第５０卷 第７期 激光与红外
Ｖｏｌ．５０，Ｎｏ．７ ２０２０年７月 ＬＡＳＥＲ ＆ ＩＮＦＲＡＲＥＤＪｕｌｙ，２０２０
文章编号：１００１ ５０７８（２０２０）０７ ０８６９ ０６·电子电路· 陈力颖１，２，于文阳１，２，任亚晶１
，２（１ 天津工业大学电子与信息工程学院，天津３００３８７；２ 天津市光电检测技术与系统重点实验室，天津３００３８７） 摘 要：提出了一种新的红外焦平面阵列调整电路（ｓｋｉｍｍｉｎｇ）设计。新的调整电路包括
ＭＥＭＳ像元模块和非均匀性校正模块。该电路能够减少阈值电压对传统调整电路的影响，以 及对探测器制造工艺引入的非均匀性进行补偿。ＭＥＭＳ像元模块通过控制明像元电路和盲像
元电路中的电压值用于调节电路本身的非均匀性，同时非均匀性校正电路用以弥补探测器制
功率分配器造过程引入的像元电阻非均匀性。该电路应用于阵列为６４０×４８０的红外焦平面阵列上，采用 ＴＳＭＣ０ １８μｍ工艺进行设计、仿真。仿真结果表明：ＭＥＭＳ像元模块能够使明像元电路和盲
像元电路具有一致性；明像元电阻的非均匀性小于３％，最大积分电流失调为２００ｎＡ，非均匀
性校正模块的补偿电流大于２
００ｎＡ，符合设计要求，使得调整模块输出电流变大，积分电压变大，达到显示效果变亮的目的。
关键词：红外焦平面阵列；调整电路；ＭＥＭＳ像元；非均匀性
中图分类号：ＴＮ４３２ 文献标识码：Ａ ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１ ５０７８．２０２０．０７．０１６
Ｄｅｓｉｇｎｏｆｓｋｉｍｍｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔｆｏｒｕｎｃｏｏｌｅｄｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒ
ＣＨＥＮＬｉ ｙｉｎｇ１，２，ＹＵＷｅｎ ｙａｎｇ１，２，ＲＥＮＹａ ｊｉｎｇ
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Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｎｅｗｄｅｓｉｇｎｏｆｉｎｆｒａｒｅｄｆｏｃａｌｐｌａｎｅａｒｒａｙｓｋｉｍｍｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ Ｔｈｅｎｅｗｓｋｉｍｍｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔｉｎｃｌｕｄｅｓ
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Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉｎｆｒａｒｅｄｆｏｃａｌｐｌａｎｅａｒｒａｙ；ｓｋｉｍｍｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔ；ＭＥＭＳｐｉｘｅｌ；ｎｏｎ ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ聚氨酯生产工艺
作者简介：陈力颖（１９７６－），男，副教授，研究方向为模拟集成电路设计。Ｅ ｍａｉｌ：１３６２１１６７６７３＠１６３．ｃｏｍ
收稿日期：２０１９ ０９ １７；修订日期：２０１９ １０ １１１ 引 言验光组合
红外成像技术已经应用于许多领域，包括军事、透明的距离
桥梁钢模
交通、医学、工业等［１］。微测辐射热计是红外成像技术的关键部件之一。微测辐射热计是一种对红外辐射敏感的电阻传感器［２］。当有红外辐射时，它会吸收红外辐射，引起电阻变化，电阻的变化会转换为
