光学掩膜板、激光剥离设备及柔性显示器件的制备方法与流程

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1.本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种光学掩膜板、激光剥离设备及柔性显示器件的制备方法。

背景技术：

2.目前，光电显示技术的发展已深入涵盖智能装备、车载显示、化学材料、柔性穿戴、航空航天、国防军工等行业领域。在oled、qled等柔性显示器件的开发与应用中，剥离工艺用激光剥离设备(即llo设备)已广泛应用。整个柔性模组的llo工艺流程如下：承载基板经过清洗等前处理后，用聚焦的一定能量的激光束照射柔性显示器件的聚酰亚胺(即pi)形成的柔性衬底与承载基板的分界面，界面处柔性衬底材料发生性质变化，主要采用紫光激光能量使得界面处的si-o键和范德瓦尔斯力断裂和消除，在不损伤柔性显示器件的基础上降低柔性衬底与承载基板的粘结力，从而使得柔性显示器件轻易地从承载基板上顺利分离；然后再进行分离(delami)、ash检测以及支撑膜(即bp膜)贴附等后制程工艺。
3.一般地，柔性显示器件的开发与应用领域，小尺寸和中、大尺寸柔性产品呈现不同的工艺路线和成熟度区分。具体地，小尺寸柔性显示器件产品，如5.5inch、5.7inch、6.1inch，其工艺路线主要采用以下形式：大尺寸基板整体llo
→
分离(delami)
→
激光切割
→
小尺寸基板
→
绑定(bonding)
→
bp膜贴附。对于小尺寸柔性显示器件产品，该工艺路线较为成熟，技术体系较完善，综合良率较高。对于中、大尺寸柔性显示器件产品，例如16.9inch、31inch、65inch，其工艺路线主要采用以下形式：整面柔性基板先bonding
→
整面chip llo
→
分离(delami)
→
bp膜贴附。然而，在实际生产中发现，中、大尺寸柔性显示器件产品的上述工艺制程制得的产品的综合良率不高。因此，现有技术还有待发展。

技术实现要素：

4.基于此，有必要提供一种能够提高柔性显示器件的产品良率的激光剥离设备及柔性显示器件的制备方法。相应还提供了一种光学掩膜板。
5.一种光学掩膜板，包括：
6.两个第一金属板，所述两个第一金属板在第一方向间隔相对设置，且所述两个第一金属板在所述第一方向上的间距可调；及
7.两个第二金属板，所述两个第二金属板在第二方向间隔相对设置，所述两个第二金属板在所述第二方向上的间距可调；
8.其中，所述第一方向和所述第二方向相交；
9.所述两个第二金属板与所述两个第一金属板连接并围设形成具有中空区的框架结构。
10.在其中一些实施例中，所述两个第一金属板平行设置，所述两个第二金属板平行设置；和/或
11.所述第一方向和所述第二方向相互垂直。
12.在其中一些实施例中，所述两个第一金属板均分别位于所述两个第二金属板形成的平面的同一侧；各所述第一金属板具有分别与所述两个第二金属板搭接的两个搭接部。
13.在其中一些实施例中，所述光学掩膜板还包括：
14.两个第三金属板，各所述第三金属板一一对应的与各所述第二金属板在第三方向间隔且相对设置；
15.其中，所述第一方向和所述第二方向分别与所述第三方向相互垂直；
16.所述第一金属板的所述搭接部位于所述第二金属板与所述第三金属板之间。
17.在其中一些实施例中，所述光学掩膜板还包括：
18.固定板，所述固定板固定连接在间隔且相对设置的所述第三金属板与所述第二金属板之间，且位于所述两个第一金属板各自的所述搭接部之间。
19.在其中一些实施例中，所述光学掩膜板还包括四个连接件；
20.其中，各所述第一金属板和各所述第二金属板沿长度延伸方向依次间隔设置多个连接孔，各所述连接件用于择一地连接所述第一金属板中的一个连接孔和所述第二金属板中的一个连接孔，以将各所述第一金属板的两端分别与各所述第二金属板的两端连接并形成所述框架结构。
21.一种激光剥离设备，包括：
22.激光发射装置，所述激光发射装置用于发射激光；
23.激光剥离平台，所述激光剥离平台用于承载待剥离工件；及
24.上述任一项所述的光学掩膜板，所述光学掩膜板用于设于所述待剥离工件与所述激光发射装置之间，所述光学掩膜板的中空区用于对应所述待剥离工件的剥离区设置，所述框架结构用于对应所述待剥离工件的非剥离区设置。
25.在其中一些实施例中，所述激光剥离设备还包括：
26.支撑装置，所述支撑装置设于所述激光剥离平台上；
27.其中，所述支撑装置包括支撑柱及升降组件，所述升降组件与所述支撑柱的一端连接以调节所述支撑柱的高度，所述支撑柱的另一端具有支撑槽口，所述支撑槽口用于与所述光学掩膜板配合，以支撑所述光学掩膜板。
28.在其中一些实施例中，所述支撑柱的顶部具有支撑槽口，所述支撑槽口用于与所述第一金属板的端部配合。
29.在其中一些实施例中，所述激光发射装置包括激光器和激光束截取模组；
30.其中，所述激光束截取模组用于对所述激光器发射的激光束的长轴尺寸进行截取；所述激光束截取模组包括激光密封盒、第一截取组件和第一移动驱动部件，所述第一截取组件和所述第一移动驱动部件均设于所述激光密封盒内，所述激光密封盒上设有出光狭缝，所述第一移动驱动部件与所述第一截取组件连接，以带动所述第一截取组件沿所述出光狭缝的长度方向移动并遮挡所述出光狭缝的至少部分区域。
31.一种柔性显示器件的制备方法，采用上述任一项所述的激光剥离设备，所述制备方法包括如下步骤：
32.将待剥离工件置于所述激光剥离平台上，所述待剥离工件包括承载基板和设置在所述承载基板上的柔性显示器件；
33.将所述光学掩膜板设于所述待剥离工件与所述激光发射装置之间，并调整所述两
个第一金属板在所述第一方向上的间距和/或所述两个第二金属板在所述第二方向上的间距，以使所述光学掩膜板的所述中空区对应所述柔性显示器件的剥离区、所述框架结构遮挡所述柔性显示器件的剥离区外围的非剥离区设置；
34.所述激光发射装置发射激光，并依次扫描所述承载基板与所述柔性显示器件之间的界面；及
35.将所述柔性显示器件与所述承载基板分离。
36.上述光学掩膜板的框架结构的尺寸在第一方向和第二方向可调，从而使得其围设的中空区的尺寸可调，因此该光学掩膜板可适用于尺寸不同的柔性显示器件的激光剥离。
37.上述柔性显示器件的制备方法采用上述激光剥离设备，通过调整两个第一金属板在第一方向上的间距和/或两个第二金属板在第二方向上的间距，利用光学掩膜板的框架结构遮挡柔性显示器件的非剥离区，避免非剥离区受到激光照射导致非剥离区的电子元件或电路受到损伤，而使光学掩膜板的中空区对应柔性显示器件的剥离区，以使承载基板与柔性显示器件之间的界面正常受到激光扫描，从而使得柔性显示器件与承载基板分离；如此提高了柔性显示器件的产品良率。此外，其中的光学掩膜板的适用性强，可适用于尺寸不同的柔性显示器件的激光剥离，降低了激光剥离设备的成本。
附图说明
38.图1为本发明一实施例的激光剥离设备的结构示意图；
39.图2为图1所示的激光剥离设备不含激光发射装置且另一视角的结构示意图；
40.图3为图1所示的激光剥离设备中的光学掩膜板的结构示意图；
41.图4为柔性显示器件的结构示意图；
42.图5为图3所示的光学掩膜板的俯视图；
43.图6为含有图3所示的光学掩膜板的激光剥离设备的俯视图；
44.图7为图3所示的光学掩膜板的另一状态的俯视图；
45.图8为含有图7所示的光学掩膜板的激光剥离设备的俯视图；
46.图9为图1所示的激光剥离设备的激光剥离平台上的支撑装置的结构示意图；
47.图10为图9所示的支撑装置的结构示意图；
48.图11为另一实施例中激光剥离设备的激光剥离平台上的支撑装置的结构示意图；
49.图12为图1所示的激光剥离设备中的激光束截取模组的结构示意图。
50.附图标记说明：
51.10：激光剥离设备；
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100：激光发射装置；
52.200：激光剥离平台；
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300：光学掩膜板；
53.110：激光器；
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120：激光束截取模组；
54.121：激光密封盒；
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1211：出光狭缝；
55.122：第一截取组件；
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123：第一移动驱动部件；
56.124：第二截取组件；
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125：第二移动驱动部件；
57.130：激光束；
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310：第一金属板；
58.320：第二金属板；
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330：第三金属板；
59.340：固定板；
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311：连接孔；
60.01：第一方向；
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02：第二方向；
61.03：第三方向；
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400：支撑装置；
62.410：支撑柱；
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411：支撑槽口；
63.420：升降杆；
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430：升降驱动部件；
64.50：柔性显示器件；
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51：剥离区；
65.52：非剥离区；
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60：承载基板；
66.511：柔性衬底；
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512：显示器件层；
67.513：封装层；
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514：阻挡层；
68.515：偏光层；
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521：电路板；
69.522：芯片；
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523：覆晶薄膜；
70.524：柔性线路板。
具体实施方式
71.为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
72.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
73.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
74.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
75.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
76.本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
77.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的
技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
78.请参阅图1，本发明提供了一种激光剥离设备10及其光学掩膜板300，和采用该激光剥离设备10进行的柔性显示器件50的制备方法。下面将结合激光剥离设备10和柔性显示器件50的制备方法，对光学掩膜板300进行详细的介绍。
79.请参阅图1和图2，本发明一实施方式提供了一种激光剥离设备10，包括激光发射装置100、激光剥离平台200和光学掩膜板300。
80.其中，激光发射装置100用于发射激光。
81.激光剥离平台200用于承载待剥离工件。
82.光学掩膜板300用于设于待剥离工件与激光发射装置100之间。光学掩膜板300的中空区用于对应待剥离工件的剥离区设置，光学掩膜板300的框架结构对应待剥离工件的非剥离区设置，以遮挡待剥离工件的非剥离区，避免非剥离区受到激光照射。
83.请参阅图3，具体地，光学掩膜板300包括两个第一金属板310及两个第二金属板320。两个第一金属板310在第一方向01间隔相对设置，且两个第一金属板310在第一方向01上的间距可调。两个第二金属板320在第二方向02间隔相对设置，两个第二金属板320在第二方向02上的间距可调，第一方向01和第二方向02相交；两个第二金属板320与两个第一金属板310连接并围设形成具有中空区的框架结构。
84.如此，光学掩膜板300的框架结构的尺寸在第一方向01和第二方向02可调，从而使得其围设的中空区的尺寸可调，因此该光学掩膜板300可适用于尺寸不同的柔性显示器件50的激光剥离。
85.采用本发明上述激光剥离设备10进行的柔性显示器件50的制备方法，包括如下步骤s10～s40。
86.步骤s10：将待剥离工件置于激光剥离平台200上，待剥离工件包括承载基板60(见图4)和设置在承载基板60上的柔性显示器件50(见图4)。
87.步骤s20：将光学掩膜板300设于待剥离工件与激光发射装置100之间，并调整两个第一金属板310在第一方向01上的间距和/或两个第二金属板320在第二方向02上的间距，以使光学掩膜板300的中空区对应柔性显示器件50的剥离区51、光学掩膜板300的框架结构遮挡柔性显示器件50的剥离区51外围的非剥离区52。
88.步骤s30：激光发射装置100发射激光，并依次扫描承载基板60与柔性显示器件50之间的界面。
89.步骤s40：将柔性显示器件50与承载基板60分离。
90.可理解，步骤s40的分离步骤可采用吸附组件通过吸附的方式分离。也可以采用其他方式分离。
91.上述柔性显示器件50的制备方法采用上述激光剥离设备10，利用光学掩膜板300的框架结构遮挡柔性显示器件50的非剥离区52，避免非剥离区52受到激光照射导致非剥离区52的电子元件或电路受到损伤，而使光学掩膜板300的中空区对应柔性显示器件50的剥离区51，以使承载基板60与柔性显示器件50之间的界面正常受到激光扫描，从而使得柔性显示器件50与承载基板60分离；如此提高了柔性显示器件50的产品良率。此外，其中的光学
掩膜板300的适用性强，可适用于尺寸不同的柔性显示器件50的激光剥离，降低了激光剥离设备10的成本。
92.可理解，如图2所示，一般的是保持激光发射装置100的位置固定(即激光发射装置100发射的激光束130位置固定)，而使得激光剥离平台200沿直线方向(图2中扫描方向的反方向)移动，从而使得激光发射装置100沿扫描方向依次扫描承载基板60与柔性显示器件50之间的界面。可理解，激光剥离平台200
93.请参阅图4，其中，柔性显示器件50包括剥离区51和在剥离区51外围的非剥离区52。其中，剥离区51即柔性衬底511对应所在区域，一般地，柔性衬底511为聚酰亚胺层。剥离区51包括aa区(显示区)和dummy区(金属布线区)。
94.待剥离的柔性显示器件50形成于承载基板60上，其置于激光剥离平台200进行激光照射时，柔性显示器件50的一侧朝下，承载基板60朝上；激光束130穿过承载基板60照射到柔性显示器件50与承载基板60之间的界面上。可理解，柔性显示器件50包括柔性衬底511及设于柔性衬底511上的显示器件层512。
95.在本具体示例中，待剥离的柔性显示器件50的剥离区51包括承载基板60及依次层叠设于承载基板60上的柔性衬底511、显示器件层512、封装层513、阻挡层514及偏光层515。其中，显示器件层512可为oled或qled器件层。封装层513可为薄膜封装层。剥离后的柔性显示器件50包括层叠设置的柔性衬底511、显示器件层512、封装层513、阻挡层514及偏光层515。
96.而非剥离区52位于剥离区51的外围，具体可围绕剥离区51设置。非剥离区52包含绑定区，绑定区含有电路板521和芯片522(外接栅极驱动ic，chip)。利用光学掩膜板300的框架结构遮挡柔性显示器件50的绑定区，可避免剥离过程中激光扫描对于绑定区的照射进而损伤绑定区的电路板521、芯片522等电子元件或电路的问题，如此提高了产品的良率。在一具体示例中，非剥离区52为绑定区。
97.在本具体示例中，绑定区含有电路板521和芯片522，且绑定区采用cof工艺绑定。即：先将芯片521集成在柔性线路板524上形成覆晶薄膜(cop)523，再将覆晶薄膜523中的柔性线路板524的绑定端子与电路板521的绑定端子绑定。具体地，电路板521为pcb印制电路板。
98.该柔性显示器件50的制备方法特别适用于中、大尺寸柔性显示器件50的先绑定后激光剥离的工艺制程，避免了后进行的激光剥离工序中的激光照射绑定区，保护了绑定区的电路板或芯片。
99.柔性显示器件50的电路板521和芯片522可分布在柔性显示器件50的柔性衬底511的长边两侧，或者短边两侧也同时设有。该光学掩膜板300可适用于2边或者4边带cof和pcb的柔性显示器件50，第一金属板310和第二金属板320的宽度和长度可根据需要保护的非剥离区52的尺寸设置。为保证光学掩膜板300对非剥离区52形成有效防护，光学掩膜板300的尺寸略大于相应非剥离区52。可理解，不同设计型式的柔性显示器件50，其非剥离区52含有的cof和pcb板数目不同。
100.在一具体示例中，针对31英寸的柔性显示器件50，柔性显示器件50的剥离区51(剥离区51)的尺寸为697.32mm
×
405.78mm，位于其长边的cof和pcb板的外露尺寸为49mm，位于其短边的cof和pcb板的外露尺寸为49mm。因此，第一金属板310或第二金属板320中用于对
长边的非剥离区52进行遮挡的金属薄板的长度l为：700mm，宽度w为：50mm～80mm，厚度h为3mm～5mm；用于对基板短边非剥离区52进行遮挡的金属薄板的长度l为：410mm，宽度w为：50mm～80mm，厚度h为3mm～5mm。在一具体示例中，光学掩膜板300的第一金属板310为短边；第二金属板320为长边。
101.如图5和图6所示，光学掩膜板300的两个第一金属板310在第一方向01上的间距和两个第二金属板320在第二方向02上的间距均调节到最大尺寸位置，例如适用于31英寸的柔性显示器件50。
102.如图7和图8所示，光学掩膜板300的两个第一金属板310在第一方向01上的间距和两个第二金属板320在第二方向02上的间距均调节至小于最大尺寸的位置，例如适用于16英寸的柔性显示器件50。
103.请继续参阅图3，在其中一些实施例中，两个第一金属板310平行设置，两个第二金属板320平行设置。进一步地，第一方向01和第二方向02相互垂直，换言之，光学掩膜板300形成的上述框架结构为矩形；进一步地，形成的中空区也为矩形。
104.进一步地，两个第一金属板310分别位于两个第二金属板320形成的平面的同一侧，具体在如图3的示例中，两个第一金属板310均位于两个第二金属板320形成的平面的下方；各第一金属板310具有分别与两个第二金属板320搭接的两个搭接部。可理解，搭接部并非第二金属板320上固定的区域，而是指第二金属板320上与第二金属板320搭接的区域，其随着上述间距的调节而变动。
105.在其中一些实施例中，光学掩膜板300还包括四个连接件(图未示)。各第一金属板310和各第二金属板320沿长度延伸方向依次间隔设置多个连接孔311，各连接件用于择一地连接第一金属板310中的一个连接孔311和第二金属板320中的一个连接孔311，以将各第一金属板310的两端分别与各第二金属板320的两端连接并形成框架结构。如此第一金属板310的两端分别与第二金属板320的两端形成的四个搭接处各通过一个连接件连接，此外连接件根据需要选择不同的连接孔311配合，即可调节两个第三金属板330在第二方向02上的间距和两个第一金属板310在第一方向01上的间距，以适应不同尺寸的柔性显示器件50的需求。
106.进一步地，连接件为螺钉，连接孔311为螺丝孔。可理解，连接孔311的位置可根据需要设置，连接孔311的数量也可根据需要设置，例如可以考虑柔性显示器件50的常见尺寸的需求。
107.在其中一个实施例中，光学掩膜板300还包括两个第三金属板330，各第三金属板330一一对应的与各第二金属板320在第三方向03间隔且相对设置。与第一方向01和第二方向02分别与第三方向03相互垂直。换言之，第一方向01和第二方向02相交所形成的平面与第三方向03垂直。
108.进一步地，间隔设置的第二金属板320和第三金属板330在第一方向01和第二方向02相交所形成的平面上的正投影相互重合。
109.进一步地，第一金属板310的搭接部位于第二金属板320与第三金属板330之间。更进一步地，第一金属板310的搭接部与第二金属板320和第三金属板330分别搭接。换言之，第一金属板310的搭接部的一表面与第二金属板320搭接，另一表面的相对位置与第三金属板330搭接。
110.在其中一些实施例中，光学掩膜板300还包括固定板340，固定板340固定连接在间隔且相对设置的第三金属板330与第二金属板320之间。固定板340位于两个第一金属板310各自的搭接部之间。如此，第二金属板320、第三金属板330和固定板340形成工字板。
111.进一步地，第一金属板310的厚度小于固定板340的厚度，以便于第一金属板310在第三金属板330与第二金属板320之间移动，进而调节上述间距。
112.进一步地，第三金属板330与第二金属板320在第三方向03上的间距为3mm～5mm。相应地，固定板340在第三方向03上的厚度与该第三金属板330与第二金属板320在第三方向03上的间距相同。
113.可理解，第三金属板330可以省略。可理解，第三金属板330上也可设有与第二金属板320上的相应的连接孔311，连接孔311同时穿过第二金属板320、第一金属板310和第三金属板330，以将三者连接。可理解，在其他示例中，还可以含有其他金属板。
114.进一步地，第一金属板310、第二金属板320、第三金属板330和/或固定板340的材质各自独立地选自不锈钢、镁铝合金或铁镍合金等不透光材质。
115.请参阅图9，在其中一些实施例中，激光剥离设备10还包括支撑装置400。支撑装置400设于激光剥离平台200上，且用于支撑光学掩膜板300，以使光学掩膜板300与待剥离工件之间具有间隙，避免光学掩膜板300与待剥离工件接触，损坏柔性显示器件50。
116.请参阅图10，进一步地，支撑装置400包括支撑柱410及升降组件(图未标)，升降组件与支撑柱410的一端连接以调节支撑柱410的高度，支撑柱410的另一端具有支撑槽口411，支撑槽口411用于与光学掩膜板300配合，以用于支撑光学掩膜板300。
117.进一步地，支撑槽口411与光学掩膜板300的顶角配合；在本具体示例中，支撑槽口411与位于下方的第二金属板320的端部配合。进一步地，支撑装置400为多个。相应的，各支撑柱410分别用于支撑两个第二金属板320的各端部，以在光学掩膜板300的4个顶角位置支撑光学掩膜板300。
118.具体在本示例中，支撑槽口411为矩形，其位于支撑柱410的顶部的一角，该支撑槽口411与第二金属板320的一角配合。更进一步，四个支撑柱410的各支撑槽口411分别与第二金属板320朝外侧的一角配合，以使光学掩膜板300定位和固锁。如此支撑柱410支撑于在光学掩膜板300的外框的四角，使得光学掩膜板300能够准确稳固地覆盖在柔性显示器件50的柔性衬底511区域。
119.在一具体示例中，支撑柱410的顶部的尺寸为30mm
×
30mm，与光学掩膜板300的接触的支撑面的截面尺寸为15mm
×
15mm。支撑柱410的支撑面相对激光剥离平台200的高度设置考虑对于绑定区的遮挡；例如考虑pcb板的厚度为5mm，支撑柱410的支撑面相对激光剥离平台200的高度可设定为8mm～10mm。
120.进一步地，支撑槽口411与光学掩膜板300配合时，支撑柱410的上表面高于光学掩膜板300的上表面，如此支撑柱410可阻挡光学掩膜板300上方的装置(例如激光发射装置100)进一步向光学掩膜板300运动，从而挤压光学掩膜板300，起到了保护光学掩膜板300的作用。在一具体示例中，控制支撑柱410上的支撑槽口411的深度优选大于光学掩膜板300的总厚度，以使支撑柱410的上表面高于光学掩膜板300的上表面。
121.进一步地，升降组件包括升降杆420及升降驱动部件430。升降杆420的一端与支撑柱410连接，另一端与升降驱动部件430连接，以在升降驱动部件430的作用下带动升降杆
420升降，进而带动支撑柱410升降，改变光学掩膜板300的高度位置。具体地，升降驱动部件430可为伺服电机或驱动气缸。
122.进一步地，支撑装置400设于激光剥离平台200上。具体地，升降驱动部件430固定设于激光剥离平台200上。
123.进一步地，可根据柔性显示器件50的常见尺寸的需求，在激光剥离平台200的预设位置上设置支撑装置400，以满足光学掩膜板300适应不同尺寸的柔性显示器件50的需求，如图11所示。在如图11示出的具体示例中，支撑装置400的数量为8个，以满足光学掩膜板300适应两种不同尺寸的柔性显示器件50的需求，从而对该两个不同尺寸的柔性显示器件50均实现很好的支撑。
124.在其中一些实施例中，待剥离工件经过清洗后，转移至激光剥离设备10的激光剥离平台200上。通过激光剥离设备10的主控制软件建立激光扫描参数，在其他工艺参数设为常数的情况下，pi柔性衬底511与承载基板60之间的界面处所吸收的激光能量正比于激光能量密度值ed。在一些示例中，设定激光能量密度ed值为130～160mj/cm2，对柔性显示器件50的pi柔性衬底511覆盖区域(即剥离区51)进行激光束扫描。能量重叠率(overlap)设置为50％～85％，扫描频率设置为50hz～300hz，扫描速度(scan speed)设置为11.25mm/s～37.5mm/s，激光焦平面z值设定为10.0～10.8mm；扫描次数设定为1次。可理解，承载基板60一般为玻璃基板。
125.在一般的llo工艺中，针对不同尺寸的柔性衬底511，需要获取不同长轴尺寸的激光束130，同时激光束130短轴尺寸保持不变。如图1和图10所示，激光发射装置100包括激光器110和激光束截取模组120，激光束截取模组120用于对激光器110发射的激光束130的长轴尺寸进行截取，以对激光束截取模组120的开度进行控制，可以获得与扫描区域尺寸相同的激光束尺寸(laser beam size)。目前业界通常使用的laser beam size为750mm
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0.25mm，laser束长轴尺寸为750mm，通常需要进行截取；laser束短轴尺寸为0.25mm，一般为固定值。
126.进一步地，如图2所示，激光束130的长轴方向与光学掩膜板300的长边方向相同，激光束130的扫描方向与激光束130的长轴方向垂直，与光学掩膜板300的短边方向相同。换言之，激光束130的长轴方向与待剥离工件的待剥离区的长轴长度相同。
127.请继续参阅图12，进一步地，激光束截取模组120包括激光密封盒121、第一截取组件122和第一移动驱动部件123，第一截取组件122和第一移动驱动部件123均设于激光密封盒121内，激光密封盒121上设有出光狭缝1211，激光密封盒121的出光狭缝1211对应激光剥离平台200设置，第一截取组件122(laser cutter)用于遮挡出光狭缝1211的至少部分区域，第一移动驱动部件123与第一截取组件122连接，以带动第一截取组件122沿出光狭缝1211的长度方向移动并遮挡出光狭缝1211的至少部分区域，以调节出光狭缝1211沿长度方向的有效出光长度，进而调节激光束130的长轴尺寸。
128.进一步地，激光束截取模组120还包括第二截取组件124和第二移动驱动部件125，第二截取组件124和第二移动驱动部件125均设于激光密封盒121内，第二移动驱动部件125与第二截取组件124连接，以带动第二截取组件124沿出光狭缝1211的长度方向移动，第二截取组件124和第一截取组件122分别位于出光狭缝1211的长度方向的两端，以从两端同时调节光狭缝沿长度方向的有效出光长度，进而调节激光束130的长轴尺寸，以适用于不同尺
寸的柔性显示器件50。
129.具体地，第一移动驱动部件123和/或第二移动驱动部件125为伺服电机。在一具体示例中，激光束截取模组120对于激光束的长轴尺寸的截取范围为0～750mm可调。
130.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
131.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准，说明书及附图可以用于解释权利要求的内容。

技术特征：

1.一种光学掩膜板，其特征在于，包括：两个第一金属板，所述两个第一金属板在第一方向间隔相对设置，且所述两个第一金属板在所述第一方向上的间距可调；及两个第二金属板，所述两个第二金属板在第二方向间隔相对设置，所述两个第二金属板在所述第二方向上的间距可调；其中，所述第一方向和所述第二方向相交；所述两个第二金属板与所述两个第一金属板连接并围设形成具有中空区的框架结构。2.如权利要求1所述的光学掩膜板，其特征在于，所述两个第一金属板平行设置，所述两个第二金属板平行设置；和/或所述第一方向和所述第二方向相互垂直。3.如权利要求1或2所述的光学掩膜板，其特征在于，所述两个第一金属板均分别位于所述两个第二金属板形成的平面的同一侧；各所述第一金属板具有分别与所述两个第二金属板搭接的两个搭接部。4.如权利要求3所述的光学掩膜板，其特征在于，所述光学掩膜板还包括：两个第三金属板，各所述第三金属板一一对应的与各所述第二金属板在第三方向间隔且相对设置；其中，所述第一方向和所述第二方向分别与所述第三方向相互垂直；所述第一金属板的所述搭接部位于所述第二金属板与所述第三金属板之间。5.如权利要求4所述的光学掩膜板，其特征在于，所述光学掩膜板还包括：固定板，所述固定板固定连接在间隔且相对设置的所述第三金属板与所述第二金属板之间，且位于所述两个第一金属板各自的所述搭接部之间。6.如权利要求5所述的光学掩膜板，其特征在于，所述光学掩膜板还包括四个连接件；其中，各所述第一金属板和各所述第二金属板沿长度延伸方向依次间隔设置多个连接孔，各所述连接件用于择一地连接所述第一金属板中的一个连接孔和所述第二金属板中的一个连接孔，以将各所述第一金属板的两端分别与各所述第二金属板的两端连接并形成所述框架结构。7.一种激光剥离设备，其特征在于，包括：激光发射装置，所述激光发射装置用于发射激光；激光剥离平台，所述激光剥离平台用于承载待剥离工件；及如权利要求1至6任一项所述的光学掩膜板，所述光学掩膜板用于设于所述待剥离工件与所述激光发射装置之间，所述光学掩膜板的中空区用于对应所述待剥离工件的剥离区设置，所述框架结构用于对应所述待剥离工件的非剥离区设置。8.如权利要求7所述的激光剥离设备，其特征在于，所述激光剥离设备还包括：支撑装置，所述支撑装置设于所述激光剥离平台上；其中，所述支撑装置包括支撑柱及升降组件，所述升降组件与所述支撑柱的一端连接以调节所述支撑柱的高度，所述支撑柱的另一端具有支撑槽口，所述支撑槽口用于与所述光学掩膜板配合，以支撑所述光学掩膜板。9.如权利要求7或8所述的激光剥离设备，其特征在于，所述激光发射装置包括激光器和激光束截取模组；
其中，所述激光束截取模组用于对所述激光器发射的激光束的长轴尺寸进行截取；所述激光束截取模组包括激光密封盒、第一截取组件和第一移动驱动部件，所述第一截取组件和所述第一移动驱动部件均设于所述激光密封盒内，所述激光密封盒上设有出光狭缝，所述第一移动驱动部件与所述第一截取组件连接，以带动所述第一截取组件沿所述出光狭缝的长度方向移动并遮挡所述出光狭缝的至少部分区域。10.一种柔性显示器件的制备方法，其特征在于，采用如权利要求7至9任一项所述的激光剥离设备，所述制备方法包括如下步骤：将待剥离工件置于所述激光剥离平台上，所述待剥离工件包括承载基板和设置在所述承载基板上的柔性显示器件；将所述光学掩膜板设于所述待剥离工件与所述激光发射装置之间，并调整所述两个第一金属板在所述第一方向上的间距和/或所述两个第二金属板在所述第二方向上的间距，以使所述光学掩膜板的所述中空区对应所述柔性显示器件的剥离区、所述框架结构遮挡所述柔性显示器件的所述剥离区外围的非剥离区；所述激光发射装置发射激光，并依次扫描所述承载基板与所述柔性显示器件之间的界面；及将所述柔性显示器件与所述承载基板分离。

技术总结

本发明涉及一种光学掩膜板、激光剥离设备及柔性显示器件的制备方法，一种光学掩膜板，包括：两个第一金属板，两个第一金属板在第一方向间隔相对设置，且两个第一金属板在第一方向上的间距可调；及两个第二金属板，两个第二金属板在第二方向间隔相对设置，两个第二金属板在第二方向上的间距可调，第一方向和第二方向相交；两个第二金属板与两个第一金属板连接并围设形成具有中空区的框架结构。采用该光学掩膜板进行激光剥离，提高了制备柔性显示器件的产品良率。此外，该光学掩膜板的适用性强，可适用于尺寸不同的柔性显示器件的激光剥离，降低了激光剥离设备的成本。低了激光剥离设备的成本。低了激光剥离设备的成本。