原 因 | 解决办法 |
1)干膜储存时间过久,抗蚀剂中溶剂挥发。 | 在低于27℃的环境中储存干膜,储存时间不宜超过有效期。 |
2)板面清洁处理不良,有氧化层或油污等污物或微观表面粗糙度不够。 | 重新按要求处理板面并检查是否有均匀水膜形成。 |
3)环境湿度太低。 | 保持环境湿度为60%RH左右。 |
4)贴膜温度过低或传送速度太快。 | 调整好贴膜温度和传送速度,连续贴膜需将板子预热。 |
原 因 | 解决办法 |
1)贴膜温度过高,抗蚀剂中的挥发成分急剧挥发,残留在聚酯膜和覆铜箔板之间,形成鼓泡。 | 调整贴膜温度至标准范围内。 |
2)热压辊表面不平有凹坑或划伤。 | 注意保护热压辊表面的平整,清洁热压辊时不要用坚硬、锋利的工具去刮。 |
3)压辊压力太小。 | 适当增加两压辊问的压力。 |
4)板面不平有划痕或凹坑。 | 挑选板材并注意前面工序减少造成划痕、凹坑的可能。 |
原 因 | 解决办法 |
1)两个热压辊轴向不平行,使干膜受压不均匀。 | 调整两个热压辊,使之轴向平行。 |
2)贴膜温度太高。 | 调整贴膜温度至正常范围内。 |
3)贴膜前板子太热。 海泡石纤维 | 适当调低预热温度。 |
原 因 | 解决办法 |
1)干膜质量差,贴膜过程中出现偶然热聚合。 | 换用质量好的干膜。 |
2)干膜暴露在白光下造成部分聚合。 | 在黄光下进行干膜操作。 |
3)曝光时间太长。 | 缩短曝光时间。 |
4)照相底版暗区光密度不够,造成紫外光透过,部分聚合。 | 曝光前检查照相底版,测量光密度。 |
5)曝光时照相底版与基板接触不良造成虚光。 | 检查抽真空系统及曝光框架。 |
6)显影液温度太低,显影时间太短,喷淋压力不够或部分喷嘴堵塞。 | 调整显影液温度和显影时的传送速度,检查显影设备试显影点确定参数。 |
7)显影液中产生大量气泡,降低了喷淋压力。 | 在显影液中加入消泡剂消除泡沫。 |
8)显影液失效。 | 更换显影液。 |
原 因 | 解决办法 |
1)照相底版明区光密度太大,使紫外光受阻。 | 曝光前检查照相底版,测量光密度。 |
2)显影液温度过高或显影时间太长。 | 调整显影液温度及显影时的传送速度 |
原 因 | 解决办法 |
1)干膜性能不良,超过有效期使用。 | 尽量在有效内便用干膜。 |
2)基板清洗不干净或粗化表面不良,干膜粘附不牢。 | 加强板面处理。 |
3)曝光过度 抗蚀剂发脆。 | 用光密度计校正曝光能量或曝光时间。 |
4)曝光不足或显影过头造成抗蚀剂发毛,过缘起翘。 | 校正曝光量,调整显影温度和显影速度。 |
本文发布于:2023-05-22 07:13:22,感谢您对本站的认可!
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