一种废气管道清洗槽的制作方法

阅读：评论：0

1.本实用新型涉及废气管道系统保养技术领域，具体为一种废气管道清洗槽。

背景技术：

2.由于半导体制作过程的特性，必须使用各种化学品，包含具有火灾、爆炸、毒性与窒息性的气体及腐蚀性、易燃性、有机溶剂的液态化学品。而制作过程产生的尾气、废气会立即进入局部尾气处理设备(local scrubber)进行处理，之后再通过中央系统废弃管道将废弃集中至中央尾气处理设备进行处理，达到排放标准后，再排入大气。
3.但是现有废气管道的尺寸普遍较大，且挟带着酸、碱以及腐蚀性，而相关化学物质反应会生成化学堵塞物，造成废气管道阀体堵塞，使得风压降低，进而导致制程系统报警、处理效率降低，故需要定期进行废气管道保养清理化学堵塞物。
4.进行保养时，需将管道浸泡于清水中，使其化学堵塞物软化进而达到清洁目的；但是化学堵塞物接触清水时可能会产生酸、碱废气浓烟或稀释成具酸、碱腐蚀废液，使得操作人员会误吸入废气或者接触废液，进而对人体健康造成危害。

技术实现要素：

5.针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种废气管道清洗槽，较好的解决了操作人员会误吸入废气或者接触废液的问题。
6.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
7.本实用新型提供一种废气管道清洗槽，一种废气管道清洗槽，包括槽体、排水过滤网、气动泵、高压软管、第一自动风阀、高压空气系统、泄露传感器、自动注水系统、自动水阀、抽风系统、第二自动风阀、液位传感器、液位管及透明观察视窗，所述槽体内置有排水过滤网、气动泵，用于排除浸泡后所产生的废水及持续注水；所述气动泵通过高压软管与槽体外侧的高压空气系统连接，且高压软管与高压空气系统之间设有第一自动风阀，用于排出废气；所述槽体外周边置有泄露传感器，用于检测废液是否泄露，进而发出警报；所述槽体外一侧与自动注水系统通过自动水阀可拆卸连接，用于注水至槽体内，且所述槽体外同侧一端通过第二自动风阀与抽风系统连接，用于通风换气；所述液位传感器位于自动注水系统内侧与槽体外侧连接，且自动注水系统、液位传感器均延伸入槽体内，用于侦测水位降至无水状态，进而停止抽气；所述槽体有外侧设有液位管，用于侦测注入水的液位情况；所述透明观察视窗设置于槽体上，用于方便观察槽体内废气管道清洗情况，同时起到防护的作用，防止清洗过程中产生的化学气体或者液体泄漏，造成人身安全事故，保证该过程操作安全。
8.优选地，所述槽体内部还置有温度传感器，用于检测注水时的温度。
9.优选地，所述槽体还设有废气系统及废气系统自动阀门，用于进行废气抽离。
10.优选地，清洗槽设有启动按键、排水按键、紧急停止按键组成的控制系统,其中控制系统外置于现场操作控制电盘内，且与厂务系统连接，用于远程监视及控制清洗槽。
11.本实用新型的有益效果在于：本实用新型中的该清洗槽较好的解决了操作人员会误吸入废气或者接触废液的问题，同时既便于废气管道清洗保养，又保证操作人员生命健康安全。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为本实用新型实施例提供的一种废气管道清洗槽的结构示意图；
14.图2为图1左侧的示意图；
15.图3为图1右侧的示意图。
16.附图标记说明：
17.槽体1、排水过滤网2、气动泵3、高压软管4、第一自动风阀5、高压空气系统6、泄露传感器7、自动注水系统8、自动水阀9、抽风系统10、第二自动风阀11、液位传感器12、液位管13、透明观察视窗14、温度传感器15。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.实施例1，如图1至图3所示，一种废气管道清洗槽，包括槽体1、排水过滤网2、气动泵3、高压软管4、第一自动风阀5、高压空气系统6、泄露传感器7、自动注水系统8、自动水阀9、抽风系统10、第二自动风阀11、液位传感器12、液位管13及透明观察视窗14，所述槽体1内置有排水过滤网2、气动泵3，用于排除浸泡后所产生的废水及持续注水；所述气动泵3通过高压软管4与槽体1外侧的高压空气系统6连接，且高压软管4与高压空气系统6之间设有第一自动风阀5，用于排出废气；所述槽体1外周边置有泄露传感器7，用于检测废液是否泄露，进而发出警报；所述槽体1外一侧与自动注水系统8通过自动水阀9可拆卸连接，用于注水至槽体内，且所述槽体1外同侧一端通过第二自动风阀11与抽风系统10连接，用于通风换气；所述液位传感器12分别位于自动注水系统8内侧与槽体1外侧连接，且自动注水系统8、液位传感器12均延伸入槽体1内，用于侦测进、排水水位；所述槽体1有外侧设有液位管13，用于侦测注入水的液位情况；所述透明观察视窗14设置于槽体1上，用于方便观察槽体内废气管道清洗情况，同时起到防护的作用，防止清洗过程中产生的化学气体或者液体泄漏，造成人身安全事故，保证该过程操作安全。
20.进一步的，所述槽体1外侧还置有温度传感器15，且延伸入槽体1内，用于检测注水过程管道接触清洗水产生的温度，温度超过设定值，自动补水与排水，达到降温功能。
21.进一步的，所述槽体2还设有废气系统及废气系统自动阀门，用于进行废气抽离。
22.进一步的，清洗槽设有启动按键、排水按键、紧急停止按键组成的控制系统,其中
控制系统外置于现场操作控制电盘内，且与厂务系统连接，用于远程监视及控制清洗槽。
23.当进行保养时，首先将废气管道置入本清洗槽内，然后紧闭透明观察视窗14，再按下启动按键进行设备工作运转，且当液位传感器12侦测到自动注水至设定水位时，打开废气系统自动阀门，进行废气抽离；
24.浸泡结束后，按下排水按键，槽内1的气动泵3开始工作，进而排除浸泡后所产生废水；此时可以透过观察窗口14查看管道是否达到能够进行刷洗的程度，若未达标准，则重复注水浸泡；
25.完成作业后，再进行排水，由液位传感器12侦测水位，当降至无水状态，此时连动废气管道自动阀门关避，停止抽气。
26.需要注意的是当槽体1周边的漏液传感器7进行警报时，则为检测到液体泄漏进而发出警报，同时排水气动泵启动，停止蓄水作业，进行排水，防止泄漏安全事故发生；当槽内注水温度过高时，温度传感器15则发出警报，同时排水气动泵启动，持续注水及排水，进行降低温度，待温度降至安全设定值后，排水气动泵关闭，继续蓄水作业；任意一个传感器报警都会使得装置停止运行，但是当工作现场出现突发状况，需立即手动按下紧急停止按键停止装置运行。
27.本实用新型中的该清洗槽较好的解决了操作人员会误吸入废气或者接触废液的问题，同时既便于废气管道清洗保养，又保证操作人员生命健康安全。
28.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

技术特征：

1.一种废气管道清洗槽,其特征在于：包括槽体、排水过滤网、气动泵、高压软管、第一自动风阀、高压空气系统、泄露传感器、自动注水系统、自动水阀、抽风系统、第二自动风阀、液位传感器、液位管及透明观察视窗，所述槽体内置有排水过滤网、气动泵；所述气动泵通过高压软管与槽体外侧的高压空气系统连接，且高压软管与高压空气系统之间设有第一自动风阀；所述槽体外周边置有泄露传感器；所述槽体外一侧与自动注水系统通过自动水阀可拆卸连接，且所述槽体外同侧一端通过第二自动风阀与抽风系统连接；所述液位传感器位于自动注水系统内侧与槽体外侧连接，且自动注水系统、液位传感器均延伸入槽体内；所述槽体有外侧设有液位管；所述透明观察视窗设置于槽体上。2.如权利要求1所述的一种废气管道清洗槽，其特征在于：所述槽体内部还置有温度传感器。3.如权利要求1所述的一种废气管道清洗槽，其特征在：所述槽体还设有废气系统及废气系统自动阀门。4.如权利要求1所述的一种废气管道清洗槽，其特征在：清洗槽设有启动按键、排水按键、紧急停止按键组成的控制系统,其中所述控制系统外置于现场操作控制电盘内，且与厂务系统连接。

技术总结

本实用新型公开了一种废气管道清洗槽，属于废气管道系统保养技术领域，包括槽体、排水过滤网、气动泵、高压软管、高压空气系统、三种警报传感器、自动注水系统、抽风系统、液位管及透明观察视窗，所述槽体内置有排水过滤网、气动泵，且气动泵通过高压软管与槽体外侧的自动风阀、高压空气系统连接；槽体外周边置有泄露传感器；槽体外一侧通过自动水阀与自动注水系统连接，且通过自动风阀与抽风系统连接；液位传感器、温度传感器位于自动注水系统内侧与槽体外侧连接；槽体外侧设有液位管；透明观察视窗设置于槽体上。通过该清洗槽较好的解决了操作人员会误吸入废气或者接触废液的问题，同时便于废气管道清洗保养，保证操作人员安全。保证操作人员安全。保证操作人员安全。