一种刻蚀机存储单元的数据采集装置的制作方法

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1.本实用新型涉及一种数据采集装置，涉及刻蚀机组件技术领域，具体涉及一种刻蚀机存储单元的数据采集装置。

背景技术：

2.集成电路产业正处于技术变革时期，刻蚀已经成为半导体晶圆制造中的关键步骤，在半导体制造中重要性凸显，半导体制造主要步骤包括光刻、刻蚀、以及薄膜沉积三大步骤，并且不断循环进行，以构造出复杂精细的电路结构，而这三个环节工艺的先进程度也直接决定了晶圆厂生产高制程产品的能力，以及芯片的应用性能，近年来刻蚀机市场规模有显著提升，高性能的刻蚀机文件存储有助于提高刻蚀机的产率，随着数据存储的能力不断发展，存储系统在i/o性能、存储容量、数据可用性等的要求也在增加，存储设备成为刻蚀机中最重要的设备，不再是服务器的附属设备，对于设备相关文件经常需要备份，需要有相关的配件，传统磁介质软盘和驱动器因寿命短，在某些情况下无法长时间保存数据，遭到淘汰。目前，对于刻蚀机文件存储装置中直接存储系统就是利用scsi的优良性能来解决高速存储问题。scsi，即小型微型计算机系统接口，已经成为各种计算机，包括微机工作站、小型机，甚至大型计算机的系统接口。随着scsi技术不断成熟，从磁盘、磁带机、光盘等外围存储设备接口到各种外围设备，应用范围不断扩大。现在，在中小型计算机系统和工作站中scsi是一种普遍采用的技术，在高档微机中，它成为先进系统的标志。针对现有技术存在以下问题：
3.1、常见的数据采集接口不具备阻隔防护的功能，其连接端多为敞开式设计的，接口闲置时，灰尘等杂质会侵入接口的连接端内，影响接口的使用寿命；
4.2、常见的数据采集接口不具备高效散热的功能，数据采集接口传输数据的过程中会发热，热量汇集过多会影响数据采集接口的安全。

技术实现要素：

5.本实用新型提供一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：
7.一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，包括插接壳体和scsi数据采集接口本体，所述插接壳体的两侧均焊接有安装条，所述插接壳体的正面开设有插接槽，所述插接壳体的内部设置有阻隔保护机构，所述插接壳体的背面设置有散热保护机构。
8.所述阻隔保护机构包括隐藏槽，所述隐藏槽开设在插接壳体的顶部，所述插接壳体的内部开设有位于隐藏槽内腔两侧的滑槽，所述滑槽的内腔中滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶部固定连接有弹性件。
9.所述散热保护机构包括背部壳体，所述背部壳体固定安装在插接壳体的背面，所述背部壳体的内壁上固定安装有连接安装件，所述scsi数据采集接口本体固定安装在连接
安装件远离背部壳体的一侧上，所述scsi数据采集接口本体的连接端设置在正面，所述scsi数据采集接口本体的背面延伸至背部壳体的背面固定连接有数据线，所述背部壳体的顶部和底部均固定安装有散热板。
10.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述弹性件的顶部与插接壳体内壁的顶部固定连接，所述滑动块的内侧固定安装有移动挡板，所述移动挡板的顶部固定安装有拉动环。
11.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述移动挡板的正面开设有方槽，所述移动挡板的内部固定安装有位于方槽内腔中的旋转座，所述旋转座远离移动挡板的一侧转动连接有转动卡块。
12.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述背部壳体内壁的两侧均固定安装有分流管道，两个所述分流管道相邻的一侧固定连接有散热管。
13.本实用新型技术方案的进一步改进在于：两个所述散热板相邻的一侧均固定安装有防尘网，所述散热板的顶部开设有进风斜槽和进风槽，两个所述散热板相互远离的一侧均固定安装有导流条。
14.本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述散热管的外壁上焊接有外换热翅，所述散热管的内壁上焊接有内换热翅，所述散热管的内壁上固定安装有中心块。
15.由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：
16.1、本实用新型提供一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，采用滑动块、弹性件、移动挡板、拉动环和转动卡块的结合，借助拉动环将移动挡板上拉，上拉的过程中同时带动滑动块对弹性件进行压缩，当转动卡块移动至插接壳体的顶部后，可转动转动卡块来对移动挡板的位置进行锁定，随之可对scsi数据采集接口本体的正面进行连接，连接解除后，旋转转动卡块解除对移动挡板固定，通过弹性件带动移动挡板复位，进而对scsi数据采集接口本体的正面进行阻隔防护，避免灰尘等杂质落入插接壳体的连接端内的问题，延长插接壳体的使用寿命。
17.2、本实用新型提供一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，采用分流管道、散热管、背部壳体、进风斜槽和进风槽的结合，预先将两个分流管道相互远离的一端分别与外接水冷装置的输入端和输入端连接上，外接水冷装置产生的冷水会通过散热管的内腔循环，借助散热管的外壁来对scsi数据采集接口本体进行换热降温的处理，通过进风斜槽和进风槽的开设，可使外接风机吹出的风顺利进入背部壳体的内腔中，对scsi数据采集接口本体进行通风散热，有效降低scsi数据采集接口本体工作时的温度，保护scsi数据采集接口本体的安全。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图；
19.图2为本实用新型插接壳体的内部结构示意图；
20.图3为本实用新型背部壳体的内部结构示意图；
21.图4为本实用新型散热板的部分剖视结构示意图；
22.图5为本实用新型散热管的侧面剖视结构示意图。
23.图中：1、插接壳体；11、scsi数据采集接口本体；2、安装条；4、插接槽；
24.3、阻隔保护机构；31、隐藏槽；32、滑槽；33、滑动块；34、弹性件；35、移动挡板；36、拉动环；37、方槽；38、旋转座；39、转动卡块；
25.5、散热保护机构；51、背部壳体；52、连接安装件；53、散热板；531、防尘网；532、进风斜槽；533、导流条；534、进风槽；54、分流管道；55、散热管；551、外换热翅；552、内换热翅；553、中心块。
具体实施方式
26.下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明：
27.实施例1
28.如图1-5所示，本实用新型提供了一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，包括插接壳体1和scsi数据采集接口本体11，插接壳体1的两侧均焊接有安装条2，插接壳体1的正面开设有插接槽4，插接壳体1的内部设置有阻隔保护机构3，插接壳体1的背面设置有散热保护机构5，阻隔保护机构3包括隐藏槽31，隐藏槽31开设在插接壳体1的顶部，插接壳体1的内部开设有位于隐藏槽31内腔两侧的滑槽32，滑槽32的内腔中滑动连接有滑动块33，滑动块33的顶部固定连接有弹性件34，散热保护机构5包括背部壳体51，背部壳体51固定安装在插接壳体1的背面，背部壳体51的内壁上固定安装有连接安装件52，scsi数据采集接口本体11固定安装在连接安装件52远离背部壳体51的一侧上，scsi数据采集接口本体11的连接端设置在正面，scsi数据采集接口本体11的背面延伸至背部壳体51的背面固定连接有数据线，背部壳体51的顶部和底部均固定安装有散热板53，将外接高速微处理器与外接scsi存储设备按scsi协议联络，控制scsi数据采集接口本体11与scsi存储设备进行数据交换，实现高速实时读/写，采用单片机代替计算机，减少设备的体积，降低成本，数据采集只经接口到达scsi存储设备，减少中间流通环节，加快数据采集速度，并减小干扰，从而提高工作的可靠性，设有母线仲裁功能，挂在一个scsi母线上的多个外设可以同时工作。
29.实施例2
30.如图1-5所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，弹性件34的顶部与插接壳体1内壁的顶部固定连接，滑动块33的内侧固定安装有移动挡板35，移动挡板35的顶部固定安装有拉动环36，移动挡板35的正面开设有方槽37，移动挡板35的内部固定安装有位于方槽37内腔中的旋转座38，旋转座38远离移动挡板35的一侧转动连接有转动卡块39，借助拉动环36将移动挡板35上拉，上拉的过程中同时带动滑动块33对弹性件34进行压缩，当转动卡块39移动至插接壳体1的顶部后，可转动转动卡块39来对移动挡板35的位置进行锁定，随之可对scsi数据采集接口本体11的正面进行连接，连接解除后，旋转转动卡块39解除对移动挡板35固定，通过弹性件34带动移动挡板35复位，进而对scsi数据采集接口本体11的正面进行阻隔防护。
31.实施例3
32.如图1-5所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，背部壳体51内壁的两侧均固定安装有分流管道54，两个分流管道54相邻的一侧固定连接有散热管55，两个散热板53相邻的一侧均固定安装有防尘网531，散热板53的顶部开设有进风斜槽532和进风槽534，两个散热板53相互远离的一侧均固定安装有导流条533，散热管55的外壁上焊接有外换热翅551，散热管55的内壁上焊接有内换热翅552，散热管55的内壁上固定安
装有中心块553，预先将两个分流管道54相互远离的一端分别与外接水冷装置的输入端和输入端连接上，外接水冷装置产生的冷水会通过散热管55的内腔循环，借助散热管55的外壁来对scsi数据采集接口本体11进行换热降温的处理，通过进风斜槽532和进风槽534的开设，可使外接风机吹出的风顺利进入背部壳体51的内腔中，对scsi数据采集接口本体11进行通风散热，有效降低scsi数据采集接口本体11工作时的温度，风向位于顶部或底部时，散热气体直接通过进风槽534进入背部壳体51内，风向位于侧面时，通过导流条533配合进风斜槽532将其导入背部壳体51内。
33.下面具体说一下该刻蚀机存储单元的数据采集装置的工作原理。
34.如图1-5所示，使用时，预先将scsi数据采集接口本体11背面的数据线与刻蚀机存储单元连接上，然后借助拉动环36将移动挡板35上拉，当转动卡块39移动至插接壳体1的顶部后转动转动卡块39对移动挡板35进行锁定，然后将外接数据输出装置的端口与scsi数据采集接口本体11的正面进行连接，即可通过scsi数据采集接口本体11对数据进行采集，连接解除后，旋转转动卡块39解除对移动挡板35固定，促使移动挡板35复位，对scsi数据采集接口本体11的正面进行阻隔防护，数据传输的过程中，通过分流管道54和散热管55配合外接水冷装置来对scsi数据采集接口本体11进行无接触水冷散热。
35.上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进，均在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，包括插接壳体(1)和scsi数据采集接口本体(11)，其特征在于：所述插接壳体(1)的两侧均焊接有安装条(2)，所述插接壳体(1)的正面开设有插接槽(4)，所述插接壳体(1)的内部设置有阻隔保护机构(3)，所述插接壳体(1)的背面设置有散热保护机构(5)；所述阻隔保护机构(3)包括隐藏槽(31)，所述隐藏槽(31)开设在插接壳体(1)的顶部，所述插接壳体(1)的内部开设有位于隐藏槽(31)内腔两侧的滑槽(32)，所述滑槽(32)的内腔中滑动连接有滑动块(33)，所述滑动块(33)的顶部固定连接有弹性件(34)；所述散热保护机构(5)包括背部壳体(51)，所述背部壳体(51)固定安装在插接壳体(1)的背面，所述背部壳体(51)的内壁上固定安装有连接安装件(52)，所述scsi数据采集接口本体(11)固定安装在连接安装件(52)远离背部壳体(51)的一侧上，所述scsi数据采集接口本体(11)的连接端设置在正面，所述scsi数据采集接口本体(11)的背面延伸至背部壳体(51)的背面固定连接有数据线，所述背部壳体(51)的顶部和底部均固定安装有散热板(53)。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，其特征在于：所述弹性件(34)的顶部与插接壳体(1)内壁的顶部固定连接，所述滑动块(33)的内侧固定安装有移动挡板(35)，所述移动挡板(35)的顶部固定安装有拉动环(36)。3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，其特征在于：所述移动挡板(35)的正面开设有方槽(37)，所述移动挡板(35)的内部固定安装有位于方槽(37)内腔中的旋转座(38)，所述旋转座(38)远离移动挡板(35)的一侧转动连接有转动卡块(39)。4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，其特征在于：所述背部壳体(51)内壁的两侧均固定安装有分流管道(54)，两个所述分流管道(54)相邻的一侧固定连接有散热管(55)。5.根据权利要求4所述的一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，其特征在于：两个所述散热板(53)相邻的一侧均固定安装有防尘网(531)，所述散热板(53)的顶部开设有进风斜槽(532)和进风槽(534)，两个所述散热板(53)相互远离的一侧均固定安装有导流条(533)。6.根据权利要求4所述的一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，其特征在于：所述散热管(55)的外壁上焊接有外换热翅(551)，所述散热管(55)的内壁上焊接有内换热翅(552)，所述散热管(55)的内壁上固定安装有中心块(553)。

技术总结

本实用新型公开了一种刻蚀机存储单元的数据采集装置，涉及刻蚀机组件技术领域，包括插接壳体和SCSI数据采集接口本体，所述插接壳体的两侧均焊接有安装条，所述插接壳体的正面开设有插接槽，所述插接壳体的内部设置有阻隔保护机构，所述插接壳体的背面设置有散热保护机构，所述阻隔保护机构包括隐藏槽。本实用新型通过借助拉动环将移动挡板上拉，上拉的过程中同时带动滑动块对弹性件进行压缩，当转动卡块移动至插接壳体的顶部后，可转动转动卡块来对移动挡板的位置进行锁定，随之可对SCSI数据采集接口本体的正面进行连接，连接解除后，旋转转动卡块解除对移动挡板固定，通过弹性件带动移动挡板复位，进而对SCSI数据采集接口本体的正面进行阻隔防护。的正面进行阻隔防护。的正面进行阻隔防护。