一种等离子沉积设备的制作方法

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1.本实用新型涉及等离子沉积技术领域，尤其涉及一种等离子沉积设备。

背景技术：

2.等离子沉积是将低压气体放电形成的等离子体应用于化学气相沉积的一项具有发展前途的新技术。是利用等离子激发的化学气相沉积，借助于气体辉光放电产生的低温等离子体，增强了反应物质的化学活性，促进了气体间的化学反应，从而在低温下也能在基片上形成新的固体膜。
3.现有等离子沉积设备在对物体表面沉积附着固体膜时，在沉积设备内部的固定装置上只能固定一种大小的物体，没法根据现场实际情况固定不同大小的物体进行等离子沉积，给等离子沉积设备的使用造成了一定的局限性。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的是，通过在等离子沉积设备内部设置弧形板，配合弹簧从而可以固定不同大小的物体，解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体，给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种等离子沉积设备，包括设备本体，所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱，所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒，所述沉积盒的顶部开设有反应室，所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道，所述反应室的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧，四个所述第一弹簧的一端均焊接有弧形板，四个所述弧形板的底部均对应滑动连接在滑道的内部，所述沉积盒的顶部靠近反应室的内壁开设有卡槽，所述沉积盒的顶部靠近后表面一侧通过铰链转动连接有顶盖，所述设备本体的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮，所述设备本体的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有安全门。
6.优选的，所述沉积盒的顶部靠近前表面开设有凹槽，所述凹槽的内部底面固定有两个第二弹簧。
7.优选的，两个所述第二弹簧的顶部之间固定有限位块，所述沉积盒的前表面靠近顶部边缘处固定有按钮。
8.优选的，所述顶盖的底部固定有卡边，所述顶盖的前表面靠近顶部固定有手柄，所述顶盖的顶部固定有离子发生器，所述离子发生器的前表面靠近一侧边缘处固定有滤网。
9.优选的，所述卡边滑动连接在卡槽的内部，所述离子发生器的顶部等距固定有多个散热板。
10.优选的，所述控制箱的前表面靠近一侧边缘处固定有显示屏，所述控制箱的前表面靠近另一侧边缘处固定有调节旋钮。
11.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
12.1、本实用新型中，本实用新型在使用时只需要手持手柄，按下按钮使得限位块收
缩回凹槽的内部，将顶盖打开，然后将需要沉积的物体放置在反应室内，使反应室内部的弧形板在第一弹簧的弹力作用下贴合在物体外表面，从而将物体固定夹持，然后将顶盖与沉积盒相卡合，时顶盖底部的卡边的外表壁贴合在卡槽的内壁，即可完成卡合，因为在反应室的内部底面开设有滑道，并且将弧形板的底部滑动连接在滑道的内部，从而防止在对物体进行沉积时，设备出现振动使物体在反应室的内部晃动。
13.2、本实用新型中，在安装好物体后，对物体进行沉积前，需要转动控制箱前表面靠近一侧边缘处的调节旋钮，将物体沉积需要的数值调整出来，在控制箱的前表面设置显示屏有助于人们随时监控反应室内部的沉积状态，在设备本体的底部靠近四个拐角处均安装万向轮，方便了人们对设备的移动，将离子发生器设置在顶盖的上部，方便将处理好的离子直接输入反应室进行沉积反应。
附图说明
14.图1为本实用新型提出一种等离子沉积设备的一侧立体图；
15.图2为本实用新型提出一种等离子沉积设备的另一侧视立体图；
16.图3为本实用新型提出一种等离子沉积设备的剖视视立体图；
17.图4为本实用新型图3中a处放大视图。
18.图例说明：
19.1、设备本体；2、控制箱；3、沉积盒；4、顶盖；5、离子发生器；6、滤网；7、散热板；8、反应室；9、弧形板；10、滑道；11、第一弹簧；12、凹槽；13、第二弹簧；14、限位块；15、卡槽；16、卡边；17、按钮；18、安全门；19、显示屏；20、万向轮；21、调节旋钮；22、手柄。
具体实施方式
20.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
21.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
22.实施例1，如图1-4所示，本实用新型提供了一种等离子沉积设备，包括设备本体1，设备本体1的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱2，设备本体1的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒3，沉积盒3的顶部开设有反应室8，反应室8的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道10，反应室8的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧11，四个第一弹簧11的一端均焊接有弧形板9，四个弧形板9的底部均对应滑动连接在滑道10的内部，沉积盒3的顶部靠近反应室8的内壁开设有卡槽15，沉积盒3的顶部靠近后表面一侧通过铰链转动连接有顶盖4，设备本体1的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮20，设备本体1的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有安全门18。
23.其整个实施例1达到的效果为，本实用新型在使用时只需要手持手柄22，按下按钮17使得限位块14收缩回凹槽12的内部，将顶盖4打开，然后将需要沉积的物体放置在反应室8内，使反应室8内部的弧形板9在第一弹簧11的弹力作用下贴合在物体外表面，从而将物体
固定夹持，然后将顶盖4与沉积盒3相卡合，时顶盖4底部的卡边16的外表壁贴合在卡槽15的内壁，即可完成卡合，因为在反应室8的内部底面开设有滑道10，并且将弧形板9的底部滑动连接在滑道10的内部，从而防止在对物体进行沉积时，设备出现振动使物体在反应室8的内部晃动，解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体，给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。
24.实施例2，如图1-4所示，沉积盒3的顶部靠近前表面开设有凹槽12，凹槽12的内部底面固定有两个第二弹簧13，两个第二弹簧13的顶部之间固定有限位块14，沉积盒3的前表面靠近顶部边缘处固定有按钮17，顶盖4的底部固定有卡边16，顶盖4的前表面靠近顶部固定有手柄22，顶盖4的顶部固定有离子发生器5，离子发生器5的前表面靠近一侧边缘处固定有滤网6，卡边16滑动连接在卡槽15的内部，离子发生器5的顶部等距固定有多个散热板7，控制箱2的前表面靠近一侧边缘处固定有显示屏19，控制箱2的前表面靠近另一侧边缘处固定有调节旋钮21。
25.其整个实施例2达到的效果为，在安装好物体后，对物体进行沉积前，需要转动控制箱2前表面靠近一侧边缘处的调节旋钮21，将物体沉积需要的数值调整出来，在控制箱2的前表面设置显示屏19有助于人们随时监控反应室8内部的沉积状态，在设备本体1的底部靠近四个拐角处均安装万向轮20，方便了人们对设备的移动，将离子发生器5设置在顶盖4的上部，方便将处理好的离子直接输入反应室8进行沉积反应。
26.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

技术特征：

1.一种等离子沉积设备，包括设备本体(1)，其特征在于：所述设备本体(1)的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱(2)，所述设备本体(1)的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒(3)，所述沉积盒(3)的顶部开设有反应室(8)，所述反应室(8)的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道(10)，所述反应室(8)的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧(11)，四个所述第一弹簧(11)的一端均焊接有弧形板(9)，四个所述弧形板(9)的底部均对应滑动连接在滑道(10)的内部，所述沉积盒(3)的顶部靠近反应室(8)的内壁开设有卡槽(15)，所述沉积盒(3)的顶部靠近后表面一侧通过铰链转动连接有顶盖(4)，所述设备本体(1)的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮(20)，所述设备本体(1)的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有安全门(18)。2.根据权利要求1所述的一种等离子沉积设备，其特征在于：所述沉积盒(3)的顶部靠近前表面开设有凹槽(12)，所述凹槽(12)的内部底面固定有两个第二弹簧(13)。3.根据权利要求2所述的一种等离子沉积设备，其特征在于：两个所述第二弹簧(13)的顶部之间固定有限位块(14)，所述沉积盒(3)的前表面靠近顶部边缘处固定有按钮(17)。4.根据权利要求1所述的一种等离子沉积设备，其特征在于：所述顶盖(4)的底部固定有卡边(16)，所述顶盖(4)的前表面靠近顶部固定有手柄(22)，所述顶盖(4)的顶部固定有离子发生器(5)，所述离子发生器(5)的前表面靠近一侧边缘处固定有滤网(6)。5.根据权利要求4所述的一种等离子沉积设备，其特征在于：所述卡边(16)滑动连接在卡槽(15)的内部，所述离子发生器(5)的顶部等距固定有多个散热板(7)。6.根据权利要求1所述的一种等离子沉积设备，其特征在于：所述控制箱(2)的前表面靠近一侧边缘处固定有显示屏(19)，所述控制箱(2)的前表面靠近另一侧边缘处固定有调节旋钮(21)。

技术总结

本实用新型提供一种等离子沉积设备，涉及等离子沉积技术领域，包括设备本体，所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱，所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒，所述沉积盒的顶部开设有反应室，所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道，所述反应室的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧，四个所述第一弹簧的一端均焊接有弧形板，四个所述弧形板的底部均对应滑动连接在滑道的内部，本实用新型，通过在等离子沉积设备内部设置弧形板，配合弹簧从而可以固定不同大小的物体，解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体，给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。