I C S77.180
H91
中华人民共和国有金属行业标准
Y S/T1031 2015
C h e m i c a l v a p o r d e p o s i t i o n f u r n a c e
2015-04-30发布2015-10-01实施
前言
本标准按照G B/T1.1 2009给出的规则起草㊂
本标准由全国有金属标准化技术委员会(S A C/T C243)提出并归口㊂
本标准起草单位：湖南顶立科技有限公司㊁中国有金属工业标准计量质量研究所㊂本标准主要起草人：戴煜㊁胡祥龙㊁胡高健㊁羊建高㊁马卫东㊁戴晓蕾㊁周岳兵㊁吴艳华㊂ei矽钢片
化学气相沉积炉
1范围
本标准规定了化学气相沉积炉的要求㊁试验方法㊁检验规则及标志㊁包装㊁运输㊁贮存㊁质量证明书和合同(或订货单)内容㊂
本标准适用于化学气相沉积㊂
下列文件对于本文件的应用是必不可少的㊂凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件㊂凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件㊂
G B/T3163 2007真空技术术语销钉
电子散热扇
G B5959.1电热装置的安全第1部分：通用要求 G B5959.4电热装置的安全第4部分：对电阻加热装置的特殊要求
G B/T10066.1 2004电热设备的试验方法第1部分：通用部分
G B/T10066.4 2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉
G B/T10067.1 2005电热装置基本技术条件第1部分：通用部分
G B/T10067.4 2005电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉
聚氨酯生产工艺J B/T10550 2006真空技术真空烧结炉
Y S/T778 2011真空脱脂烧结炉
3术语和定义
G B/T3163 2007㊁G B/T10066.4 2004㊁J B/T10550 2006㊁Y S/T778 2011界定的术语和定义适用于本文件㊂
4要求
4.1分类
化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型，按炉型及工作区域尺寸分为13种型号，见表1和表2㊂
4.2型号表示规则
4.2.1卧式化学气相沉积炉的型号表示
卧式化学气相沉积炉的型号表示由H C V D(其中H表示卧式;C V D表示化学气相沉积)和工作区域尺寸(宽ˑ高ˑ长)组成，其型号表示见示例㊂
示例：卧式化学气相沉积炉工作区域尺寸为宽1000mm㊁高1000mm㊁长1500mm，其型号表示为H C V D-101015㊂自动甩干拖把
工艺品加工设备
