一种晶片平边寻边装置和光刻系统的制作方法

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1.本实用新型实施例涉及光刻技术领域，尤其涉及一种晶片平边寻边装置和光刻系统。

背景技术：

2.随着三代半导体行业的快速发展，晶圆种类也越来越多，对测试要求也越来越高，对于晶圆的定位精度要求也越来越高。
3.传统晶片是不透明的，且晶片是圆的，需要在晶片上剪一个图形来确认晶片的坐标系，根据图形形状不同可分为平边(flat)和缺口(notch)两种。目前对于晶片坐标的定位主要基于对射式传感器对光信号的感应。对射式传感器适用于对遮光性较好的晶片进行寻边，但第三代半导体中典型代表有碳化硅片，碳化硅片为半透明或者纯透明片，半透明或者纯透明片的光透过率较高，无法有效遮挡光线，会导致光信号探测失效，从而导致无法实现透明晶片的寻边。

技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供了一种晶片平边寻边装置和光刻系统，以准确定位晶片平边的位置，使晶片平边寻边装置和光刻系统满足不同类型晶圆的定位需求。
5.第一方面，本实用新型实施例提供了一种晶片平边寻边装置，用于对带有平边的晶圆进行寻边，所述晶圆的平边与所述晶圆的圆心之间具有第一距离，所述寻边装置包括：
6.载台，用于承载所述晶圆；
7.多个光纤传感器，所述多个光纤传感器设置在所述晶圆靠近所述载台的一侧；所述光纤传感器包括光纤束端口，所述光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影位于所述晶圆的边缘区域；
8.其中，所述多个光纤传感器包括第一光纤传感器、第二光纤传感器和第三光纤传感器，所述第一光纤传感器包括第一光纤束端口，所述第二光纤传感器包括第二光纤束端口；所述第一光纤束端口和所述第二光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影的连线构成第一连线，所述第一连线的垂线经过所述晶圆的圆心；
9.所述第一连线与所述圆心的距离大于或等于所述第一距离，且小于所述晶圆的半径；所述第一连线的长度小于或等于所述平边的长度；
10.所述第三光纤传感器包括第三光纤束端口，所述第三光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影与所述圆心的距离大于或等于所述第一距离；且小于等于所述晶圆的半径；
11.所述第三光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影和所述圆心的连线，与经过所述圆心的所述第一连线的垂线呈预设夹角。
12.第二方面，本实用新型实施例还提供了一种光刻系统，包括本实用新型第一方面所述的晶片平边寻边装置。
13.本实用新型实施例提供的晶片平边寻边装置包括载台，用于承载晶圆；多个光纤传感器，多个光纤传感器设置在晶圆靠近载台的一侧；光纤传感器包括光纤束端口，光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影位于晶圆的边缘区域；其中，多个光纤传感器包括第一光纤传感器、第二光纤传感器和第三光纤传感器，第一光纤传感器包括第一光纤束端口，第二光纤传感器包括第二光纤束端口；第一光纤束端口和第二光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影的连线构成第一连线，第一连线的垂线经过晶圆的圆心；第一连线与圆心的距离大于或等于第一距离，且小于晶圆的半径；第一连线的长度小于或等于平边的长度；第三光纤传感器包括第三光纤束端口，第三光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影与圆心的距离大于或等于第一距离；且小于等于晶圆的半径；第三光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影和圆心的连线，与经过圆心的第一连线的垂线呈预设夹角。本实用新型实施例中，利用多个光纤传感器对晶圆边缘进行检测，提升了晶圆平边定位的准确性；并且晶片平边寻边装置可用于对多种类型晶圆进行寻边定位，使光刻系统满足不同类型晶圆的定位需求。
附图说明
14.图1为本实用新型实施例提供的一种晶片平边寻边装置的结构示意图；
15.图2为图1所示晶片平边寻边装置的俯视图；
16.图3为本实用新型实施例提供的另一种晶片平边寻边装置的俯视图；
17.图4为本实用新型实施例提供的一种晶片平边寻边装置的电路结构示意图。
具体实施方式
18.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
19.本实用新型实施例提供了一种晶片平边寻边装置，用于对带有平边的晶圆进行寻边，晶圆的平边与晶圆的圆心之间具有第一距离。图1为本实用新型实施例提供的一种晶片平边寻边装置的结构示意图，图2为图1所示晶片平边寻边装置的俯视图，参考图1和图2，本实用新型实施例提供的晶片平边寻边装置包括：载台1，用于承载晶圆2；多个光纤传感器3，多个光纤传感器3设置在晶圆2靠近载台1的一侧；光纤传感器3包括光纤束端口4，光纤束端口4在晶圆2所在平面上的垂直投影位于晶圆2的边缘区域；
20.其中，多个光纤传感器3包括第一光纤传感器31、第二光纤传感器32和第三光纤传感器33，第一光纤传感器31包括第一光纤束端口41，第二光纤传感器32包括第二光纤束端口42；第一光纤束端口41和第二光纤束端口42在晶圆2所在平面上的垂直投影的连线构成第一连线5，第一连线5的垂线b经过晶圆2的圆心o；
21.第一连线5与圆心o的距离d1大于或等于第一距离d，且小于晶圆2的半径r；第一连线5的长度h1小于或等于平边21的长度h；
22.第三光纤传感器33包括第三光纤束端口43，第三光纤束端口43在晶圆2所在平面上的垂直投影与圆心o的距离d2大于或等于第一距离d；且小于等于晶圆2的半径r；
23.第三光纤束端口43在晶圆2所在平面上的垂直投影和圆心o的连线a，与经过圆心o
的第一连线5的垂线b呈预设夹角θ。
24.具体地，如图1和图2所示，寻边装置包括用于承载晶圆2的载台1，载台1的承载面的形状可以为任意形状，本实用新型实施例对此不做限制。
25.其中可选的，晶圆2可以为蓝宝石片、硅片或碳化硅片等透明度不同的晶片，本实用新型实施例对此不赘述也不限定。晶圆2的形状如图2中所示，晶圆2边缘由平边21和圆边组成。本实用新型实施例中的寻边装置，主要用于确定晶圆2的平边21所在位置。为清晰说明光纤传感器3的设置位置，图2中仅示出了晶片平边寻边装置的部分结构，并未示出全部结构；并且图2中以未放置晶圆2时晶片平边寻边装置的结构为例进行介绍，并以虚线圆框表示晶圆2。
26.其中，寻边装置还包括多个光纤传感器3，多个光纤传感器3设置在晶圆2靠近载台1的一侧，也即相对晶圆2来说，光纤传感器与载台1设置在同一侧。每个光纤传感器3均包括光纤束端口4，光纤束端口4在晶圆2所在平面的垂直投影位于晶圆2的边缘区域，进而利用光纤传感器3发出的探测光信号对晶圆2边缘进行检测。需要说明的是，图1和图2中仅示出了光纤传感器3的部分结构，并未示出光纤传感器3的完整结构。
27.可选的，寻边装置还可包括转轴6和of工作台7等结构，转轴6与载台1连接，转轴6转动使得载台1带动晶圆2旋转，转轴6与of工作台7连接，of工作台7用于固定转轴6。其中，光纤传感器3可固定于of工作台7上。
28.光纤束端口3可包括光束发射端(图中未示出)和光束接收端(图中未示出)，光束发射端用于出射探测光信号，光束接收端用于接收经晶圆2反射回来的反射光信号。可以理解的是，探测光信号在经过晶圆2和未经过晶圆2时，光束接收端接收的反射光信号不同。当探测光信号未经过晶圆2时，光束反射端接收不到反射光信号，此时即可判断该光纤束端口4上方未被晶圆2遮挡；当探测光信号经过晶圆2上时，光束反射端能够接收到反射光信号，并且探测光信号经过晶圆2的不同位置时，反射光信号的强弱不同，若探测光信号打到晶圆2内部，则反射光信号较强，若探测光信号打到晶圆2边缘，则反射光信号存在但较弱，若探测光信号未打到晶圆2，则接受不到反射光信号，也即，光纤传感器3接收到的反射光信号最小接近零时，可认为探测光信号正好打到晶圆2边缘。因此，可根据光束接收端接收的反射光信号的强度判断光纤束端口4上方是否对应晶圆2边缘，进而完成晶圆2的寻边过程。
29.光纤传感器既可对经过不透明晶片的反射光信号进行感应，也能对经过透明晶片的反射光信号进行感应，扩大了晶片平边寻边装置的应用范围。并且基于光纤传感器检测的反射光信号强度比较准确，能够提升晶片定位准确性。
30.可选的，光纤传感器可为光纤反射式数字识别感应器，当探测光信号经过晶圆时，光束接收端会接收到漫反射光信号并产生数字信号，进而信号板可根据数字信号判断是否检测到晶圆的边缘。
31.继续参考图1和图2，本实施例中，多个光纤传感器3包括第一光纤传感器31和第二光纤传感器32。其中，第一光纤传感器31包括第一光纤束端口41，第二光纤传感器32包括第二光纤束端口42。由于图2为俯视图，图2中各结构也可认为是其在晶圆所在平面的垂直投影。
32.进一步地，第一光纤束端口41和第二光纤束端口42在晶圆2所在平面的垂直投影的连线构成第一连线5，第一连线5为直线，且第一连线5的垂线b经过晶圆2的圆心o；另外，
第一连线5与圆心o的距离d1大于或等于晶圆2的平边21与圆心o的距离即大于或等于第一距离d，小于或等于晶圆2的半径r；同时，第一连线5的长度h1小于或等于晶圆2的平边的长度h。此种设置方式下，第一连线5能够较为准确地对应晶圆2的平边21，第一光纤束端口41和第二光纤束端口42可用于检测晶圆2的平边21。可以理解的是，在晶圆2置于寻边装置的载台1上后，载台1会带动晶圆2旋转以完成寻边工作。晶圆2在旋转的过程中，光纤传感器3会持续发出探测光信号，定义晶圆2转动至平边21的对称轴与第一连线5的垂线b重合时，晶圆2所处的位置为第一位置。在第一位置下，平边21接近第一连线5，根据第一光纤传感器31和第二光纤传感器32接收到的反射光信号强度可确定平边21位置，当第一光纤传感器31和第二光纤传感器32判断检测到平边21边缘时，认为平边21达到指定位置，寻边工作结束。图2中所示即为平边21达到指定位置，寻边工作结束时晶圆2的位置。
33.其中，第一连线5的长度h1即为第一光纤束端口41和第二光纤束端口42之间的距离，本实用新型实施例不限定第一连线5的具体设置长度，本领域技术人员可根据实际需求进行设定，只需保证第一连线5的长度h1小于或等于晶圆2的平边21的长度h，以保证第一光纤传感器31和第二光纤传感器32对平边定位的准确性。需要说明的是，上述实施例中指出的两结构或两结构投影之间的距离，均为两结构或两结构投影中心之间的距离。
34.可选的，在一可能的实施例中，可设置第一连线5的长度等h1于平边21的长度h，由此保证第一光纤束端口41和第二光纤束端口42分别与平边21的两端对应，进而保证对整个平边准确定位。
35.进一步地，可仍参考图1和图2，本实用新型实施例中，还设置有第三光纤传感器33，第三光纤传感器33包括第三光纤束端口43。第三光纤束端口43在晶圆2所在平面的垂直投影与晶圆2的圆心o的距离d2大于或等于第一距离d，小于或等于晶圆2的半径r。并且，第三光纤束端口43在晶圆2所在平面的垂直投影与圆心o的连线a，与经过圆心o的第一连线5的垂线b呈预设夹角θ，该预设夹角θ是指沿晶圆2旋转方向，上述连线a与垂线b之间的夹角，以下也可简称预设夹角θ，本实施例中以晶圆2顺时针旋转为例，对预设夹角θ进行标定。
36.此种设置方式下，第三光纤传感器33可用辅助判断晶圆2平边21的位置。具体地，当第三光纤传感器33未接收到反射光信号或者接收的反射光信号很小接近零时，说明晶圆2的平边21处于第三光纤束端口43对应的位置，此时，由于第三光纤束端口43在晶圆2所在平面的垂直投影与圆心o的连线a，与经过圆心o的第一连线5的垂线b呈预设夹角θ，晶圆2在旋转预设夹角θ对应的角度后，平边21即可旋转至第一连线5附近，进而可利用第一光纤传感器31和第二光纤传感器32对平边21进行检测。
37.也即，本实施例中，若晶圆2未处于第一位置，可先利用第三光纤传感器33检测晶圆2的平边21是否处于第三光纤束端口43对应的位置，当判断平边21到达第三光纤束端口43对应的位置时，可控制晶圆2旋转预设夹角θ，旋转预设夹角θ后，晶圆2处于第一位置，进而根据第一光纤传感器31和第二光纤传感器32的检测结果准确定位平边21的位置，当第一光纤传感器31和第二光纤传感器32接收到反射光信号最小接近零时，即可判断平边21到达指定位置(即图2中所示位置)，寻边工作完成。另外，由于第三光纤束端口43在晶圆2所在平面的垂直投影与晶圆2的圆心o的距离d2大于或等于第一距离d且小于等于晶圆2的半径r，当晶圆2处于第一位置时，第三光纤束端口43应该对应晶圆2的圆边边缘，此时第三光纤传感器33应该接收到较弱的反射光信号，因此，也可结合第三光纤传感器33检测的反射光信
号进一步判断平边21是否到达指定位置，提升晶圆2平边位置的检测精准度。
38.本实用新型实施例提供的晶片平边寻边装置，无需对光刻系统的原有硬件进行破坏，方便对现有光刻系统的寻边装置进行改造，降低改造成本，节省改造时间。
39.本实用新型实施例提供的晶片平边寻边装置包括载台，用于承载晶圆；多个光纤传感器，多个光纤传感器设置在晶圆靠近载台的一侧；光纤传感器包括光纤束端口，光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影位于晶圆的边缘区域；其中，多个光纤传感器包括第一光纤传感器、第二光纤传感器和第三光纤传感器，第一光纤传感器包括第一光纤束端口，第二光纤传感器包括第二光纤束端口；第一光纤束端口和第二光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影的连线构成第一连线，第一连线的垂线经过晶圆的圆心；第一连线与圆心的距离大于或等于第一距离，且小于晶圆的半径；第一连线的长度小于或等于平边的长度；第三光纤传感器包括第三光纤束端口，第三光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影与圆心的距离大于或等于第一距离；且小于等于晶圆的半径；第三光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影和圆心的连线，与经过圆心的第一连线的垂线呈预设夹角。本实用新型实施例中，利用多个光纤传感器对晶圆边缘进行检测，提升了晶圆平边定位的准确性；并且晶片平边寻边装置可用于对多种类型晶圆进行寻边定位，使光刻系统满足不同类型晶圆的定位需求。
40.可选的，可仍参考图2，在一可能的实施例中，第一光纤束端口41可呈长条状，且第一光纤束端口41的延长线经过圆心o。
41.如图2中所示第一光纤束端口41呈长条状，并且第一光纤束端口41的延长线经过圆心o，也即，第一光纤束端口41的延伸方向经过其与圆心o的连线a，为便于描述，可定义第一光纤束端口41的延长线延伸的方向为第一方向x，第一连线5的延伸方向为第二方向y。其中，可设置第一光纤束端口41包括多个沿第一方向x排列的光束发射端、光束接收端，以使第一光纤束端口41整体呈长条状。
42.设置第一光纤束端口41呈长条状的好处在于，若第一光纤传感器31接收到的全部反射光信号强度均很小，则说明晶圆2的平边21刚好与第一光纤束端口41在晶圆2所在平面的垂直投影垂直，此时晶圆2旋转预设夹角θ后，晶圆2的平边21能够更加准确地到达第一连线5附近，由此提升平边定位效率，在保证平边定位准确的前提下，提升了晶片平边寻边装置的工作效率。
43.可选的，对于第三光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影和圆心的连线，与经过圆心的第一连线的垂线之间的预设夹角的大小，本实用新型实施例不做限定，例如可设置为45
°
、90
°
或180
°
等，但不限于此。
44.示例性的，在图2所示实施例中，预设夹角θ呈180
°
。此时在第一方向x上，第三光纤束端口43与第一光纤束端口41和第二光纤束端口42分别设置在晶圆2两侧，由此使得第一光纤传感器31、第二光纤传感器32第三光纤传感器33能够检测到较大范围的晶圆2轮廓，保证晶圆2整体定位准确。
45.当预设夹角θ为180
°
时，寻边装置的工作过程可大致描述如下：首先将晶圆2固定于载台1上，随后载台1旋转带动晶圆2旋转，在晶圆2旋转的过程中，各光纤传感器3发出探测光信号，当晶圆2的平边21经过第三光纤束端口43的对应位置时，第三光纤传感器33会检测到很小的反射光信号，进而控制晶圆2旋转180
°
停下，此时晶圆2处于第一位置，随后载台
1可在第一方向x和第二方向y上移动，在移动过程中通过第一光纤传感器31和第二光纤传感器32检测晶圆2的平边21是否达到指定位置。当检测到反射光信号最小接近零时，说明平边21到位，可判断已寻到晶圆2的平边21，结束寻边工作。
46.可选的，图3为本实用新型实施例提供的另一种晶片平边寻边装置的俯视图，如图3中所示，在一可能的实施例中，多个光纤传感器还可包括第四光纤传感器34，第四光纤传感器34包括第四光纤束端口44；第四光纤束端口44在晶圆2所在平面上的垂直投影与圆心o的距离d3等于晶圆2的半径r；第四光纤束端口44在晶圆2所在平面上的垂直投影和圆心o的连线c，与经过圆心o的第一连线5的垂线b的夹角为第一夹角θ1；平边21的端点和圆心o的连线e，与经过圆心o的第一连线5的垂线b的夹角为第二夹角θ2，第一夹角θ1大于第二夹角θ2。
47.具体地，如图3中所示，本实施例中，还可设置第四光纤传感器34，第四光纤传感器34包括第四光纤束端口44，第四光纤束端口44在晶圆2所在平面的垂直投影与晶圆2的圆心o之间的距离d3与晶圆2的半径r相等，第四光纤传感器34可用于检测晶圆2的圆边。
48.其中，第四光纤束端口44在晶圆2所在平面上的垂直投影和圆心o的连线c，与经过圆心o的第一连线5的垂线b之间具有第一夹角θ1，平边21的端点和圆心o的连线e与经过圆心o的第一连线5的垂线b具有第二夹角θ2，本实施例中，设置第一夹角θ1大于第二夹角θ2，由此保证第四光纤束端口44能够准确定位晶圆2的圆边边缘。
49.当第一光纤束端口41、第二光纤束端口42和第四光纤束端口44按照上述位置关系设置时，可根据第一光纤传感器31、第二光纤传感器32和第四光纤传感器34检测到的反射光信号确定晶圆2的圆心o，进而确定晶圆2的平边21位置。
50.具体地，当晶圆2旋转至第一位置时，若第一光纤传感器31、第二光纤传感器32和第四光纤传感器34接受的反射光信号均很小接近零，则可认为第一光纤束端口41、第二光纤束端口42刚好对应晶圆2的平边21边缘，第四光纤束端口44刚好对应晶圆2的圆边边缘，此时判断寻到晶圆2的平边21。
51.可选的，对于第四光纤束端口44的具体设置位置，本实用新型实施例不做限制，本领域技术人员可根据实际情况进行设置。
52.在一可能的实施例中，如图3中所示，第四光纤束端口44在晶圆2所在平面上的垂直投影和圆心o的连线c，与第一连线5平行。也即，第四光纤束端口44在晶圆2所在平面上的垂直投影和晶圆2圆心o的连线c，垂直于第一方向x、平行于第二方向y。此种设置方式下，当晶圆2在第二方向y发生微小位移时，第四光纤传感器34能够较为灵敏地检测到反射光信号强度的变化，有利于晶圆2边缘的准确定位。
53.可选的，在一可能的实施例中，多个光纤传感器还可包括至少两个平边位置验证光纤传感器；至少两个平边位置验证光纤传感器的光纤束端口与第一光纤束端口和第二光纤束端口位于同一条直线上，并且至少两个平边位置验证光纤传感器的光纤束端口位于第一光纤束端口和第二光纤束端口之间。
54.具体地，本实施例中，还可设置至少连个平边验证光纤传感器，下面以设置两个平边验证光纤传感器为例进行介绍，实际设置数量不限于此，当平边验证光纤传感器包括多个时，也可按照以下方式进行设置。可仍参考图3，可设置多个光纤传感器包括第一平边验证光纤传感器35和第二平边验证光纤传感器36，第一平边验证光纤传感器35包括第五光纤束端口45，第二平边验证光纤传感器36包括第六光纤束端口46。
55.其中，第五光纤束端口45和第六光纤束端口46与第一光纤束端口41和第二光纤束端口42位于同一直线上，并且第五光纤束端口45和第六光纤束端口46位于第一光纤束端口41和第二光纤束端口42之间，也可以理解为，第五光纤束端口45和第六光纤束端口46在晶圆2所在平面的垂直投影位于第一连线5上。
56.至少两个平边验证光纤传感器的存在，能够对进一步判断是否准确定位晶圆2的平边21。若晶圆2的平边21达到指定位置，则平边验证光纤传感器检测到的反射光信号应该与第一光纤传感器31和第二光纤传感器32检测到的反射光信号强度相同，均很小接近零；若平边验证光纤传感器与第一光纤传感器31和第二光纤传感器32检测到的反射光信号强度相差很大，则说明可能存在误检情况，此时寻边装置会再次旋转，重新执行上述实施例中的寻边步骤。
57.可选的，在一可能的实施例中，寻边装置还可包括驱动旋转机构，驱动旋转机构与载台连接，用于驱动载台以带动晶圆转动。
58.具体地，本实用新型实施例中，可设置驱动旋转机构，驱动旋转机构可以为转轴，当驱动旋转机构为转轴时，驱动旋转机构直接与载台连接，驱动旋转机构驱动载台带动晶圆旋转，使得晶圆的平边围绕晶圆的圆心旋转。
59.可选的，驱动旋转机构也可为与转轴连接的单元，驱动旋转机构可驱动转轴转动，使得转轴带动载台以及载台上的晶圆旋转。当然，驱动旋转机构的具体设置方式可由本领域技术人员根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不赘述也不限定。
60.图4为本实用新型实施例提供的一种晶片平边寻边装置的电路结构示意图，参考图4，在一可能的实施例中，寻边装置还包括信号板8；信号板8与多个光纤传感器3电连接，信号板8包括探测光信号输出端(图中未示出)、反射光信号接收端(图中未示出)和反射光信号分析单元(图中未示出)；光纤传感器3的光纤束端口(图中未示出)包括光束发射端(图中未示出)和光束接收端(图中未示出)，光束发射端与探测光信号输出端电连接，用于出射探测光信号；光束接收端与反射光信号接收端电连接，用于接收反射光信号并将反射光信号传输至反射光信号接收端；反射光信号分析单元与反射光信号接收端电连接，反射光信号分析单元根据反射光信号接收端接收的反射光信号确定晶圆的位置。
61.具体地，如图4所示，晶片平边寻边装置还包括信号板8，信号板8与多个光纤传感器3电连接，信号板8可控制各光纤传感器3发出探测光信号，并接受反射光信号，信号板8包括探测光信号输出端(图中未示出)、反射光信号接收端(图中未示出)和反射光信号分析单元(图中未示出)。其中，探测光信号输出端与各光纤束端口(图中未示出)的光束发射端(图中未示出)电连接，信号板8通过探测光信号输出端控制光束发射端出射探测光信号；反射光信号接收端与各光纤束端口的光束接收端(图中未示出)电连接，光束接收端接收到的反射光信号传递至反射光信号接收端；反射光信号接收端与反射光信号分析单元电连接，反射光信号分析单元根据反射光信号接收端接收的反射光信号确定晶圆的位置。
62.可选的，驱动旋转机构可与信号板电连接，当信号板判断晶圆的平边处于第三光纤束端口对应的位置时，可控制驱动旋转机构带动晶圆旋转预设角度，使晶圆的平边旋转至第一连线附近。
63.可选的，可仍参考图4，寻边装置还可包括信号处理板9，信号处理板9分别与多个光纤传感器3和信号板8电连接，信号处理板9对光束接收端(图中未示出)接收的反射光信
号进行处理，并将处理后的反射光信号传输至信号板8的反射光信号接收端(图中未示出)。
64.具体地，当光纤传感器3为光纤反射式数字传感器时，光纤传感器3根据光束接收端接收的反射光信号产生相应的数字信号。因此，本实施例中，可在信号板8与各光纤传感器3之间设置信号处理板9，信号处理板9分别与多个光纤传感器3和信号板8电连接，信号处理板9可对光束接收端接收的反射光信号进行处理，并将处理后的反射光信号传输至信号板8的反射光信号接收端，以供信号板8进行判断。
65.其中，信号板和信号处理板的具体设置方式可由本领域技术人员根据实际需求进行设置，本实施例对此不赘述也不限定。
66.可选的，可仍参考图4，在可能的实施例中，寻边装置还可包括多个光纤放大器10；光纤放大器10的一端与光纤传感器3连接，光纤放大器10的另一端与信号处理板9连接。
67.具体地，如图4中所示，本实用新型实施例中，还可在光纤传感器3与信号处理板9的连接路径上设置光纤放大器10，光纤放大器10与光纤传感器3的数量相同。本领域技术人员可以理解的是，光纤放大器10是采用光纤作为增益介质的一种光学放大器，一般地，其本身的内部结构即为光纤，通过在光纤中掺杂特殊元素，进行光的泵浦，从而实现光信号的放大。光纤放大器10的一端与光纤传感器3连接，光纤放大器10的另一端与信号处理板9连接，以同时对经光束发射端出射的探测光信号，以及光束接收端接收的反射光信号进行放大处理。
68.在其他实施方式中，寻边装置还可包括本领域技术人员可知的其他结构部件，本实用新型实施例对此不赘述也不限定。
69.基于同一构思，本实用新型实施例还提供一种光刻系统，该光刻系统包括上述实施方式提供的任一种晶片平边寻边装置，因此，该光刻系统也具有上述晶片平边寻边装置所具有的技术效果，相同之处可参照上文理解，在此不赘述。
70.在其他实施方式中，光刻系统还可包括本领域技术人员可知的其他结构部件，本实用新型实施例对此不赘述也不作限定。
71.注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

技术特征：

1.一种晶片平边寻边装置，其特征在于，用于对带有平边的晶圆进行寻边，所述晶圆的平边与所述晶圆的圆心之间具有第一距离，所述寻边装置包括：载台，用于承载所述晶圆；多个光纤传感器，所述多个光纤传感器设置在所述晶圆靠近所述载台的一侧；所述光纤传感器包括光纤束端口，所述光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影位于所述晶圆的边缘区域；其中，所述多个光纤传感器包括第一光纤传感器、第二光纤传感器和第三光纤传感器，所述第一光纤传感器包括第一光纤束端口，所述第二光纤传感器包括第二光纤束端口；所述第一光纤束端口和所述第二光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影的连线构成第一连线，所述第一连线的垂线经过所述晶圆的圆心；所述第一连线与所述圆心的距离大于或等于所述第一距离，且小于所述晶圆的半径；所述第一连线的长度小于或等于所述平边的长度；所述第三光纤传感器包括第三光纤束端口，所述第三光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影与所述圆心的距离大于或等于所述第一距离；且小于等于所述晶圆的半径；所述第三光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影和所述圆心的连线，与经过所述圆心的所述第一连线的垂线呈预设夹角。2.根据权利要求1所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，所述第一光纤束端口呈长条状，且所述第一光纤束端口的延长线经过所述圆心。3.根据权利要求1所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，所述预设夹角呈180
°
。4.根据权利要求1所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，所述多个光纤传感器还包括第四光纤传感器，所述第四光纤传感器包括第四光纤束端口；所述第四光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影与所述圆心的距离等于所述晶圆的半径；所述第四光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影和所述圆心的连线，与经过所述圆心的所述第一连线的垂线的夹角为第一夹角；所述平边的端点和所述圆心的连线，与经过所述圆心的所述第一连线的垂线的夹角为第二夹角，所述第一夹角大于所述第二夹角。5.根据权利要求4所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，所述第四光纤束端口在所述晶圆所在平面上的垂直投影和所述圆心的连线，与所述第一连线平行。6.根据权利要求1所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，所述多个光纤传感器还包括至少两个平边位置验证光纤传感器；所述至少两个平边位置验证光纤传感器的光纤束端口与所述第一光纤束端口和所述第二光纤束端口位于同一条直线上，并且所述至少两个平边位置验证光纤传感器的光纤束端口位于所述第一光纤束端口和所述第二光纤束端口之间。7.根据权利要求1所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，还包括驱动旋转机构，所述驱动旋转机构与所述载台连接，用于驱动所述载台以带动所述晶圆转动。8.根据权利要求1所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，还包括信号板；所述信号板与所述多个光纤传感器电连接，所述信号板包括探测光信号输出端、反射光信号接收端和反射光信号分析单元；所述光纤传感器的光纤束端口包括光束发射端和光束接收端，所述光束发射端与所述探测光信号输出端电连接，用于出射探测光信号；所述光束接收端与所述反射光信号接收
端电连接，用于接收反射光信号并将所述反射光信号传输至所述反射光信号接收端；所述反射光信号分析单元与所述反射光信号接收端电连接，所述反射光信号分析单元根据所述反射光信号接收端接收的所述反射光信号确定所述晶圆的位置。9.根据权利要求8所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，还包括信号处理板，所述信号处理板分别与所述多个光纤传感器和所述信号板电连接，所述信号处理板对所述光束接收端接收的所述反射光信号进行处理，并将处理后的所述反射光信号传输至所述信号板的所述反射光信号接收端。10.根据权利要求9所述的晶片平边寻边装置，其特征在于，还包括多个光纤放大器；所述光纤放大器的一端与所述光纤传感器连接，所述光纤放大器的另一端与所述信号处理板连接。11.一种光刻系统，其特征在于，包括如权利要求1～10任一所述晶片平边寻边装置。

技术总结

本实用新型公开了一种晶片平边寻边装置和光刻系统。寻边装置包括载台，用于承载晶圆；第一光纤传感器、第二光纤传感器和第三光纤传感器，第一光纤传感器包括第一光纤束端口，第二光纤传感器包括第二光纤束端口；第一光纤束端口和第二光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影的连线构成第一连线，第一连线的垂线经过晶圆的圆心；第一连线与圆心的距离大于或等于第一距离，且小于晶圆的半径；第三光纤传感器包括第三光纤束端口，第三光纤束端口在晶圆所在平面上的垂直投影和圆心的连线，与经过圆心的第一连线的垂线呈预设夹角。通过上述方案，能够对不同类型的晶圆的平边进行准确定位，使光刻系统满足不同类型晶圆的定位需求。使光刻系统满足不同类型晶圆的定位需求。使光刻系统满足不同类型晶圆的定位需求。