多位一体阀及机组的制作方法

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1.本技术涉及阀门技术领域，尤其是涉及一种多位一体阀及机组。

背景技术：

2.目前，在真空镀膜的工艺中，尤其当采用多个分子泵组合对真空室抽真空时，缺少一款相适应的阀门组件，以配合上述的多个组合分子泵工作。

技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种多位一体阀及机组，以在一定程度上解决现有技术中存在的缺少一款相适应的阀门组件，以配合上述的多个组合分子泵工作的技术问题。
4.本技术提供的多位一体阀，包括阀体，所述阀体形成有相连通的进气口以及抽气腔；所述抽气腔内设置有至少一个分隔构件，至少一个所述分隔构件将所述抽气腔分隔为至少两个抽气腔室；所述阀体的与至少两个所述抽气腔室中的任一所述抽气腔室相对应的部位形成有出气口。
5.其中，所述阀体还形成有与多个所述抽气腔室相连通的粗抽接口。
6.具体地，任一所述抽气腔室配设有阀杆机构，所述阀杆机构包括驱动组件、阀杆以及封盖构件；所述驱动组件设置于所述阀体的外部，所述阀杆以及所述封盖构件均设置于所述抽气腔室内；所述阀杆的一端与所述驱动组件相连接，所述驱动组件用于驱动所述阀杆沿着所述阀体的高度方向运动，所述阀杆的相对的另一端与所述封盖构件相连接，所述封盖构件用开启或者关闭所述抽气腔室的出气口；所述阀杆与所述封盖构件相连接处形成有沿着所述阀杆的长度方向的装配余量，用于使得所述封盖构件与所述阀杆活动连接。
7.进一步地，所述封盖构件形成有安装槽；所述阀杆包括相连接的杆主体以及安装头部，所述阀杆的安装头部插设于所述封盖构件的安装槽内；所述阀杆机构还包括压设构件，所述压设构件套设于所述杆主体，并且所述压设构件与所述封盖构件可拆卸连接；所述压设构件压设于所述安装槽的开口端，用于将所述阀杆的安装头部封盖于所述安装槽内；所述安装头部与所述压设构件沿着所述阀杆的长度方向存在活动空间。
8.更近一步地，所述压设构件与所述封盖构件通过紧固构件相连接；和/或所述阀杆的安装头部与所述封盖构件的安装槽的底壁之间设置有垫设构件。
9.其中，所述抽气腔室的与其出气口相对的顶端部设置有顶端口以及用于封盖所述顶端部的顶端封盖构件；所述阀杆机构还包括安装法兰以及密封座，所述驱动组件通过所述安装法兰安装于所述顶端封盖构件；所述阀杆依次穿过所述顶端封盖构件以及所述安装法兰与所述驱动组件相连接，且所述阀杆与所述顶端封盖构件之间设置有所述密封座，所述密封座与所述阀杆之间设置有滑动密封组件。
10.具体地，所述滑动密封组件包括滑动密封构件和承载构件，所述滑动密封构件设置于所述承载构件内；所述密封座形成有安装通道以及与所述安装通道相连通的安装腔，所述阀杆穿设于所述安装通道内，且所述承载构件设置于所述安装腔内；所述阀杆机构还
包括压盖，所述压盖包括相连接的安装部以及插设部，所述密封座的一端形成有安装槽，所述安装部设置于所述安装槽内且与所述密封座相连接，所述插设部插设于所述安装腔内，用于压设所述承载构件。
11.进一步地，所述密封座与所述顶端封盖构件之间设置有静密封构件。
12.与现有技术相比，本技术的有益效果为：
13.本技术提供的多位一体阀中，利用至少一个分隔构件将抽气腔分隔为多个抽气腔室，使得各抽气腔室可分别配合对应的分子泵工作，而且分隔构件能够阻挡住主气流的流动路径，使得各抽气腔室彼此不影响，从而达到理想的抽真空效果，而且避免增加参与工作的分子泵的负担，节约能源。
14.此外，本技术还提供一种机组，包括粗抽机构、维持机构以及上述的多位一体阀；所述粗抽机构的进气端与所述粗抽接口相连通，所述维持机构的进气端与所述出气口相连通。
15.其中，所述粗抽机构包括第一直联泵、罗茨泵、过滤器以及第一连接管组，所述第一直联泵、所述罗茨泵以及所述过滤器通过第一连接管组依次连接，且所述过滤器的进口端通过所述第一连接管组与所述粗抽接口相连通,所述第一连接管组上分布有多个第一监测件，以监测所述第一连接管组内的真空度；所述维持机构包括第二直联泵、第二连接管组以及分子泵，所述第二直联泵通过第二连接管组与所述分子泵相连通，所述分子泵与所述出气口相连通，所述第二连接管组上分布有多个第二监测件，以监测所述第二连接管组内的真空度。
16.采用本技术提供的多位一体阀，并结合机组中的粗抽机构和维持机构，使粗抽机构与多位一体阀的粗抽接口相连通，维持机构与多位一体阀的出气口相连通，由于本技术中的多位一体阀通过分隔构件分隔出多个抽气腔室，因此，当需要进行粗抽作业时，将粗抽机构开启，粗抽机构通过多位一体阀将需要抽真空的腔室内的气体抽出。
17.当腔室内真空度达到要求后，粗抽机构停止作业，而在粗抽机构停止后，由于腔室在作业过程中真空度会在一定程度上产生变化，因此，为保证腔室内的真空度始终保持稳定，本技术通过与出气口相连通的维持机构，当粗抽机构停止作业后，即可持续开启或间歇式开启维持机构，以实现腔室内的真空度的稳定。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本技术实施例提供的多位一体阀的结构示意图；
20.图2为本技术实施例提供的多位一体阀的又一结构示意图；
21.图3为本技术实施例提供的多位一体阀的剖视图；
22.图4为图3提供的多位一体阀在a处的放大结构示意图；
23.图5为图3提供的多位一体阀在b处的放大结构示意图；
24.图6为本技术实施例提供的机组的结构示意图。
25.图中：1-阀体；101-进气口；102-抽气腔室；103-出气口；104-粗抽接口；2-分隔构件；3-驱动组件；4-阀杆；401-杆主体；402-安装头部；5-封盖构件；6-压设构件；7-活动空间；8-紧固构件；9-顶端封盖构件；10-安装法兰；11-密封座；12-承载构件；13-滑动密封组件；14-静密封构件；15-压盖；1501-安装部；1502-插设部；16-垫设构件；17-第一直联泵；18-罗茨泵；19-过滤器；20-第一连接管组；21-第二直联泵；22-第二连接管组；23-分子泵；24-基架；2401-承载架；25-支撑组件。
具体实施方式
26.下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
27.通常在此处附图中描述和显示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。
28.基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
31.下面参照图1至图5描述根据本技术一些实施例所述的多位一体阀。
32.参见图1和图2所示，本技术的实施例提供了一种多位一体阀，包括：阀体1，阀体1形成有相连通的进气口101以及抽气腔；
33.抽气腔内设置有两个分隔构件2，两个分隔构件2沿着抽气腔的长度方向将抽气腔分隔为三个抽气腔室102；
34.阀体1的与三个抽气腔室102中的任一抽气腔室102相对应的部位形成有出气口103。
35.注意，关于分隔构件2的数量不仅限于本实施例所述的两个，可根据实际需要选择，例如一个分隔构件2或者三个及其以上数量的分隔构件2。
36.基于上述结构可知，利用至少一个分隔构件2将抽气腔分隔为多个抽气腔室102，使得各抽气腔室102可分别配合对应的分子泵工作，而且分隔构件2能够阻挡住主气流的流动路径，使得各抽气腔室102彼此不影响，从而达到理想的抽真空效果，注意如果相邻的两个抽气腔室102之间不设置分隔构件2，那么当其中一个工作时，由于较大的吸力可能导致从其中不参与工作的其余的抽气腔室102的出气口103反向吸入气体，不仅增加参与工作的
分子泵的负担，而且造成做无用功，浪费能源。
37.其中，优选地，分隔构件2为隔板，隔板的大小可根据实际需要设置。
38.在本技术的一个实施例中，优选地，如图3所示，任一抽气腔室102配设有阀杆机构，用于开启或者关闭对应的抽气腔室102的出气口103，从而配合分子泵进行抽真空，或者停止抽真空即起到截止的作用，亦或者是从开始即不参与抽真空的工作。
39.其中，优选地，如图3和图4所示，阀杆机构包括驱动组件3、阀杆4以及封盖构件5；其中，驱动组件3设置于阀体1的外部，阀杆4以及封盖构件5均设置于抽气腔室102内，优选地，驱动组件3为气缸，能够驱动阀杆4移动；
40.阀杆4的一端与驱动组件3相连接，驱动组件3用于驱动阀杆4沿着阀体1的高度方向运动，阀杆4的相对的另一端与封盖构件5相连接，封盖构件5用开启或者关闭抽气腔室102的出气口103；
41.阀杆4与封盖构件5相连接处形成有沿着阀杆4的长度方向的装配余量，用于使得封盖构件5与阀杆4活动连接。其中，优选地，封盖构件5具有盖板的结构，既能满足封盖住出气口103，又方便加工制造。
42.在该实施例中，驱动组件3驱动阀杆4带动封盖构件5移动，从而实现出气口103的开启或者关闭，在此过程中，由于阀杆4与封盖构件5相连接处形成有沿着阀杆4的长度方向的装配余量，使得封盖构件5与阀杆4活动连接，封盖构件5可以相对水平方向晃动，自动调心，从而保证封盖构件5与出气口103紧密接触，保证密闭性即可避免漏气的问题。
43.在本技术的一个实施例中，优选地，如图4所示，封盖构件5形成有安装槽；阀杆4包括相连接的杆主体401以及安装头部402，阀杆4的安装头部402插设于封盖构件5的安装槽内；
44.阀杆机构还包括压设构件6，压设构件6套设于杆主体401，并且压设构件6与封盖构件5可拆卸连接；
45.压设构件6压设于安装槽的开口端，用于将阀杆4的安装头部402封盖于安装槽内；安装头部402与压设构件6沿着阀杆4的长度方向存在活动空间7。
46.在该实施例中，利用上述结构将阀杆4与封盖构件5组装在一起，而且还使得阀杆4的安装头部402与封盖构件5之间存在沿着阀杆4的高度方向的安装余量，进而使得封盖构件5可以晃动，自动调心。
47.在本技术的一个实施例中，优选地，如图4所示，压设构件6与封盖构件5通过紧固构件8例如螺钉相连接，属于一种可拆卸的连接结构，方便组装或者拆卸。
48.在本技术的一个实施例中，优选地，如图4所示，阀杆4的安装头部402与封盖构件5的安装槽的底壁之间设置有垫设构件16例如橡胶垫，既起到承接安装头部402，降低冲击的作用。
49.在本技术的一个实施例中，优选地，如图3和图5所示，抽气腔室102的与其出气口103相对的顶端部设置有顶端口以及用于封盖顶端部的顶端封盖构件9；阀杆机构还包括安装法兰10以及密封座11，驱动组件3通过安装法兰10安装于顶端封盖构件9，其中，优选地，安装法兰10与顶端封盖构件9通过螺钉相连接，方便装拆；
50.阀杆4依次穿过顶端封盖构件9以及安装法兰10与驱动组件3相连接，且阀杆4与顶端封盖构件9之间设置有密封座11，加固顶端封盖构件9与阀杆4之间连接的作用。
51.密封座11与阀杆4之间沿着阀杆4的长度方向设置有滑动密封组件13，形成动密封，保证密封效果。
52.进一步，优选地，如图5所示，密封座11与阀杆4之间沿着阀杆4的长度方向设置有三个滑动密封组件13，也即运动的阀杆4与密封座11之间形成三道密封，更加可靠，保证密封效果，当然，不仅限于上述数量，还可根据实际需要设置。
53.进一步，优选地，动密封构件为真空脂润滑的动密封结构，密封以及润滑效果佳。
54.进一步，优选地，如图5所示，密封座11与顶端封盖构件9之间设置有静密封构件14例如密封胶圈，起到静密封的作用。
55.结合上述结构可知，动密封和静密封相结合，密封效果更佳。
56.在本技术的一个实施例中，优选地，如图5所示，密封座11与阀杆4之间设置有承载构件12，承载构件12内间隔设置有滑动密封组件13，可见，承载构件12用于安装密封构件。其中，优选地，承载构件12具有套筒的结构，且沿着套筒的内壁开设有环形安装槽，用于放置滑动密封组件13。
57.在本技术的一个实施例中，优选地，如图5所示，密封座11形成有安装通道以及与安装通道相连通的安装腔，阀杆4穿设于安装通道内，且承载构件12设置于安装腔内，为承载构件12提供了装配空间。
58.阀杆机构还包括压盖15，压盖15包括相连接的安装部1501以及插设部1502，密封座11的一端形成有安装槽，安装部1501设置于安装槽内且与密封座11相连接，实现了压盖15与密封座11的装配；插设部1502插设于安装腔内，用于压设承载构件12，起到压设、固定承载构件12的作用，间接保证密封效果。
59.在本技术的一个实施例中，优选地，如图1和图3所示，阀体1还形成有与多个抽气腔室102相连通的粗抽接口104。
60.由于分子泵未达到工作点时，需要采用其他抽真空设备连接至粗抽接口104，进行粗抽真空，因此，基于本技术提供的多位一体阀，本技术还提供了一种采用多位一体阀的机组。
61.其中，如图6所示，本技术提供的机组包括粗抽机构、维持机构以及上述的多位一体阀；粗抽机构的进气端与粗抽接口104相连通，维持机构的进气端与出气口103相连通。
62.由于本技术中的多位一体阀通过分隔构件分隔出多个抽气腔室，因此，基于本技术图示中具有的抽气腔室的数量，粗抽机构可对应一个或两个抽气腔室，当需要进行粗抽作业时，将粗抽机构开启，粗抽机构通过多位一体阀将需要抽真空的腔室内的气体抽出。
63.当腔室内真空度达到要求后，粗抽机构停止作业，而在粗抽机构停止后，由于腔室在作业过程中真空度会在一定程度上产生变化，因此，为保证腔室内的真空度始终保持稳定，本技术通过与出气口103相连通的维持机构，当粗抽机构停止作业后，即可持续开启或间歇式开启维持机构，以实现腔室内的真空度的稳定。
64.此处需要补充说明的是，在实际作业中，本技术提供的多位一体阀的进气口101与待抽真空腔室对应连通，而由于本技术提供的多位一体阀以及机组主要应用于镀膜设备中，因此，上述的真空腔室为镀膜设备的镀膜室，通过使进气口101与镀膜设备的镀膜室相连通，能够实现对镀膜室的抽真空以及真空度的保持。
65.可选地，如图6所示，粗抽机构包括第一直联泵17、罗茨泵18、过滤器19以及第一连
接管组20，第一直联泵17、罗茨泵18以及过滤器19通过第一连接管组20依次连接，且过滤器19的进口端通过第一连接管组20与粗抽接口104相连通；维持机构包括第二直联泵21、第二连接管组22以及分子泵23，第二直联泵21通过第二连接管组22与分子泵23相连通，分子泵23与出气口103相连通。
66.如图6所示，本技术中的第一连接管组20和第二连接管组22均可包括波纹管、连接管、三通、弯头以及弯管等结构，且优选地，本技术中第一直联泵17的数量为两个，两个第一直联泵17并通过连接管、波纹管以及三通等结构与罗茨泵18相连通，而罗茨泵18通过连接管与过滤器19相连通，过滤器19通过连接管、波纹管、弯头、三通以及弯管等结构与多位一体阀的粗抽接口104相连通，从而实现粗抽作业。第二直联泵21的数量为一个，通过波纹管、连接管以及弯头等结构与分子泵23相连接，分子泵23直接与出气口103相对接，从而能够通过阀杆组件以及第二直联泵21的配合实现对镀膜室的真空度的保持。
67.本技术中第一连接管组20上分布有多个第一监测件，第二连接管组22上分布有多个第二监测件，多个第一监测件能够对第一连接管组20所包含的管路内的真空度进行监测，多个第二监测件能够对第二连接管组22所包含的管路内的真空度进行监测，从而能够根据管路内真空度的情况，控制第一直联泵17和第二直联泵21的启停，使镀膜室中的真空度保持稳定。
68.此处需要补充说明的是，如图6所示，优选地，本技术提供的机组还包括基架24，基架24对应第一直联泵17、第二直联泵21以及罗茨泵18的位置均形成有承载架2401，从而能够稳定地对第一直联泵17、第二直联泵21以及罗茨泵18进行承载。
69.进一步优选地，如图6所示，本技术还设有支撑组件25，支撑组件25的一端能够支撑于地面或基架24上，另一端与第二连接管组22相连接，从而能够对第二连接管组22起到承载和支撑作用，提高整体机组的运行稳定性。
70.此处需要进一步补充说明的是，如图6所示，本技术提供的第二连接管组22接近第二直联泵21的一端与第二直联泵21处于未对接状态，而此种状态仅为图示中展示第二直联泵21的进口端所连接的管路的方式，实际上两个管路接口处于对接连通状态。
71.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。

技术特征：

1.一种多位一体阀，其特征在于，包括阀体，所述阀体形成有相连通的进气口以及抽气腔；所述抽气腔内设置有至少一个分隔构件，至少一个所述分隔构件将所述抽气腔分隔为至少两个抽气腔室；所述阀体的与至少两个所述抽气腔室中的任一所述抽气腔室相对应的部位形成有出气口。2.根据权利要求1所述的多位一体阀，其特征在于，所述阀体还形成有与多个所述抽气腔室相连通的粗抽接口。3.根据权利要求2所述的多位一体阀，其特征在于，任一所述抽气腔室配设有阀杆机构，所述阀杆机构包括驱动组件、阀杆以及封盖构件；所述驱动组件设置于所述阀体的外部，所述阀杆以及所述封盖构件均设置于所述抽气腔室内；所述阀杆的一端与所述驱动组件相连接，所述驱动组件用于驱动所述阀杆沿着所述阀体的高度方向运动，所述阀杆的相对的另一端与所述封盖构件相连接，所述封盖构件用开启或者关闭所述抽气腔室的出气口；所述阀杆与所述封盖构件相连接处形成有沿着所述阀杆的长度方向的装配余量，用于使得所述封盖构件与所述阀杆活动连接。4.根据权利要求3所述的多位一体阀，其特征在于，所述封盖构件形成有安装槽；所述阀杆包括相连接的杆主体以及安装头部，所述阀杆的安装头部插设于所述封盖构件的安装槽内；所述阀杆机构还包括压设构件，所述压设构件套设于所述杆主体，并且所述压设构件与所述封盖构件可拆卸连接；所述压设构件压设于所述安装槽的开口端，用于将所述阀杆的安装头部封盖于所述安装槽内；所述安装头部与所述压设构件沿着所述阀杆的长度方向存在活动空间。5.根据权利要求4所述的多位一体阀，其特征在于，所述压设构件与所述封盖构件通过紧固构件相连接；和/或所述阀杆的安装头部与所述封盖构件的安装槽的底壁之间设置有垫设构件。6.根据权利要求3所述的多位一体阀，其特征在于，所述抽气腔室的与其出气口相对的顶端部设置有顶端口以及用于封盖所述顶端部的顶端封盖构件；所述阀杆机构还包括安装法兰以及密封座，所述驱动组件通过所述安装法兰安装于所述顶端封盖构件；所述阀杆依次穿过所述顶端封盖构件以及所述安装法兰与所述驱动组件相连接，且所述阀杆与所述顶端封盖构件之间设置有所述密封座，所述密封座与所述阀杆之间设置有滑动密封组件。7.根据权利要求6所述的多位一体阀，其特征在于，所述滑动密封组件包括滑动密封构件和承载构件，所述滑动密封构件设置于所述承载构件内；所述密封座形成有安装通道以及与所述安装通道相连通的安装腔，所述阀杆穿设于所述安装通道内，且所述承载构件设置于所述安装腔内；所述阀杆机构还包括压盖，所述压盖包括相连接的安装部以及插设部，所述密封座的一端形成有安装槽，所述安装部设置于所述安装槽内且与所述密封座相连接，所述插设部
插设于所述安装腔内，用于压设所述承载构件。8.根据权利要求6所述的多位一体阀，其特征在于，所述密封座与所述顶端封盖构件之间设置有静密封构件。9.一种机组，其特征在于，包括粗抽机构、维持机构以及上述权利要求2-8中任一项所述的多位一体阀；所述粗抽机构的进气端与所述粗抽接口相连通，所述维持机构的进气端与所述出气口相连通。10.根据权利要求9所述的机组，其特征在于，所述粗抽机构包括第一直联泵、罗茨泵、过滤器以及第一连接管组，所述第一直联泵、所述罗茨泵以及所述过滤器通过第一连接管组依次连接，且所述过滤器的进口端通过所述第一连接管组与所述粗抽接口相连通,所述第一连接管组上分布有多个第一监测件，以监测所述第一连接管组内的真空度；所述维持机构包括第二直联泵、第二连接管组以及分子泵，所述第二直联泵通过第二连接管组与所述分子泵相连通，所述分子泵与所述出气口相连通，所述第二连接管组上分布有多个第二监测件，以监测所述第二连接管组内的真空度。

技术总结

本实用新型提供一种多位一体阀及机组，涉及阀门技术领域，以在一定程度上解决现有技术中存在的缺少一款相适应的阀门组件，以配合多个组合分子泵工作的技术问题。本实用新型提供的多位一体阀，包括阀体，阀体形成有相连通的进气口以及抽气腔；抽气腔内设置有至少一个分隔构件，至少一个分隔构件沿着抽气腔的长度方向将抽气腔分隔为至少两个抽气腔室；阀体的与至少两个抽气腔室中的任一抽气腔室相对应的部位形成有出气口。部位形成有出气口。部位形成有出气口。