内置加料器放置车的制作方法

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1.本实用新型涉及单晶炉领域,尤其是涉及一种内置加料器放置车。


背景技术:



2.硬轴单晶炉不存在软轴单晶炉软轴系统类似于单摆和弹簧振子容易产生固有共振干扰的结构特点,在提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质方面相对软轴系统更有优势。同时内置加料器一般包括料管和石英锥,内置加料器的料管和石英锥均采用石英材质,在硬碰撞中易碎,因此在倾斜加料、转移、卸料过程中,都需要十分小心。软轴单晶炉在卸载、加料过程中,籽晶绳具有一定伸缩性可以减少加料器放置车的底托对石英材质加料器的冲击,而硬轴单晶炉不具有上述特性,加料器放置车的底托对石英材质的内置加料器易产生冲击而破碎。
3.另外,内置加料器在使用过程中需要进行从竖直状态到水平状态之间的来回转换,内置加料器在竖直状态下由于料管的重力作用,料管和石英锥可以保持密封,当料管倾斜甚至水平状态时,石英锥极易与料管脱离发生漏料,因此料管倾斜甚至水平状态时,内置加料器的密封问题亟待解决。


技术实现要素:



4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型在于提出一种内置加料器放置车。
5.根据本实用新型的内置加料器放置车,所述内置加料器放置车包括:
6.机架,所述机架的底部均匀安装有多个脚轮;
7.翻转机构,所述翻转机构转动连接在所述机架顶部的一侧,所述翻转机构包括支撑架、夹持机构、底托和浮动缓冲件,所述支撑架的两侧与所述机架转动连接,所述支撑架一端面从上到下间隔固定有多个夹持机构,所述支撑架底部垂直固定有所述底托,所述底托上设置有浮动缓冲件,所述浮动缓冲件在内置加料器放置在底托上时产生浮动;
8.石英锥保持机构,所述石英锥保持机构固定于所述支撑架的下部,所述石英锥保持机构具有与所述内置加料器的侧壁相配适的切面,所述石英锥保持机构通过所述切面与所述内置加料器的底部卡接。
9.在本实用新型的一些实施例中,所述浮动缓冲件包括固定板、浮动板、缓冲垫块、压缩弹簧和台阶螺丝,所述固定板固定于所述底托的中心,所述固定板通过多个周向设置的台阶螺丝与所述浮动板连接,所述浮动板位于所述固定板的上方,且与所述固定板平行设置,每个所述台阶螺丝的外侧套设有压缩弹簧,所述压缩弹簧的上端与所述浮动板下表面连接,其下端与所述底托连接,相邻两个所述台阶螺丝之间设有缓冲垫块,所述缓冲垫块的底部固定在所述底托上。
10.在本实用新型的一些实施例中,所述浮动板的上方固定有防护板,所述防护板的面积大于所述浮动板的面积,所述防护板、浮动板和固定板的中心处均开设有圆孔,所述防
护板靠近支撑架的一端对称开设有两个凹槽一。
11.在本实用新型的一些实施例中,所述石英锥保持机构包括后挡板和两个侧挡板,所述后挡板与所述支撑架平行设置,所述后挡板的两侧分别垂直固定一个所述侧挡板,两个所述侧挡板与所述后挡板构成u形结构,两个所述侧挡板呈直角梯形板状,两个所述侧挡板远离后挡板的一端分别具有所述切面。
12.在本实用新型的一些实施例中,所述后挡板的两端对称开设有高度调节孔,所述石英锥保持机构通过调节螺钉穿过支撑架、后挡板的高度调节孔固定。
13.在本实用新型的一些实施例中,所述夹持机构包括固定半环、活动半环和基座,所述固定半环固定在基座上,所述基座垂直固定于所述支撑架上,所述固定半环的一端通过转动连接件与活动半环的一端铰接,所述活动半环可相对固定半环打开和关闭,所述活动半环相对固定半环关闭时,所述活动半环和所述固定半环限定形成夹持所述内置加料器的圆环,所述固定半环远离转动连接件的一端中部垂直固定有连接轴,所述连接轴上转动连接锁止件,所述活动半环远离所述转动连接件的一端开设有与所述连接轴相配适的凹槽二,所述锁止件有两种状态,所述活动半环相对固定半环关闭时,所述锁止件转动至与所述凹槽二垂直,所述活动半环相对固定半环打开时,所述锁止件转动至与所述凹槽二平行。
14.在本实用新型的一些实施例中,所述夹持机构上还设置有防摆动组件,所述防摆动组件包括卡扣公头和卡扣母头,所述卡扣母头安装在所述基座靠近所述转动连接件的一侧,所述卡扣公头安装于所述活动半环靠近所述转动连接件的一端,当所述活动半环相对固定半环打开时,所述卡扣公头与卡扣母头卡扣连接。
15.在本实用新型的一些实施例中,所述固定半环和活动半环靠近所述内置加料器的一侧圆周等间隔安装有多个保护垫片,相邻所述保护垫片之间留有允许硅料粉末通过的通道。
16.在本实用新型的一些实施例中,所述机架包括底部框架和上支架,所述底部框架的一端垂直向上安装所述上支架,所述上支架靠近所述翻转机构的一端的前后两侧对称安装一个轴承座,所述支撑架的两侧中部分别固定一个转轴,所述支撑架的两侧分别通过转轴与轴承座转动连接,其中一个所述转轴穿过轴承座后依次与减速机、角度编码器连接,所述减速机与手轮连接。
17.在本实用新型的一些实施例中,所述上支架远离翻转机构的一侧通过搭扣转动连接扶手;
18.所述机架的底部安装有激光定位器;
19.所述机架的底部间隔安装有多个地刹器。
20.与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
21.本实用新型的内置加料器放置车通过在底托上设置有浮动缓冲件,所述浮动缓冲件在内置加料器放置在底托上时产生浮动以达到缓冲的效果,将内置加料器与底托之间的硬着落转变成软着落,大大减少对内置加料器的冲击,减少了内置加料器破碎的风险,同时延长内置加料器放置车的使用寿命。
22.本实用新型的内置加料器放置车通过在支撑架的下部固定石英锥保持机构,石英锥保持机构具有与内置加料器的侧壁相配适的切面,放置内置加料器时,翻转机构转至竖直状态,打开夹持机构,将内置加料器从上至下放入翻转机构的夹持机构中,内置加料器的
下部刚好卡入石英锥保持机构的切面中,当内置加料器倾斜时,石英锥保持机构能够托起内置加料器侧壁的底部,防止内置加料器底部移动,从而保证料管与石英锥之间的密封状态,防止漏料。
附图说明
23.图1是根据本实用新型一个实施例翻转机构在竖直状态下时内置加料器放置车的示意图;
24.图2是根据本实用新型一个实施例翻转机构在竖直状态下时内置加料器放置车另一视角的示意图;
25.图3是根据本实用新型一个实施例内置加料器放置车装载内置加料器后的示意图;
26.图4是根据本实用新型一个实施例中浮动缓冲件的示意图;
27.图5是根据本实用新型一个实施例中浮动缓冲件的剖视图;
28.图6是根据本实用新型一个实施例中石英锥保持机构的立体图;
29.图7是根据本实用新型一个实施例中石英锥保持机构安装在连接板后的后视图;
30.图8是根据本实用新型一个实施例中石英锥保持机构与内置加料器的俯视图;
31.图9是根据本实用新型一个实施例中夹持机构在关闭时的示意图;
32.图10是根据本实用新型一个实施例中夹持机构在打开时的示意图;
33.图11是根据本实用新型一个实施例内置加料器放置车的主视图。
34.附图标记:
35.内置加料器放置车100;
36.机架10,底部框架11,上支架12,轴承座13,减速机14,角度编码器15,手轮16,扶手17,脚轮18,搭扣121,激光定位器111,地刹器112;
37.翻转机构20,支撑架21,浮动缓冲件22,底托23,连接板24,转轴211,固定板221,浮动板222,缓冲垫块223,压缩弹簧224,台阶螺丝225,防护板226,圆孔2261,凹槽一2262;
38.石英锥保持机构30,后挡板31,侧挡板32,高度调节孔311,切面321。
39.调节螺钉40,垫板41,螺母42;
40.夹持机构50,固定半环51,活动半环52,基座53,转动连接件54,防摆动组件55,保护垫片56,连接轴511,锁止件512,凹槽二521,卡扣公头551,卡扣母头552,通道561;
41.内置加料器200。
具体实施方式
42.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
43.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本实用新型。此外,本实用新型可以在不同例子中重复参考数字
和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外,本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用性和/或其他材料的使用。
44.下面参考附图1-11对本实用新型的内置加料器放置车100进行详细说明。当然可以理解的是,下述描述旨在用于解释本实用新型,而不能作为对本实用新型的一种限制。
45.参考图1-3所示,根据本实用新型的内置加料器放置车100,内置加料器放置车100包括机架10、翻转机构20和石英锥保持机构30;
46.机架10的底部均匀安装有多个脚轮18,以实现内置加料器放置车100位置的转移;
47.翻转机构20用于固定内置加料器200,并用于翻转内置加料器200,可以由水平状态转动至竖直状态,翻转机构20转动连接在机架10顶部的左侧,翻转机构20包括支撑架21、夹持机构50、底托23和浮动缓冲件22,支撑架21的两侧与机架10转动连接,支撑架21一端面从上到下间隔固定有多个夹持机构50,夹持机构50用于夹持内置加料器200,支撑架21底部垂直固定有底托23,底托23上设置有浮动缓冲件22,浮动缓冲件22在内置加料器200放置在底托23上时产生浮动以达到缓冲的效果。
48.石英锥保持机构30用于内置加料器200由竖直状态转至倾斜状态甚至水平状态时,防止内置加料器200的料管与石英锥脱离,防止撒料。石英锥保持机构30固定于支撑架21的下部,石英锥保持机构30具有与内置加料器200的侧壁相配适的弧形的切面321,石英锥保持机构30通过切面321与内置加料器200的底部卡接,当内置加料器200倾斜时,石英锥保持机构30能够托起内置加料器200侧壁的底部,防止内置加料器200底部移动。
49.可以理解的是,放置内置加料器200时,翻转机构20转至竖直状态,打开夹持机构50,将内置加料器200从上至下放入翻转机构20的夹持机构50中,内置加料器200的下部刚好卡入石英锥保持机构30的切面321中,内置加料器200压在浮动缓冲件22上,浮动缓冲件22产生浮动,再将夹持机构50锁紧。由于翻转机构20采用不锈钢材质,内置加料器200为石英材质,因此将内置加料器200与底托23之间的硬着落转变成软着落,大大减少对内置加料器200的冲击,减少了内置加料器200破碎的风险,同时延长内置加料器放置车100的使用寿命。
50.往内置加料器200加硅料时,先转动翻转机构20使其倾斜,从而方便加料,由于石英锥保持机构30的设置,当内置加料器200倾斜时,石英锥保持机构30能够托起内置加料器200侧壁的底部,防止内置加料器200底部移动,从而保证内置加料器200的料管与石英锥之间的密封状态,防止漏料。
51.在本实用新型的一些实施例中,参考图1、图4和图5所示,浮动缓冲件22包括固定板221、浮动板222、缓冲垫块223、压缩弹簧224和台阶螺丝225,固定板221焊接于底托23下方,浮动板222位于底托23的上方,且与固定板221平行设置,固定板221通过多个周向设置的台阶螺丝225与浮动板222连接;多个台阶螺丝225依次向上穿过固定板221、底托23,并与浮动板222螺纹连接,每个台阶螺丝225的外侧均套设有压缩弹簧224,压缩弹簧224的上端与浮动板222下表面连接,其下端与底托23连接。相邻两个台阶螺丝225之间设有缓冲垫块223,缓冲垫块223的底部固定在底托23上。内置加料器200放置在底托23上时,压缩弹簧224压缩,缓冲垫块223压缩至压缩弹簧224和缓冲垫块223的弹力等于内置加料器200的重力,停止压缩。弹性垫块可以为橡胶垫块。
52.在本实用新型的一些实施例中,参考图4和图5所示,浮动板222的上方固定有防护板226,防护板226的横截面积大于浮动板222的横截面积,防护板226为聚四氟乙烯垫板,防护板226作用是承托内置加料器200,避免内置加料器200与金属材料的浮动板222直接接触,减少冲击,同时防护板226采用聚四氟乙烯材料,能耐高温,以适应加料完成后刚出炉的高温状态的内置加料器200。防护板226、浮动板222、底托23和固定板221的中心处均开设有圆孔2261,起到减重作用,防护板226靠近支撑架21的一端对称开设有两个凹槽一2262,两个凹槽一2262用于部分容纳石英锥保持机构30的两个侧挡板32。
53.在本实用新型的一些实施例中,参考图1、图6-图8所示,石英锥保持机构30包括后挡板31和两个侧挡板32,后挡板31与支撑架21平行设置,后挡板31的两侧分别垂直固定一个侧挡板32,两个侧挡板32与后挡板31构成u形结构,两个侧挡板32呈直角梯形板状,两个侧挡板32远离后挡板31的一端分别具有与内置加料器200相配适的弧形的切面321。内置加料器200的下部刚好卡入上述两个切面321中,当内置加料器200倾斜时,石英锥保持机构30能够托起内置加料器200侧壁的底部,防止内置加料器200底部移动,从而保证料管与石英锥之间的密封状态,防止漏料。进一步地,两个侧挡板32的上端面的也具有切面321,以使内置加料器200在上移的过程中不会被损坏。
54.在本实用新型的一些实施例中,参考图2和图6-图8所示,支撑架21的下端中部对称焊接两个连接板24,后挡板31的两端对称开设有高度调节孔311,石英锥保持机构30通过调节螺钉40依次穿过后挡板31的高度调节孔311、连接板24螺纹固定。高度调节孔311的设置,可以对石英锥保持机构30的高度进行调节。进一步地,调节螺钉40的螺纹柱上焊接有垫板41,垫板41与调节螺钉40的螺帽位于后挡板31的两侧,垫板41与调节螺钉40的螺帽之间的距离与后挡板31的厚度相等,如此刚好卡住后挡板31,调节螺钉40穿过连接板24后通过螺母42固定,通过调节螺钉40旋进连接板24的距离来调节石英锥保持机构30与支撑架21之间的距离。调节螺钉40的螺帽可拆卸。由于调节螺钉40相对于支撑架21的位置是不变的,通过上下移动石英锥保持机构30,使得调节螺钉40位于高度调节孔311的高度不同,进而调整石英锥保持机构30相对于内置加料器200的高度。调节螺钉采用现有技术,不是本实用新型的发明点,故不再进一步详述。
55.在本实用新型的一些实施例中,参考图9和图10所示,夹持机构50包括固定半环51、活动半环52和基座53,基座53垂直固定于支撑架21上,基座53远离支撑架21的一端开设有半圆形槽,固定半环51固定在基座53的半圆形槽内,固定半环51的一端通过转动连接件54与活动半环52的一端铰接,活动半环52可相对固定半环51打开和关闭,活动半环52可相对固定半环51关闭时,活动半环52和固定半环51共同限定形成夹持内置加料器200的圆环,固定半环51远离转动连接件54的一端中部垂直固定有连接轴511,连接轴511上转动连接锁止件512,活动半环52远离转动连接件54的一端开设有与连接轴511相配适的凹槽二521,锁止件512有两种状态,当需要活动半环52相对固定半环51关闭时,锁止件512转动至与凹槽二521垂直,实现抱紧夹持状态;当需要打开时,锁止件512转动至与凹槽二521平行,向外打开活动半环52。转动连接件54可以为合页。
56.在本实用新型的一些实施例中,参考图9和图10所示,夹持机构50上还设置有防摆动组件55,防摆动组件55包括卡扣公头551和卡扣母头552,卡扣母头552安装在基座53靠近转动连接件54的一侧,卡扣公头551安装于活动半环52靠近转动连接件54的一端,当活动半
环52相对固定半环51打开时,卡扣公头551与卡扣母头552卡扣连接,如此可以防止活动半环52随意摆动。
57.在本实用新型的一些实施例中,参考图9和图10,固定半环51和活动半环52靠近内置加料器200的一侧圆周等间隔安装有多个保护垫片56,相邻保护垫片56之间留有允许硅料粉末通过的通道561,在往内置加料器200内加硅料时,遗撒在内置加料器200外的硅料粉末不会拥堵在夹持机构50,可以防止硅料粉末对内置加料器200的磨损,硅料粉料通过通道561落下。
58.在本实用新型的一些实施例中,参考图1和图11所示,机架10包括底部框架11和上支架12,底部框架11的一端垂直向上安装上支架12,上支架12靠近翻转机构20的一端对称安装一个轴承座13,两个轴承座13位于支撑架21的两侧,支撑架21的两侧中部分别固定一个转轴211,支撑架21的两侧分别通过转轴211与轴承座13转动连接,其中一个转轴211穿过轴承座13后依次与减速机14、角度编码器15连接,减速机14与手轮16连接。通过转动手轮16,实现翻转机构20的转动,通过设置角度编码器15,可以实时精准显示出翻转机构20相对于水平面的翻转角度,实现翻转角度的可控性。
59.在本实用新型的一些实施例中,参考图1-图3所示,上支架12远离翻转机构20的一侧通过搭扣121转动连接扶手17,如此,可以实现扶手17的可折叠,一方面可以节省空间,另一方面在向内置加料器200内加料时避免碰伤作业人员。
60.在本实用新型的一些实施例中,参考图3所示,机架10的底部安装有激光定位器111;通过设置激光定位器111,可以用来将内置加料器放置车100移动至地面标记的位置,进行精准定位。硬轴单晶炉卸料时,通过硬轴单晶炉的旋转和提升机构将内置加料器200移动至距离地面一定高度,旋转和提升机构滑台前移内置加料器200至内置加料器放置车100上,旋转和提升机构下降直到内置加料器200降落到内置加料器放置车100上。
61.在本实用新型的一些实施例中,参考图1所示,机架10的底部间隔安装有多个地刹器112,地刹器112用来固定内置加料器放置车100,防止内置加料器放置车100移动。
62.工作过程:
63.首次使用内置加料器放置车100时,转动手轮16,将翻转机构20转动到竖直状态,打开活动半环52,将卡扣公头551与卡扣母头552卡扣连接,活动半环52停止摆动,利用吊装工具将内置加料器200从上至下放入夹持机构50中,内置加料器200的下部刚好卡入石英锥保持机构30的切面321中,内置加料器200压在浮动缓冲件22上,再将夹持机构50锁紧。解除地刹器112,推动扶手17将载有内置加料器200的内置加料器放置车100转移至硅料添加地点,踏下地刹器112,防止内置加料器放置车100移动。转动手轮16,实现翻转机构20转动到加料状态(倾斜状态),解除搭扣121,转动扶手17至折叠状态,然后向内置加料器200加入硅料。转动手轮16,实现翻转机构20转动到竖直状态,转动扶手17使其打开并使用搭扣121固定牢固,解除地刹器112,推动扶手17将载有内置加料器200的内置加料器放置车100转移至单晶炉,利用激光定位器111将放置车100定位到单晶炉附件地面标记处,踏下地刹器112,防止放置车100移动,等待内置加料器200转移至副室。
64.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
65.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
66.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接,还可以是通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
67.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
68.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
69.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

技术特征:


1.一种内置加料器放置车,其特征在于,所述内置加料器放置车包括:机架,所述机架的底部均匀安装有多个脚轮;翻转机构,所述翻转机构转动连接在所述机架顶部的一侧,所述翻转机构包括支撑架、夹持机构、底托和浮动缓冲件,所述支撑架的两侧与所述机架转动连接,所述支撑架一端面从上到下间隔固定有多个夹持机构,所述支撑架底部垂直固定有所述底托,所述底托上设置有浮动缓冲件,所述浮动缓冲件在内置加料器放置在底托上时产生浮动;石英锥保持机构,所述石英锥保持机构固定于所述支撑架的下部,所述石英锥保持机构具有与所述内置加料器的侧壁相配适的切面,所述石英锥保持机构通过所述切面与所述内置加料器的底部卡接。2.根据权利要求1所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述浮动缓冲件包括固定板、浮动板、缓冲垫块、压缩弹簧和台阶螺丝,所述固定板固定于所述底托下方,所述固定板通过多个周向设置的台阶螺丝与所述浮动板连接,所述浮动板位于所述固定板的上方,且与所述固定板平行设置,每个所述台阶螺丝的外侧套设有压缩弹簧,所述压缩弹簧的上端与所述浮动板下表面连接,其下端与所述底托连接,相邻两个所述台阶螺丝之间设有缓冲垫块,所述缓冲垫块的底部固定在所述底托上。3.根据权利要求2所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述浮动板的上方固定有防护板,所述防护板的面积大于所述浮动板的面积,所述防护板、浮动板和固定板的中心处均开设有圆孔,所述防护板靠近支撑架的一端对称开设有两个凹槽一。4.根据权利要求1所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述石英锥保持机构包括后挡板和两个侧挡板,所述后挡板与所述支撑架平行设置,所述后挡板的两侧分别垂直固定一个所述侧挡板,两个所述侧挡板与所述后挡板构成u形结构,两个所述侧挡板呈直角梯形板状,两个所述侧挡板远离后挡板的一端分别具有所述切面。5.根据权利要求4所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述后挡板的两端对称开设有高度调节孔,所述石英锥保持机构通过调节螺钉穿过支撑架、后挡板的高度调节孔固定。6.根据权利要求1所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述夹持机构包括固定半环、活动半环和基座,所述固定半环固定在基座上,所述基座垂直固定于所述支撑架上,所述固定半环的一端通过转动连接件与活动半环的一端铰接,所述活动半环可相对固定半环打开和关闭,所述活动半环相对固定半环关闭时,所述活动半环和所述固定半环限定形成夹持所述内置加料器的圆环,所述固定半环远离转动连接件的一端中部垂直固定有连接轴,所述连接轴上转动连接锁止件,所述活动半环远离所述转动连接件的一端开设有与所述连接轴相配适的凹槽二,所述锁止件有两种状态,所述活动半环相对固定半环关闭时,所述锁止件转动至与所述凹槽二垂直,所述活动半环相对固定半环打开时,所述锁止件转动至与所述凹槽二平行。7.根据权利要求6所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述夹持机构上还设置有防摆动组件,所述防摆动组件包括卡扣公头和卡扣母头,所述卡扣母头安装在所述基座靠近所述转动连接件的一侧,所述卡扣公头安装于所述活动半环靠近所述转动连接件的一端,当所述活动半环相对固定半环打开时,所述卡扣公头与卡扣母头卡扣连接。8.根据权利要求6所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述固定半环和活动半环靠近所述内置加料器的一侧圆周等间隔安装有多个保护垫片,相邻所述保护垫片之间留有允
许硅料粉末通过的通道。9.根据权利要求1所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述机架包括底部框架和上支架,所述底部框架的一端垂直向上安装所述上支架,所述上支架靠近所述翻转机构的一端的前后两侧对称安装一个轴承座,所述支撑架的两侧中部分别固定一个转轴,所述支撑架的两侧分别通过转轴与轴承座转动连接,其中一个所述转轴穿过所述轴承座后依次与减速机、角度编码器连接,所述减速机与手轮连接。10.根据权利要求9所述的内置加料器放置车,其特征在于,所述上支架远离翻转机构的一侧通过搭扣转动连接扶手;所述机架的底部安装有激光定位器;所述机架的底部间隔安装有多个地刹器。

技术总结


本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉的内置加料器放置车,所述内置加料器放置车包括:机架,所述机架的底部均匀安装有多个脚轮;翻转机构,所述翻转机构转动连接在所述机架顶部的一侧,所述翻转机构包括支撑架、夹持机构、底托和浮动缓冲件,所述支撑架的两侧与所述机架转动连接,所述支撑架一端面从上到下间隔固定有多个夹持机构,所述支撑架底部垂直固定有所述底托,所述底托上设置有浮动缓冲件,所述浮动缓冲件在内置加料器放置在底托上时产生浮动;石英锥保持机构,所述石英锥保持机构固定于所述支撑架的下部,所述石英锥保持机构具有与所述内置加料器的侧壁相配适的切面,所述石英锥保持机构通过所述切面与所述内置加料器的底部卡接。器的底部卡接。器的底部卡接。


技术研发人员:

宋涛 汪佳 蒋玉娇 王建军 王晓明

受保护的技术使用者:

徐州鑫晶半导体科技有限公司

技术研发日:

2022.11.11

技术公布日:

2023/3/28

本文发布于:2023-03-30 09:38:20,感谢您对本站的认可!

本文链接:https://patent.en369.cn/patent/4/81017.html

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标签:所述   料器   机构   支撑架
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