,其长度方向的两个端部中,至少一侧端部的端面为斜切面401。
38.镀膜夹具可加持圆柱斜切型晶体,包括:夹具主体1、托板2,在一些实施例中,还包括盖板3。
39.夹具主体1:结构参考图1,呈三棱柱形,沿其长度方向包括底面101和两侧面102;沿夹具主体1的一侧侧面102上设置有晶体夹孔103,晶体夹孔103沿底座侧面边沿长度方向排列,由侧面102向底面101的方向设置,贯通侧面102和底面101。圆柱斜切型晶体可被置放在晶体夹孔103内。由于晶体夹孔103设置在夹具主体1的侧面上,夹孔103的开口呈斜切状,可以更好的与晶体的斜切面配合。
40.托板2:结构参考图3,具有托板孔201,夹具主体1可以与托板2连接,且连接后,夹具主体1部分穿过托板孔201。本实施例中,托板2呈矩形,包括矩形的通孔,该通孔为托板孔201。夹具主体1的长度与矩形托板孔201孔径的宽度相匹配,以使得夹具主体1可以穿过托板孔201。
41.为了更好的完使夹具主体1与托板2配合安装,本实用新型一些实施例中,沿夹具主体1长度方向的两端部形成对称设置的台阶结构106,每个台阶结构106处均设置有安装孔104;
42.托板2包括两平行对称设置的侧边,沿其对称的两侧边对称设置有若干安装孔202;
43.夹具主体两端台阶结构处的安装孔可与托板处的两侧边的安装孔相对,夹具主体1和托板2可经固定件连接。
44.具体的,所述台阶结构为设置在夹具主体长度方向两个端部的空缺部,在空缺部设置由固定件安装孔104,托板2上安装孔202的数量有多组,每组中的两个相对。当夹具主体1穿过托板孔201时,两侧的台阶结构卡在托板2的两边,使得托板上安装孔202的位置与台阶结构上安装孔104的位置相对。
45.本实用新型一些实施例中,进一步包括盖板3,结构参考图2,沿盖板3长度方向的边沿排列设置有若干晶体夹孔301,盖板3可与夹具主体1匹配安装,且二者安装后,盖板3上晶体夹孔301的位置与夹具主体1上晶体夹孔103的位置一一相对。
46.具体的,本实施例中,盖板3呈方形,其尺寸与夹具主体1具有晶体夹孔103一侧的侧面的尺寸匹配,使得盖板3可以覆盖在夹具具有的侧面上。
47.为了解决盖板3和夹具主体1之间安装的问题,本实用新型一些实施例中,盖板3上设置有固定孔302,夹具主体1设置有晶体夹孔103的侧面上也设置有固定孔105,盖板3与夹
具主体1可经固定件固定连接。
48.本实用新型一些实施例中,设置有晶体夹孔103由侧面102向底面101的方向呈倾斜设置,其位于底面101一侧的开口端与圆柱斜切晶体4的斜切面401的倾斜度相同,这种结构可以保证晶体的斜切面401更好的与晶体夹孔103配合,晶体安装在晶体夹孔103后,斜切面401与夹具主体1的底面101平行。
49.为了解决晶体固定的问题,本实用新型一些实施例中,晶体经胶带固定在盖板3的晶体夹孔301处。具体的说,将夹具后盖板3一面覆盖单面高温胶带,夹具后盖板3另一面可看见带有粘性的圆孔胶带,用于后面对晶体进行固定。盖板3的晶体夹孔301处设置有胶带,位于盖板3与夹具具体1配合一面的相对面。
50.该夹具的具体使用方法如下。
51.利用平头螺丝,将夹具后盖板3无胶带面与夹具主体1进行固定,夹具主体1的晶体夹孔103与夹具后盖板3上晶体安装孔301要重合匹配。
52.将组装好的夹具后盖板3与夹具主体利1用两颗螺钉固定到上盘托板3上。参考图6为夹具组装之后的状态图。
53.将圆柱斜切型晶体4从底板101一侧的夹具孔103的开口端插入,斜切面与底座101一侧的夹具孔103的孔口边缘重合;将镀膜面边缘与夹具主体孔103径边缘重合,利用后盖板3面上夹具孔301处贴好的高温胶带将晶体固定,避免晶体4从孔内脱出。
54.将上盘托盘2放置在公转盘上进行镀膜,上盘托2的尺寸可以根据公转盘预留的安装区域尺寸来进行调整。
55.镀膜完成后,将夹具后盖板3与夹具主体1进行固定的螺丝拆除,将夹具后盖板3和晶体4缓慢从夹具主体103的孔径中取出,进行晶体下盘。
56.采用本实用新型提供的夹具进行斜切面晶体的镀膜操作,可以精准使镀膜材料的沉积方向与被镀膜面处在所需的角度上,误差降低。使用过程中配合均匀性挡板使镀膜面均匀沉积镀膜材料。
57.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征:
1.一种用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,能够用于辅助圆柱斜切晶体的镀膜,所述圆柱斜切晶体的一侧端面为斜切面;所述镀膜夹具包括:夹具主体:呈三棱柱形,沿其长度方向包括底面和两侧面;沿夹具主体的一侧侧面上设置有晶体夹孔,所述晶体夹孔沿底座侧面边沿长度方向排列,由侧面向底面的方向设置,贯通侧面和底面;托板:具有托板孔,所述夹具主体可以与托板连接,且连接后,夹具主体部分穿过托板孔。2.如权利要求1所述的用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,沿夹具主体长度方向的两端部形成对称设置的台阶结构,所述台阶结构处设置有安装孔;所述托板包括两平行对称设置的侧边,沿其对称的两侧边对称设置有若干安装孔;夹具主体两端台阶结构处的安装孔可与托板处的两侧边的安装孔相对,夹具主体和托板可经固定件连接。3.如权利要求1所述的用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,所述托板呈方形。4.如权利要求1或2或3所述的用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,进一步包括盖板,沿盖板长度方向的边沿排列设置有若干晶体夹孔,所述盖板可与夹具主体匹配安装,且二者安装后,盖板上晶体夹孔的位置与夹具主体上晶体夹孔的位置一一相对。5.如权利要求4所述的用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,盖板上设置有固定孔,夹具主体设置有晶体夹孔的侧面上也设置有固定孔,盖板与夹具主体可经固定件固定连接。6.如权利要求4所述的用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,夹具主体上的夹具安装孔由侧面向底面的方向呈倾斜设置。7.如权利要求4所述的用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,其特征在于,盖板的晶体夹孔处设置有胶带,位于盖板与夹具具体配合一面的相对面。
技术总结
本实用新型提供一种用于圆柱斜切型晶体的镀膜夹具,能够用于辅助圆柱斜切晶体的镀膜,圆柱斜切晶体的一侧端面为斜切面;镀膜夹具包括:夹具主体:呈三棱柱形,沿其长度方向包括底面和两侧面;沿夹具主体的一侧侧面上设置有晶体夹孔,晶体夹孔沿底座侧面边沿长度方向排列,由侧面向底面的方向设置;托板:具有托板孔,所述夹具主体可以与托板连接,且连接后,夹具主体部分穿过托板孔。该夹具可以精准使镀膜材料的沉积方向与被镀膜面处在所需的角度上,误差降低。误差降低。误差降低。
技术研发人员:
孙莽 薛凯文 乔振福 王世武
受保护的技术使用者:
青岛海泰光电技术有限公司
技术研发日:
2022.10.31
技术公布日:
2023/3/21