一种用于光罩存储盒的开闭装置的制作方法

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1.本实用新型涉及光罩加工辅助设备技术领域，尤其涉及一种用于光罩存储盒的开闭装置。

背景技术：

2.光罩，业内又称为掩膜版或掩模板，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，是ic制作的过程中必不可少的工具。
3.光罩的加工工艺涉及到多个工艺步骤，如清洗、检验等步骤。为了防止光罩在各个工艺站点之间转移时，受到污染或者损坏，光罩通常是被放置在光罩存储盒内，然后通过传输设备或者机械手臂等流转在各个工艺站点之间，常规的光罩存储盒的前侧通常有两个锁孔，通过滑动两个锁扣便能够完成解锁或者上锁的操作。但是在光罩的加工生产线中，由于缺乏自动打开光罩存储盒的设备，导致打开光罩存储盒的操作，必须由人工来操作，这不仅降低了光罩加工生产线的自动化程度，也间接提高了光罩被污染或者损坏的风险。

技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于光罩存储盒的开闭装置，解决了背景技术中指出的在光罩的加工生产线中，由于缺乏自动打开光罩存储盒的设备，导致打开光罩存储盒的操作，必须由人工来操作，这降低了光罩加工生产线的自动化程度的问题。
5.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：
6.一种用于光罩存储盒的开闭装置，包括基座、u形框、两个解锁组件、两个抵紧组件和两个旋转组件；所述基座上固定有用于放置存储盒的定位框，所述u形框放置在定位框上并能够将存储盒覆盖；所述解锁组件包括第一气缸、第一连接件、第二气缸、第二连接件和解锁头，所述第一气缸固定在基座上，所述第一连接件安装在第一气缸的输出轴上，所述第二气缸固定在第一连接件远离第一气缸的一侧，所述第二连接件固定在第二气缸的输出轴上，所述解锁头固定在第二连接件远离第二气缸的一端，所述解锁头上固定有两块适配存储盒锁扣的解锁板；所述抵紧组件包括第三气缸、第三连接件和抵紧件，所述第三气缸固定在u形框上，所述第三连接件固定在第三气缸的输出轴上，所述抵紧件固定在第三连接件上，所述抵紧件远离第三连接件的一端能够抵紧在存储盒的上盖上，所述u形框上具有供抵紧件穿过的通孔；所述旋转组件包括电机和旋转轴，所述电机固定在基座上，所述旋转轴的一端固定在电机的输出轴上，所述旋转轴的另一端固定在u形框上，所述旋转轴的旋转中心与存储盒上盖的旋转中心重合。
7.进一步，所述第一连接件为矩形块装结构，所述第一连接件内具有第一缓冲腔室，所述第一气缸的输出轴穿至第一缓冲腔室内并固定有第一缓冲板，所述第一缓冲板滑动安
装在第一缓冲腔室内，所述第一缓冲腔室内安装有第一缓冲弹簧，所述第一缓冲弹簧的一端抵靠在第一缓冲板上，所述第一缓冲弹簧的另一端抵靠在第一缓冲腔室的内侧壁上。
8.进一步，所述第一连接件的底侧固定有滑块，所述基座上设有适配滑块的滑槽，所述滑块滑动安装在滑槽内。
9.进一步，所述第二连接件包括连接杆和缓冲杆，所述连接杆的一端固定在第二气缸的输出轴上，所述连接杆内远离第二气缸的一侧具有第二缓冲腔室，所述缓冲杆的一端穿至第二缓冲腔室内并固定有第二缓冲板，所述第二缓冲板滑动安装在第二缓冲腔室内，所述第二缓冲腔室内于第二缓冲板的两侧均安装有第二缓冲弹簧，所述第二缓冲弹簧的一端抵靠在第二缓冲板上，所述第二缓冲弹簧的另一端抵靠在第二缓冲腔室的内侧壁上，所述缓冲杆远离连接杆的一端与解锁头固定。
10.进一步，所述第一连接件上固定有l形杆，所述l形杆远离第一连接件的一端固定有滑套，所述连接杆滑动安装在滑套内。
11.进一步，所述抵紧件包括滑动杆、套杆、抵紧弹簧和抵紧板，所述滑动杆的一端固定在第三连接件上，所述滑动杆的另一端延伸至套杆内并与套杆滑动连接，所述抵紧板固定在套杆远离滑动杆的一端，所述抵紧弹簧安装在套杆内，所述抵紧弹簧的一端固定在滑动杆上，所述抵紧弹簧的另一端固定抵紧板上。
12.进一步，所述抵紧板上远离套杆的一侧铺设有橡胶垫层。
13.进一步，所述旋转组件还包括固定在基座上的转动安装部，所述旋转轴贯穿转动安装部并与转动安装部转动连接。
14.本实用新型的有益效果：
15.本实用新型通过设置基座、u形框、解锁组件、抵紧组件和旋转组件，能够实现光罩存储盒的自动化解锁或者上锁，以及存储盒的自动化打开或者关闭的操作，无需人工上手操作，不仅能够提高光罩加工生产线的自动化程度，也能够降低光罩被污染或者损坏的风险。
附图说明
16.图1是本实用新型一种用于光罩存储盒的开闭装置的结构示意图；
17.图2是本实用新型中为展示第一连接件内部结构的剖视图；
18.图3是本实用新型中为展示第二连接件内部结构的剖视图；
19.图4是本实用新型中为展示抵紧组件内部结构的剖视图；
20.图5是本实用新型另一视角的结构示意图；
21.其中，1、基座；11、定位框；12、滑槽；2、u形框；21、通孔；3、解锁组件；31、第一气缸；311、第一缓冲板；32、第一连接件；321、第一缓冲腔室；322、第一缓冲弹簧；323、滑块；324、l形杆；325、滑套；33、第二气缸；34、第二连接件；341、连接杆；3411、第二缓冲腔室；3412、第二缓冲弹簧；342、缓冲杆；3421、第二缓冲板；35、解锁头；351、解锁板；4、抵紧组件；41、第三气缸；42、第三连接件；43、抵紧件；431、滑动杆；432、套杆；433、抵紧弹簧；434、抵紧板；5、旋转组件；51、电机；52、旋转轴；53、转动安装部；6、存储盒。
具体实施方式
22.以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本实用新型的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本实用新型的限制，为了更好地说明本实用新型的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
23.本实用新型实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用于的具体含义。
24.如图1和图5所示，本实用新型的一种用于光罩存储盒的开闭装置，包括基座1、u形框2、两个解锁组件3、两个抵紧组件4和两个旋转组件5，基座1上固定有矩形结构的定位框11，该定位框11用于放置存储盒6，并且当存储盒6放置进定位框11内后，存储盒6的上盖始终位于定位框11外。u形框2呈倒置状态，即u形框2未封口的一侧朝向下侧，u形框2的两端分别放置在定位框11上，并且u形框2能够将存储盒6覆盖。
25.如图1和图3所示，两个解锁组件3对称设置在定位框11的两侧，分别用于推动存储盒6的两个锁扣，达到解锁或者上锁的目的，解锁组件3包括第一气缸31、第一连接件32、第二气缸33、第二连接件34和解锁头35，第一气缸31固定在基座1上，第一连接件32安装在第一气缸31的输出轴上，第二气缸33固定在第一连接件32远离第一气缸31的一侧，第二连接件34固定在第二气缸33的输出轴上。解锁头35固定在第二连接件34远离第二气缸33的一端，解锁头35上固定有两块适配存储盒6锁扣的解锁板351，两块解锁板351均垂直设置在解锁头35上，两块解锁板351之间留有供存储盒6锁扣进入的间距。当开始进行存储盒6的解锁或者上锁操作时，首先启动第一气缸31，带动第一连接件32、第二气缸33、第二连接件34和解锁头35往靠近存储盒6的一侧移动，并最终使存储盒6的锁扣进入两块解锁板351之间，然后启动第二气缸33，带动第二连接件34和解锁头35在水平方向上移动，从而通过两块解锁板351推动存储盒6的锁扣滑动，达到解锁或者上锁的目的。
26.如图2所示，在本实施例中，第一连接件32为矩形块状结构，第一连接件32内具有第一缓冲腔室321，第一气缸31的输出轴穿至第一缓冲腔室321内，并且第一气缸31的输出轴上固定有第一缓冲板311，第一缓冲板311滑动安装在第一缓冲腔室321内，第一缓冲腔室321内安装有第一缓冲弹簧322，第一缓冲弹簧322的一端抵靠在第一缓冲板311上，第一缓冲弹簧322的另一端抵靠在第一缓冲腔室321的内侧壁上。通过设置这样的缓冲结构，当第一气缸31带动解锁头35移动，直到解锁头35抵靠在存储盒6上时，能够起到一定的缓冲作用，从而降低解锁头35压坏存储盒6的风险。
27.如图2所示，在本实施例中，第一连接件32的底侧固定有滑块323，基座1上设有适配滑块323的滑槽12，滑块323滑动安装在滑槽12内。通过这样设置，使第一气缸31能够顺利带动第一连接件32移动。
28.如图3所示，在本实施例中，第二连接件34包括连接杆341和缓冲杆342，连接杆341的一端固定在第二气缸33的输出轴上，连接杆341内远离第二气缸33的一侧具有第二缓冲腔室3411，缓冲杆342的一端穿至第二缓冲腔室3411内，并且固定缓冲杆342上有第二缓冲板3421，第二缓冲板3421滑动安装在第二缓冲腔室3411内，第二缓冲腔室3411内于第二缓冲板3421的两侧均安装有第二缓冲弹簧3412，第二缓冲弹簧3412的一端抵靠在第二缓冲板3421上，第二缓冲弹簧3412的另一端抵靠在第二缓冲腔室3411的内侧壁上，缓冲杆342远离连接杆341的一端与解锁头35固定。通过设置这样的缓冲结构，当第二气缸33通过第二连接件34带动解锁头35，实施推动存储盒6的锁扣的操作时，能够起到一定的缓冲作用，从而降低解锁头35推坏存储盒6的锁扣的风险。
29.如图1和图3所示，在本实施例中，第一连接件32上固定有l形杆324，l形杆324远离第一连接件32的一端固定有滑套325，连接杆341贯穿滑套325并与滑套325滑动连接。通过这样设置，使得第二气缸33带动第二连接件34移动的操作更加顺畅。
30.如图1和图5所示，两个抵紧组件4对称安装在u形框2上侧，用于夹紧存储盒6的上盖，抵紧组件4包括第三气缸41、第三连接件42和抵紧件43，第三气缸41固定在u形框2的上侧，第三连接件42为矩形块状结构，第三连接件42固定在第三气缸41的输出轴上，抵紧件43的一端固定在第三连接件42上，抵紧件43远离第三连接件42的一端能够抵紧在存储盒6的上盖上，u形框2上具有供抵紧件43穿过的通孔21。
31.如图1和图5所示，两个旋转组件5分别安装在定位框11的两侧，用于带动u形框2旋转，达到开启或者关闭存储盒6上盖的目的，旋转组件5包括电机51和旋转轴52，电机51为步进电机51，电机51固定在基座1上，旋转轴52的一端通过联轴器固定在电机51的输出轴上，旋转轴52的另一端固定在u形框2上，并且旋转轴52的旋转中心与存储盒6上盖的旋转中心重合。当需要打开或者关闭存储盒6的上盖时，首先启动第三气缸41，带动第三连接件42和抵紧件43往靠近存储盒6的一侧移动，直到两个抵紧件43均抵紧在存储盒6的上盖，u形框2便能够与存储盒6的上盖固定，然后启动电机51，通过旋转轴52带动u形框2转动，便能够带动存储盒6的上盖围绕其旋转中心转动，从而达到开启或者关闭存储盒6上盖的目的，然后便可以操控某一个工艺站点中的夹具将存储盒6内的光罩取出，对光罩进行加工处理。
32.如图4所示，在本实施例中，抵紧件43包括滑动杆431、套杆432、抵紧弹簧433和抵紧板434，滑动杆431的一端固定在第三连接件42靠近存储盒6的一侧上，滑动杆431的另一端延伸至套杆432内并与套杆432滑动连接，抵紧板434固定在套杆432远离滑动杆431的一端，抵紧板434能够穿过u形框2的通孔21与存储盒6接触，抵紧弹簧433安装在套杆432内，抵紧弹簧433的一端固定在滑动杆431上，抵紧弹簧433的另一端固定抵紧板434上。通过这样的缓冲结构，使抵紧板434抵紧在存储盒6上时，能够有一定的缓冲作用，降低抵紧件43抵坏存储盒6的风险。
33.在本实施例中，抵紧板434上远离套杆432的一侧铺设有橡胶垫层。通过这样设置，能够加强抵紧板434与存储盒6上盖之间的摩擦力，从而顺利打开存储盒6的上盖。
34.如图1所示，在本实施例中，旋转组件5还包括固定在基座1上的转动安装部53，旋转轴52贯穿转动安装部53，并通过轴承与转动安装部53转动连接。通过这样设置，使得旋转轴52能够顺利转动，从而顺利打开或者关闭存储盒6的上盖。
35.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对
本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

技术特征：

1.一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：包括基座、u形框、两个解锁组件、两个抵紧组件和两个旋转组件；所述基座上固定有用于放置存储盒的定位框，所述u形框放置在定位框上并能够将存储盒覆盖；所述解锁组件包括第一气缸、第一连接件、第二气缸、第二连接件和解锁头，所述第一气缸固定在基座上，所述第一连接件安装在第一气缸的输出轴上，所述第二气缸固定在第一连接件远离第一气缸的一侧，所述第二连接件固定在第二气缸的输出轴上，所述解锁头固定在第二连接件远离第二气缸的一端，所述解锁头上固定有两块适配存储盒锁扣的解锁板；所述抵紧组件包括第三气缸、第三连接件和抵紧件，所述第三气缸固定在u形框上，所述第三连接件固定在第三气缸的输出轴上，所述抵紧件固定在第三连接件上，所述抵紧件远离第三连接件的一端能够抵紧在存储盒的上盖上，所述u形框上具有供抵紧件穿过的通孔；所述旋转组件包括电机和旋转轴，所述电机固定在基座上，所述旋转轴的一端固定在电机的输出轴上，所述旋转轴的另一端固定在u形框上，所述旋转轴的旋转中心与存储盒上盖的旋转中心重合。2.根据权利要求1所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述第一连接件为矩形块装结构，所述第一连接件内具有第一缓冲腔室，所述第一气缸的输出轴穿至第一缓冲腔室内并固定有第一缓冲板，所述第一缓冲板滑动安装在第一缓冲腔室内，所述第一缓冲腔室内安装有第一缓冲弹簧，所述第一缓冲弹簧的一端抵靠在第一缓冲板上，所述第一缓冲弹簧的另一端抵靠在第一缓冲腔室的内侧壁上。3.根据权利要求2所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述第一连接件的底侧固定有滑块，所述基座上设有适配滑块的滑槽，所述滑块滑动安装在滑槽内。4.根据权利要求1-3任一权利要求所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述第二连接件包括连接杆和缓冲杆，所述连接杆的一端固定在第二气缸的输出轴上，所述连接杆内远离第二气缸的一侧具有第二缓冲腔室，所述缓冲杆的一端穿至第二缓冲腔室内并固定有第二缓冲板，所述第二缓冲板滑动安装在第二缓冲腔室内，所述第二缓冲腔室内于第二缓冲板的两侧均安装有第二缓冲弹簧，所述第二缓冲弹簧的一端抵靠在第二缓冲板上，所述第二缓冲弹簧的另一端抵靠在第二缓冲腔室的内侧壁上，所述缓冲杆远离连接杆的一端与解锁头固定。5.根据权利要求4所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述第一连接件上固定有l形杆，所述l形杆远离第一连接件的一端固定有滑套，所述连接杆滑动安装在滑套内。6.根据权利要求4所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述抵紧件包括滑动杆、套杆、抵紧弹簧和抵紧板，所述滑动杆的一端固定在第三连接件上，所述滑动杆的另一端延伸至套杆内并与套杆滑动连接，所述抵紧板固定在套杆远离滑动杆的一端，所述抵紧弹簧安装在套杆内，所述抵紧弹簧的一端固定在滑动杆上，所述抵紧弹簧的另一端固定抵紧板上。7.根据权利要求6所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述抵紧板上远离套杆的一侧铺设有橡胶垫层。8.根据权利要求5-7任一权利要求所述的一种用于光罩存储盒的开闭装置，其特征在于：所述旋转组件还包括固定在基座上的转动安装部，所述旋转轴贯穿转动安装部并与转动安装部转动连接。

技术总结

本实用新型涉及光罩加工辅助设备领域，公开了一种用于光罩存储盒的开闭装置，包括基座、U形框、两个解锁组件、两个抵紧组件和两个旋转组件；基座上固定有用于放置存储盒的定位框，U形框放置在定位框上并能够将存储盒覆盖；解锁组件包括第一气缸、第一连接件、第二气缸、第二连接件和解锁头，第一气缸固定在基座上，第一连接件安装在第一气缸的输出轴上，第二气缸固定在第一连接件远离第一气缸的一侧，第二连接件固定在第二气缸的输出轴上。本实用新型能够实现光罩存储盒的自动化解锁或者上锁，以及存储盒的自动化打开或者关闭的操作，无需人工上手操作，不仅能够提高光罩加工生产线的自动化程度，也能够降低光罩被污染或者损坏的风险。险。险。