一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚的制作方法

阅读：评论：0

1.本实用新型涉及石墨三瓣埚领域，具体涉及一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚。

背景技术：

2.石墨三瓣埚是单晶炉内十分重要的热场部件，多晶硅原料放在高纯石英坩埚内，高纯石英坩埚放在石墨三瓣埚内，加热器在石墨三瓣埚外通过热辐射和热传递的方式加热多晶硅料，但石墨三瓣埚加热冷却过程中温度变化过大，导致石墨三瓣埚连接处发生断裂，不便于得到加热后的多晶硅原料，石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题。

技术实现要素：

3.为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，以解决在石墨三瓣埚加热冷却过程中温度变化过大，导致石墨三瓣埚连接处发生断裂，不便于得到加热后的多晶硅原料，石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题。
4.为实现上述目的，提供一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，包括：
5.连接件，位于三瓣埚本体上端表面，所述连接件通过紧固螺栓与连接槽块相固定；
6.连接槽块，位于三瓣埚本体上表面，所述连接槽块侧端焊接有衔接块，所述衔接块通过紧固螺丝与三瓣埚本体上表面相固定；
7.卡接块，位于三瓣埚本体侧面，所述卡接块镶嵌固定在三瓣埚本体侧面下端处；
8.卡接件，位于三瓣埚本体侧端，所述卡接件固定在卡接块内部的卡槽内部。
9.进一步的，所述三瓣埚本体由第一瓣埚体、第二瓣埚体和第三瓣埚体所构成，所述卡接件中部设置有通孔，所述连接件内部设置有两组螺纹孔。
10.进一步的，所述第一瓣埚体、第二瓣埚体和第三瓣埚体三角下端一侧固定有衔接柱；另一侧表面设置有柱状槽；且衔接柱与柱状槽相对应。
11.进一步的，所述卡接块通过圆柱头栓钉与卡接件相固定，所述连接件侧端焊接有固定块，所述固定块通过紧固螺丝与三瓣埚本体相固定。
12.进一步的，所述连接槽块内部设置有压紧结构，所述压紧结构由下压板和上压板所构成，所述连接件和连接槽块连接与卡接块和卡接件连接构成了三瓣埚本体的断裂保护结构。
13.进一步的，所述下压板通过第一压缩弹簧与连接槽块槽壁相连接，所述上压板下端通过第二压缩弹簧连接在连接槽块下槽壁处。
14.本实用新型的有益效果在于，本实用新型的具有断裂保护的新型石墨三瓣埚利用卡接件卡接在卡接块内，使用圆柱头栓钉进行固定，便于将三瓣埚的三瓣埚体下端侧面进行环形连接，便于加固三瓣埚体连接处的紧密性，通过三瓣埚体上端的连接件插入连接槽块，压紧结构对插入的连接件进行压紧，使用紧固螺栓进行固定，便于牢固的固定三瓣埚体上端连接处，形成对石墨三瓣埚的断裂保护，避免石墨三瓣埚因温差较大导致连接处发生
断裂，提高石墨三瓣埚使用寿命，解决了石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题。
附图说明
15.图1为本实用新型实施例的石墨三瓣埚正视剖面结构示意图。
16.图2为本实用新型实施例的石墨三瓣埚局部俯视结构示意图。
17.图3为本实用新型实施例的连接槽块剖面结构示意图。
18.1、三瓣埚本体；11、第一瓣埚体；12、第二瓣埚体；13、柱状槽；14、衔接柱；15、第三瓣埚体；2、连接件；21、螺纹孔；22、固定块；23、紧固螺丝；3、连接槽块；31、紧固螺栓；32、衔接块；4、卡接块；41、圆柱头栓钉；42、卡槽；5、卡接件；51、通孔；6、压紧结构；61、第一压缩弹簧；62、下压板；63、上压板；64、第二压缩弹簧。
具体实施方式
19.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
20.图1为本实用新型实施例的石墨三瓣埚正视剖面结构示意图、图2为本实用新型实施例的石墨三瓣埚局部俯视结构示意图、图3为本实用新型实施例的连接槽块剖面结构示意图。
21.参照图1至图3所示，本实用新型提供了一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，包括：连接件2、连接槽块3、卡接块4和卡接件5。
22.连接件2，位于三瓣埚本体1上端表面，连接件2通过紧固螺栓31与连接槽块3相固定。
23.连接槽块3，位于三瓣埚本体1上表面，连接槽块3侧端焊接有衔接块32，衔接块32通过紧固螺丝23与三瓣埚本体1上表面相固定。
24.卡接块4，位于三瓣埚本体1侧面，卡接块4镶嵌固定在三瓣埚本体1侧面下端处。
25.卡接件5，位于三瓣埚本体1侧端，卡接件5固定在卡接块4内部的卡槽42内部。
26.石墨三瓣埚加热冷却过程中温度变化过大，导致石墨三瓣埚连接处发生断裂，不便于得到加热后的多晶硅原料，石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题。因此，本实用新型的具有断裂保护的新型石墨三瓣埚利用卡接件卡接在卡接块内，使用圆柱头栓钉进行固定，便于将三瓣埚的三瓣埚体下端侧面进行环形连接，便于加固三瓣埚体连接处的紧密性，通过三瓣埚体上端的连接件插入连接槽块，压紧结构对插入的连接件进行压紧，使用紧固螺栓进行固定，便于牢固的固定三瓣埚体上端连接处，形成对石墨三瓣埚的断裂保护，避免石墨三瓣埚因温差较大导致连接处发生断裂，提高石墨三瓣埚使用寿命，解决了石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题。
27.三瓣埚本体1由第一瓣埚体11、第二瓣埚体12和第三瓣埚体15所构成，卡接件5中部设置有通孔51，连接件2内部设置有两组螺纹孔21。
28.第一瓣埚体11、第二瓣埚体12和第三瓣埚体15表面均固定有连接件2、连接槽块3、卡接块4和卡接件5每块的瓣埚体表面的连接结构能够与另外两块瓣埚体进行衔接，方便加
固三块瓣埚体的连接处。
29.第一瓣埚体11、第二瓣埚体12和第三瓣埚体15三角下端一侧固定有衔接柱14；另一侧表面设置有柱状槽13；且衔接柱14与柱状槽13相对应。
30.第一瓣埚体11、第二瓣埚体12和第三瓣埚体15底端通过衔接柱14插接在另一块瓣埚体的柱状槽13内，将三瓣埚本体1底端衔接更加牢固，防止底部发生断裂。
31.连接件2侧端焊接有固定块22，固定块22通过紧固螺丝23与三瓣埚本体1相固定。
32.卡接块4和卡接件5的连接，对三瓣埚本体1下端处连接进行加固，防止石墨三瓣埚间的缝隙在外力作用下张开而导致多晶硅原料漏出，同时提高石墨三瓣埚使用寿命。
33.连接槽块3内部设置有压紧结构6，压紧结构6由下压板62和上压板63所构成，连接件2和连接槽块3连接与卡接块4和卡接件5连接构成了三瓣埚本体1的断裂保护结构。
34.连接件2插入连接槽块3槽内，使下压板62和上压板63分别压紧在连接件2上端和下端处，便于将连接件2压紧在连接槽块3槽内，方便紧固螺栓31的固定。
35.下压板62通过第一压缩弹簧61与连接槽块3槽壁相连接，上压板63下端通过第二压缩弹簧64连接在连接槽块3下槽壁处。
36.当连接件2插入连接槽块3槽内时，第一压缩弹簧61和第二压缩弹簧64受到压缩，分别对下压板62和上压板63形成推力，对连接件2形成上下的压紧夹持。
37.本实用新型的具有断裂保护的新型石墨三瓣埚可有效解决石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题，形成对石墨三瓣埚的断裂保护，提高石墨三瓣埚使用寿命，适用于具有断裂保护的新型石墨三瓣埚。

技术特征：

1.一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，其特征在于，包括：连接件（2），位于三瓣埚本体（1）上端表面，所述连接件（2）通过紧固螺栓（31）与连接槽块（3）相固定；连接槽块（3），位于三瓣埚本体（1）上表面，所述连接槽块（3）侧端焊接有衔接块（32），所述衔接块（32）通过紧固螺丝（23）与三瓣埚本体（1）上表面相固定；卡接块（4），位于三瓣埚本体（1）侧面，所述卡接块（4）镶嵌固定在三瓣埚本体（1）侧面下端处；卡接件（5），位于三瓣埚本体（1）侧端，所述卡接件（5）固定在卡接块（4）内部的卡槽（42）内部。2.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，其特征在于，所述三瓣埚本体（1）由第一瓣埚体（11）、第二瓣埚体（12）和第三瓣埚体（15）所构成，所述卡接件（5）中部设置有通孔（51），所述连接件（2）内部设置有两组螺纹孔（21）。3.根据权利要求2所述的一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，其特征在于，所述第一瓣埚体（11）、第二瓣埚体（12）和第三瓣埚体（15）三角下端一侧固定有衔接柱（14）；另一侧表面设置有柱状槽（13）；且衔接柱（14）与柱状槽（13）相对应。4.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，其特征在于，所述卡接块（4）通过圆柱头栓钉（41）与卡接件（5）相固定，所述连接件（2）侧端焊接有固定块（22），所述固定块（22）通过紧固螺丝（23）与三瓣埚本体（1）相固定。5.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，其特征在于，所述连接槽块（3）内部设置有压紧结构（6），所述压紧结构（6）由下压板（62）和上压板（63）所构成，所述连接件（2）和连接槽块（3）连接与卡接块（4）和卡接件（5）连接构成了三瓣埚本体（1）的断裂保护结构。6.根据权利要求5所述的一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，其特征在于，所述下压板（62）通过第一压缩弹簧（61）与连接槽块（3）槽壁相连接，所述上压板（63）下端通过第二压缩弹簧（64）连接在连接槽块（3）下槽壁处。

技术总结

本实用新型提供了一种具有断裂保护的新型石墨三瓣埚，包括：连接件，位于三瓣埚本体上端表面，所述连接件通过紧固螺栓与连接槽块相固定；连接槽块，位于三瓣埚本体上表面，所述连接槽块侧端焊接有衔接块，所述衔接块通过紧固螺丝与三瓣埚本体上表面相固定；卡接块，位于三瓣埚本体侧面，所述卡接块镶嵌固定在三瓣埚本体侧面下端处；卡接件，位于三瓣埚本体侧端，所述卡接件固定在卡接块内部的卡槽内部。本实用新型解决了石墨三瓣埚加热冷却过程中温度变化过大，导致石墨三瓣埚连接处发生断裂，不便于得到加热后的多晶硅原料，石墨三瓣埚缺乏断裂保护的问题。断裂保护的问题。断裂保护的问题。