方棒加工方法与流程

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1.本发明属于太阳能单晶硅方棒加工技术领域，尤其是涉及方棒加工方法。

背景技术：

2.现方棒加工环节工作量大、点检频次高、行走距离远，且人员操作任务存在复杂性、多样性、随机性，又因受限于操作人员的能力水平、资源局限性以及每项任务的繁复性和不确定性，无法做到任务的合理、高效分配，且导致产品质量波动较大。

技术实现要素：

3.本发明提供方棒加工方法，尤其涉及由单晶晶体加工成标准方棒的制程，解决了现有技术加工效率低、产品质量不稳定的技术问题。
4.为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
5.方棒加工方法，包括以下步骤：
6.获取制程中所有工序的每一台在线设备在运行中的异常信息，并形成加工异常信息库；
7.对所述加工异常信息库中的所述异常信息进行分类，并对分类后的所述异常信息进行派工；
8.执行对分类后被派工的所述异常信息进行远程操作处理或设备现场处理，以使出现所述异常信息的所述设备被维修。
9.进一步的，所述对所述加工异常信息库中的所述异常信息进行分类，并对分类后的所述异常信息进行派工，包括：
10.所述异常信息库被分为可远程解决的所述异常信息和可现场解决的所述异常信息；
11.执行可远程解决的所述异常信息被派工至远程终端平台上；
12.执行可现场解决的所述异常信息被派工至生产执行管理系统中。
13.进一步的，所述执行对分类后被派工的所述异常信息进行处理，以使出现所述异常信息的所述设备被维修，包括：
14.在所述远程终端平台上，直接通过对可远程解决的所述异常信息中的参数进行修正，即可维修具有可远程解决的所述异常信息的所述设备；
15.所述生产执行管理系统再将被派工的可现场解决的所述异常信息派至相应所述设备的工作现场，工作人员在工作现场对所述设备进行维修。
16.进一步的，还包括在独立的显示屏幕上展示制程中所有工序的每一台在线设备的信息的步骤。
17.进一步的，所述在独立的显示屏幕上展示制程中所有工序的每一台在线设备的信息包括：所述设备的异常报警信息、工作状态信息以及运行时间信息。
18.进一步的，在所述获取制程中所有工序的每一台在线设备在运行中的异常信息，
并形成加工异常信息库的步骤之前，还包括：
19.获取制程中所有工序的每一台在线设备的所有基础源信息；
20.对获取后的所述基础源信息进行数据处理；
21.对处理后的数据进行分析判断，以获取所述异常信息内容。
22.进一步的，所述获取制程中所有工序的每一台在线设备的所有基础源信息，包括：生产运行数据、原辅料数据、品质数据、工艺数据、状态数据。
23.进一步的，所述对处理后的数据进行分析判断，以获取所述异常信息内容，包括：
24.分析处理后的数据；
25.若判定合格，则继续在线执行；
26.若判定不合格，则触发报警管理系统，并获得所述异常信息。
27.进一步的，所述异常信息主要包括关于所述设备中加工工件的半径检测、环线开方负载电流图、磨前检测数据、磨削电流图及磨后检测数据。
28.进一步的，所述工序包括对由晶圆棒开方后为方棒的开方单元和对开方后的方棒进行磨削的磨削单元。
29.采用本发明设计的方棒加工方法，通过对从单晶晶圆体到单晶方棒体加工的全制程智能控制，可以远程控制制程中出现异常原因的设备，并对无法远程控制的异常原因采用现场处理的方式进行操作，以最大限度地简化控制流程，提高制程任务分配的合理性和高效性，减少人为操作带来的不确定性，保证方棒加工质量的稳定性和合规性。
附图说明
30.图1是本发明一实施例的方棒加工方法的流程图；
31.图2是本发明一实施例的方便加工数据传输图。
32.图中：
具体实施方式
33.下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
34.本实施例提出方棒加工方法，如图1和图2所示，包括以下步骤：
35.s1：获取制程中所有工序的每一台在线设备的所有基础源信息，并对所述基础源信息进行处理，并对处理后的信息进行分析判定。
36.具体地，方棒加工工序中包括对由晶圆棒开方后为方棒的开方单元和对开方后的方棒进行磨削的磨削单元，开方单元主要对标准长度的晶圆棒进行去边皮，以获得标准长度的方型晶棒；磨削单元主要是对标准长度的方型晶棒的边和角进行粗磨、精磨，在本实施例中，方棒即方型晶棒，可以为四边形晶棒，也可以为多边形晶棒，如六边形晶棒或八边形晶棒，都适用于本技术保护范围。其中，开方单元中设有若干开方机组，每个开方机组包括若干台开方机；磨削单元中设有若干磨削机组，每个磨削机组包括若干台磨削机；且在开方单元中设有一个开方上位终端平台、在磨削单元设有一个磨削上位终端平台，开方上位终端平台分别与各开方机组中的每一个开方机连接，磨削上位终端平台分别与各磨削机组中的每一个磨削机连接，开方上位终端平台和磨削上位终端平台分别获取制程中开方工序和磨削工序中的每一台相应在线设备的所有基础源信息，包括：生产运行数据、原辅料数据、
品质数据、工艺数据、状态数据。
37.制程中所有工序的每一台在线设备的所有基础源信息分别组成其相应的数据库，如：生产运行数据源组成生产运行数据库、原辅料数据源组成原辅料数据库、品质数据源组成品质数据库、工艺数据源组成工艺数据库、状态数据源组成状态数据库。
38.通过深度学习的方法对每个工序中所有基础数据源信息进行etl处理，这一处理方法为本领域的常用逻辑，即是将所有分散、零乱、标准不统一的基础源数据经过抽取、转换，形成标准且常用的统一的数据，并将同一类处理后的数据整合到一起，加载到其相应的数据库中，最终形成各个数据库。
39.再对处理后的各个数据库中的数据进行分析判断，以获取异常信息内容，具体分两步，包括：
40.将分析处理后的各个数据库中的数据，与预设的标准模型中的数据进行比对，若判定合格，则继续在线执行下一步；若判定不合格，分析处理后的数据则为异常信息，同时触发报警管理系统。
41.s2：获取制程中所有工序的每一台在线设备在运行中的异常信息，并形成加工异常信息库。
42.具体地，在分析判断中获得的异常信息主要包括关于所述设备中加工工件的半径检测、环线开方负载电流图、磨前检测数据、磨削电流图及磨后检测数据。
43.所有异常信息被远程终端平台从开方上位终端平台的分析判断模块中和磨削上位终端平台中的分析判断模块中获取，并形成异常信息库。
44.s3：对加工异常信息库中的异常信息进行分类，并对分类后的异常信息进行派工。
45.具体地，在远程终端平台中，设有质量管理模块对异常信息库中的异常信息库进行处理，目的是使异常信息库中的异常信息分为可远程解决的异常信息和可现场解决的异常信息，其中可远程解决的异常信息仅需通过修正相关参数，即可将出现异常信息的相应设备维修，使其恢复正常工作状态。
46.同时，为了整体监控制程中所有出现异常信息报警的设备或工件，在远程终端平台上还设有一个独立的显示模块，即在显示屏幕上展示制程中所有工序的每一台在线设备的信息，以便在生产现场的所有工作人员都能实时观察到所有设备的运行情况，可更快更精准地处理异常信息的设备或工件。其中，显示模块分别与开方单元中的开方上位终端平台和磨削单元中的磨削上位终端平台连接，且与远程终端平台连接，目的是为了在独立的显示屏幕上展示制程中所有工序的每一台在线设备的信息包括：设备的异常报警信息、工作状态信息以及运行时间信息。
47.对于可远程解决的异常信息直接从质量管理模块中被派工至远程终端平台上的处理模块中进行操作，负责管理远程终端平台的人员直接在远程终端平台上的处理模块中修正相关参数，即完成对相应设备的维修处理。
48.对于无法在远程解决的异常信息均视为可现场解决的异常信息，可现场解决的异常信息由质量管理模块中被派工至外设于远程终端平台的生产执行管理系统中进行处理。
49.s4：执行对分类后被派工的异常信息进行远程操作处理或设备现场处理，以使出现异常信息的设备被维修。
50.具体地，在远程终端平台上，可远程解决的异常信息直接从质量管理模块中被派
工至远程终端平台上的处理模块中进行操作，负责管理远程终端平台的人员直接在远程终端平台上的处理模块中，直接通过对可远程解决的异常信息中的相关参数进行修正，即可维修具有可远程解决的所述异常信息的所述设备。
51.可现场解决的异常信息由质量管理模块中被派工至外设于远程终端平台的生产执行管理系统中等待处理，生产执行管理系统再将被派工的可现场解决的异常信息派至相应设备的工作现场进行现场执行，工作人员在工作现场对相应设备进行维修。
52.维修合格后的设备被重新纳入生产执行管理系统中，再分别进入远程终端平台、以及开方上位终端平台或磨削上位终端平台的合格设备名单中，继续进行下一步的操作，同时在显示模块上显示该设备的现有的工作状态。
53.采用本发明设计的方棒加工方法，通过对从单晶晶圆体到单晶方棒体加工的全制程智能控制，可以远程控制制程中出现异常原因的设备，并对无法远程控制的异常原因采用现场处理的方式进行操作，以最大限度地简化控制流程，提高制程任务分配的合理性和高效性，减少人为操作带来的不确定性，保证方棒加工质量的稳定性和合规性。
54.以上对本发明的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

技术特征：

1.方棒加工方法，其特征在于，包括以下步骤：获取制程中所有工序的每一台在线设备在运行中的异常信息，并形成加工异常信息库；对所述加工异常信息库中的所述异常信息进行分类，并对分类后的所述异常信息进行派工；执行对分类后被派工的所述异常信息进行远程操作处理或设备现场处理，以使出现所述异常信息的所述设备被维修。2.根据权利要求1所述的方棒加工方法，其特征在于，所述对所述加工异常信息库中的所述异常信息进行分类，并对分类后的所述异常信息进行派工，包括：所述异常信息库被分为可远程解决的所述异常信息和可现场解决的所述异常信息；执行可远程解决的所述异常信息被派工至远程终端平台上；执行可现场解决的所述异常信息被派工至生产执行管理系统中。3.根据权利要求2所述的方棒加工方法，其特征在于，所述执行对分类后被派工的所述异常信息进行处理，以使出现所述异常信息的所述设备被维修，包括：在所述远程终端平台上，直接通过对可远程解决的所述异常信息中的参数进行修正，即可维修具有可远程解决的所述异常信息的所述设备；所述生产执行管理系统再将被派工的可现场解决的所述异常信息派至相应所述设备的工作现场，工作人员在工作现场对所述设备进行维修。4.根据权利要求1-3任一项所述的方棒加工方法，其特征在于，还包括在独立的显示屏幕上展示制程中所有工序的每一台在线设备的信息的步骤。5.根据权利要求4所述的方棒加工方法，其特征在于，所述在独立的显示屏幕上展示制程中所有工序的每一台在线设备的信息包括：所述设备的异常报警信息、工作状态信息以及运行时间信息。6.根据权利要求1-3、5任一项所述的方棒加工方法，其特征在于，在所述获取制程中所有工序的每一台在线设备在运行中的异常信息，并形成加工异常信息库的步骤之前，还包括：获取制程中所有工序的每一台在线设备的所有基础源信息；对获取后的所述基础源信息进行数据处理；对处理后的数据进行分析判断，以获取所述异常信息内容。7.根据权利要求6所述的方棒加工方法，其特征在于，所述获取制程中所有工序的每一台在线设备的所有基础源信息，包括：生产运行数据、原辅料数据、品质数据、工艺数据、状态数据。8.根据权利要求7所述的方棒加工方法，其特征在于，所述对处理后的数据进行分析判断，以获取所述异常信息内容，包括：分析处理后的数据；若判定合格，则继续在线执行；若判定不合格，则触发报警管理系统，并获得所述异常信息。9.根据权利要求1-3、5、7-8任一项所述的方棒加工方法，其特征在于，所述异常信息主要包括关于所述设备中加工工件的半径检测、环线开方负载电流图、磨前检测数据、磨削电
流图及磨后检测数据。10.根据权利要求9所述的方棒加工方法，其特征在于，所述工序包括对由晶圆棒开方后为方棒的开方单元和对开方后的方棒进行磨削的磨削单元。

技术总结

本发明提供方棒加工方法，包括以下步骤：获取制程中所有工序的每一台在线设备在运行中的异常信息，并形成加工异常信息库；对所述加工异常信息库中的所述异常信息进行分类，并对分类后的所述异常信息进行派工；执行对分类后被派工的所述异常信息进行远程操作处理或设备现场处理，以使出现所述异常信息的所述设备被维修。本发明通过对从单晶晶圆体到单晶方棒体加工的全制程智能控制，可以远程控制制程中出现异常原因的设备，并对无法远程控制的异常原因采用现场处理的方式进行操作，以最大限度地简化控制流程，提高制程任务分配的合理性和高效性，减少人为操作带来的不确定性，保证方棒加工质量的稳定性和合规性。方棒加工质量的稳定性和合规性。方棒加工质量的稳定性和合规性。