一种工件架及真空镀膜设备的制作方法

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1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种工件架及真空镀膜设备。

背景技术：

2.现有技术中，基板挂到真空镀膜设备的工件架后，基板与工件架的相对位置固定，灵活性较差，难以满足生产需求。例如，基板挂到工件架后，基板朝向腔体侧壁进行镀膜，将基板搬入并挂到工件架时，采用基板的一个面对着公转架穿过搬运口，直接挂到工件架后即可朝向腔体内侧面，简单方便。然而，基板面对着公转架穿过搬运口时，搬送口的开口面积大于基板的横截面积，导致搬送口的开口面积较大，腔体内的设备越容易受到污染，另外，较大的搬送口的门阀机构占用掉很大的空间，增加了腔体内部温度对流消耗，以上最终影响了成膜质量和成膜效率。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种工件架及真空镀膜设备，能够带动基板公转和自转，提高工件架的灵活性，以满足不同生产需求。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.一方面，提供一种工件架，包括：
6.公转架，能够绕第一中心线转动；
7.安装座，其一端连接于所述公转架上，所述安装座呈放射状连接于所述公转架的外周；
8.连接架组件，所述连接架组件转动连接于所述安装座上，所述连接架组件能够绕第二中心线转动，基板可拆卸连接于连接架组件。
9.在一些可能的实施方式中，所述连接架组件连接于所述安装座的端部。
10.在一些可能的实施方式中，所述连接架组件包括连接轴和连接于所述连接轴的框架，所述基板可拆卸连接于所述框架，所述连接轴转动连接于所述安装座。
11.在一些可能的实施方式中，所述连接轴通过轴承组连接于所述安装座。
12.在一些可能的实施方式中，所述基板能够挂接或卡接于所述挂架组件。
13.在一些可能的实施方式中，还包括两组第一定位组件，所述第一定位组件包括插销和插孔，所述插销和所述插孔一个设于所述连接架组件上，另一个设于所述安装座上，所述连接架组件能够沿所述第二中心线移动，使所述插销插接或分离于所述插孔；两组所述第一定位组件同时处于非定位状态，或其中一组所述第一定位组件处于定位状态，另一组所述第一定位组件处于非定位状态。
14.在一些可能的实施方式中，还包括第二定位组件，所述第二定位组件包括十字台和十字槽，所述十字台和所述十字槽一个设于所述连接架组件上，另一个设于所述安装座上，所述连接架组件能够沿所述第二中心线移动，使所述十字台插接或分离于所述十字槽。
15.在一些可能的实施方式中，所述公转架包括架体、辐板和转盘，所述辐板呈放射状
设于所述架体和所述转盘之间，所述辐板的两端分别所述架体和所述转盘。
16.另一方面，提供一种真空镀膜设备，包括腔体和上述的工件架，所述工件架设于所述腔体内。
17.在一些可能的实施方式中，所述腔体内设有旋转机构，所述旋转机构能够驱动所述连接架组件转动。
18.本实用新型的有益效果：
19.本实用新型提供的一种工件架及真空镀膜设备，公转架带着安装座、连接架组件及连接架组件上的基板转动进行镀膜，连接架组件在安装座上转动能够带动基板转动，提高了基板与工件架之间的灵活性。
附图说明
20.图1是本实用新型的具体实施方式提供的工件架的俯视图；
21.图2是本实用新型的具体实施方式提供的真空镀膜设备的结构示意图；
22.图3是本实用新型的具体实施方式提供的连接架组件处于第一角度的示意图；
23.图4是本实用新型的具体实施方式提供的连接架组件处于第二角度且顶升状态的示意图；
24.图5是本实用新型的具体实施方式提供的连接架组件处于第二角度的示意图；
25.图6是图5的a处放大图。
26.图中：
27.100、基板；
28.1、公转架；11、架体；12、转盘；13、辐板；
29.2、安装座；
30.3、连接架组件；31、连接轴；32、框架；33、挂钩；
31.4、轴承组；
32.5、第一定位组件；51、插销；52、插孔；
33.6、第二定位组件；61、十字台；62、十字槽；
34.8、旋转机构；9、顶升机构。
具体实施方式
35.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.本实施例提供一种真空镀膜设备，包括腔体和工件架，工件架设于腔体内。本实施例提供了一种工件架，如图1所示，包括公转架1、安装座2和连接架组件3，公转架1能够绕第一中心线转动以实现公转；安装座2的一端连接于公转架1上，安装座2呈放射状连接于公转架1的外周；连接架组件3转动连接于安装座2上，连接架组件3能够绕第二中心线转动以实现自转，基板100能够可拆卸连接于连接架组件3上。公转架1带着安装座2、连接架组件3及连接架组件3上的基板100转动进行镀膜，连接架组件3在安装座2上转动能够带动基板100转动，提高了基板100与工件架之间的灵活性。通过在公转架1的外周呈放射状设置安装座2，连接架组件3安装于安装座2上，基板100连接于连接架组件3的侧面，通过安装座2和连接架组件3向公转架1的外周放射性延伸设置，防止了公转架1、安装座2及连接架组件3的结构限制基板100的大小，提高了对不同基板100的适用性。
39.优选地，第一中心线平行于第二中心线，进一步具体地，第一中心线和第二中心线均沿竖直方向设置。
40.在一种实施方式中，如图1所示，当连接架组件3处于第一角度时，基板100连接在连接架组件3上时，基板100在腔体内进行镀膜；已镀膜的基板100通过公转架1转动至一个位置后，连接架组件3转动以处于第二角度时，可以将已镀膜基板100取下并从搬运口搬出；进一步地，公转架1能够将处于第二角度的连接架组件3转动至朝向搬运口，以进一步方便取下基板100。当连接架组件3处于第二角度时，基板100从搬运口穿过装载在连接架组件3上；进一步地，公转架1能够将处于第二角度的连接件组件转动至朝向搬运口，以进一步方便安装基板100；之后连接架组件3转动以处于第一角度，公转架1带着连接架组件3及基板100转动以进行镀膜。基板100在连接架组件3处于第一角度时进行镀膜，一般地，基板100朝向腔体内侧壁；连接架组件3处于第二角度时，基板100被取下或被安装在连接架组件3上，基板100的侧端朝向搬运口。由于侧板的侧端的尺寸远小于基板100截面的尺寸，从而能够大大减小腔体的搬运口的开口面积，避免腔体内的设备收到污染，且避免门阀机构占用较大空间，最终提高了基板100的成膜质量和成膜效率。
41.进一步地，如图1-图5所示，连接架组件3能够转动90
°
，镀膜时，基板100面朝向腔体的内侧壁，穿过搬运口时，基板100的侧端正对着搬运口，即基板100垂直于腔体内侧壁；以使搬运口的开口尺寸减小到最小；其他实施例中，也可以基板100倾斜着进入搬运口，根据实际情况进行选择即可。
42.在一种实施方式中，如图3所示，连接架组件3连接于安装座2的端部，连接架组件3转动或连接架组件3带着基板100转动时，防止连接架组件3及基板100于安装座2发生干涉。进一步地，安装座2沿放射方向的长度足够长，以防止连接架组件3及基板100与公转架1发生结构干涉，具体地，安装座2的长度尺寸可根据计算或试验得出，不进行限定。
43.在一种实施方式中，如图3所示，连接架组件3包括连接轴31和连接于连接轴31的
框架32，基板100可拆卸连接于框架32，连接轴31转动连接于安装座2。通过驱动连接轴31转动即可实现框架32及框架32上的基板100转动，操作方便可靠。在一种实施方式中，连接轴31通过轴承组4连接于安装座2，具体地，轴承组4包括两个直线轴承，连接轴31能够在直线轴承内转动。进一步地，安装座2设有凹槽，直线轴承设于凹槽内，且直线轴承的两端分别抵接于凹槽的槽壁上，提高直线轴承的安装精度，进而提高了连接架组件3的安装精度。
44.在一种实施方式中，如图3所示，连接架组件3还包括挂钩33，挂钩33连接于框架32或连接轴31，基板100能够挂载于挂钩33；或者挂钩33连接于基板100，而挂接于框架32或连接轴31，方便挂取。进一步地，基板100可以安装在载台上，载台于挂钩33连接。其他实施方式中，连接架组件3还可以包括卡销，卡销一端连接于基板100，另一端卡接于框架32或连接轴31，或者，卡销一端连接于框架32或连接轴31，另一端卡接于基板100。
45.在一种实施方式中，如图3-图6所示，工件架还包括两组第一定位组件5，第一定位组件5包括插销51和插孔52，插销51和插孔52一个设于连接架组件3上，另一个设于安装座2上，连接架组件3能够沿第二中心线移动，使插销51插接或分离于插孔52；两组第一定位组件5同时处于非定位状态，或其中一组第一定位组件5处于定位状态，另一组第一定位组件5处于非定位状态。通过两组第一定位组件5，当连接架组件3处于第一角度时，一组第一定位组件5用于定位，保证处于第一角度时的连接架组件3与安装座2之间的安装精度；当连接架组件3处于第二角度时，另一组第一定位组件5用于定位，保证处于第二角度时的连接架组件3与安装座2之间的安装精度。两组第一定位组件5之间的夹角根据连接架组件3转动的角度进行设置，不进行限定。
46.在连接架组件3进行转动时，首先需要连接架组件3沿竖直方向移动，以使插销51和插孔52分离解除第一定位组件5的定位状态。插销51和插孔52的连接精度高，能够实现连接架组件3和安装座2之间的精定位。
47.在一种实施方式中，如图6所示，工件架还包括第二定位组件6，第二定位组件6包括十字台61和十字槽62，十字台61和十字槽62一个设于连接架组件3上，另一个设于安装座2上，连接架组件3能够沿第二中心线移动，使十字台61插接或分离于十字槽62。本实施例中，当连接架组件3处于第一角度时，十字台61和十字槽62以一个位置进行定位，当连接架组件3处于第二角度时，十字台61和十字槽62以另一个位置进行定位；具体地，十字台61和十字槽62之间为松配合，可以实现连接架组件3和安装座2之间的粗定位。在连接架组件3进行转动时，首先需要连接架组件3沿竖直方向移动，以使十字台61和十字槽62分离接触第二定位组件6的定位状态。
48.在一种实施方式中，如图6所示，工件架上同时设有第一定位组件5和第二定位组件6，连接架组件3沿竖直方向向上移动以实现解除定位时，第一定位组件5先于第二定位组件6解除定位，连接架组件3沿竖直方向相向移动实现定位时，第二定位组件6先于第一定位组件5进行定位，即先进行粗定位后进行精定位，提高定位可靠性。
49.在一种实施方式中，如图1和图2所示，公转架1包括架体11、辐板13和转盘12，辐板13呈放射状设于架体11和转盘12之间，辐板13的两端分别架体11和转盘12，保证公转架1的结构稳定性；具体地，腔体上可以设电机以驱动架体11转动。进一步地，如图2所示，转盘12设有两个，两个转盘12设于架体11沿竖直方向的两端，安装座2设有两个，两个安装座2分别连接于两个转盘12，两个安装座2连接于两个转盘12背离彼此的一侧，提高了连接架组件3
与公转架1之间的连接可靠性。
50.在一种实施方式中，如图2、图4和图5所示，腔体内设有旋转机构8，旋转机构8能够驱动连接架组件3转动，以实现自动驱动连接架组件3转动。
51.在一种实施方式中，如图2、图4和图5所示，腔体内设有顶升机构9，顶升机构9能够驱动连接架组件3升降，以实现自动驱动连接架组件3沿竖直方向移动，进而实现连接架组件3与安装座2之间定位或解除定位。通过将轴承组4设置为直线轴承，既可以实现连接轴31与直线轴承的移动，又可以实现转动。其他实施例中，也可以用无油衬套替代直线轴承。
52.进一步地，使用步骤包括：连接架组件3处于第一角度，公转架1驱动连接架组件3转动对基板100进行镀膜；镀膜之后公转架1驱动连接架组件3转动至第一个位置与顶升机构9对接；顶升机构9驱动连接架组件3升起，连接架组件3与旋转机构8对接；旋转机构8驱动连接架组件3转动处于第二角度；公转架1驱动连接架组件3转动到第二个位置，取下已镀膜基板100；之后在第二角度下的连接架组件3上装载新的基板100；公转架1驱动连接架组件3转动至第三个位置与顶升机构9对接；顶升机构9驱动连接架组件3升起与旋转机构8对接；旋转机构8驱动连接架组件3转动至第一角度；之后公转架1驱动连接架组件3及其上的基板100进行转动实现镀膜。
53.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

技术特征：

1.一种工件架，其特征在于，包括：公转架(1)，能够绕第一中心线转动；安装座(2)，其一端连接于所述公转架(1)上，所述安装座(2)呈放射状连接于所述公转架(1)的外周；连接架组件(3)，所述连接架组件(3)转动连接于所述安装座(2)上，所述连接架组件(3)能够绕第二中心线转动，基板(100)可拆卸连接于所述连接架组件(3)。2.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述连接架组件(3)连接于所述安装座(2)的端部。3.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述连接架组件(3)包括连接轴(31)和连接于所述连接轴(31)的框架(32)，所述基板(100)可拆卸连接于所述框架(32)，所述连接轴(31)转动连接于所述安装座(2)。4.根据权利要求3所述的工件架，其特征在于，所述连接轴(31)通过轴承组(4)连接于所述安装座(2)。5.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述基板(100)能够挂接或卡接于所述连接架组件(3)。6.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，还包括两组第一定位组件(5)，所述第一定位组件(5)包括插销(51)和插孔(52)，所述插销(51)和所述插孔(52)一个设于所述连接架组件(3)上，另一个设于所述安装座(2)上，所述连接架组件(3)能够沿所述第二中心线移动，使所述插销(51)插接或分离于所述插孔(52)；两组所述第一定位组件(5)同时处于非定位状态，或其中一组所述第一定位组件(5)处于定位状态，另一组所述第一定位组件(5)处于非定位状态。7.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，还包括第二定位组件(6)，所述第二定位组件(6)包括十字台(61)和十字槽(62)，所述十字台(61)和所述十字槽(62)一个设于所述连接架组件(3)上，另一个设于所述安装座(2)上，所述连接架组件(3)能够沿所述第二中心线移动，使所述十字台(61)插接或分离于所述十字槽(62)。8.根据权利要求1-7任一项所述的工件架，其特征在于，所述公转架(1)包括架体(11)、辐板(13)和转盘(12)，所述辐板(13)呈放射状设于所述架体(11)和所述转盘(12)之间，所述辐板(13)的两端分别所述架体(11)和所述转盘(12)。9.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括腔体和权利要求1-8任一项所述的工件架，所述工件架设于所述腔体内。10.根据权利要求9所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述腔体内设有旋转机构(8)，所述旋转机构(8)能够驱动所述连接架组件(3)转动。

技术总结

本实用新型公开了一种工件架及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。工件架包括能够绕第一中心线转动的公转架、安装座和连接架组件，安装座的一端连接于公转架上，安装座呈放射状连接于公转架的外周；连接架组件转动连接于安装座上，连接架组件能够绕第二中心线转动，基板可拆卸连接于连接架组件上。本实用新型的工件架及真空镀膜设备，能够带动基板公转和自转，提高了工件架的灵活性，以满足不同生产需求。产需求。产需求。