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专利名称：一种光刻胶、制备方法及其光刻工艺专利类型：发明专利 发明人：孙逊运，谢桂兰，孙敏，吴淑财，于凯，宋建林申请号：CN201711085268.X
开关柜无线测温装置申请日：20171107
公开号：CN107844028A
公开日：
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专利内容由知识产权出版社提供
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摘要：本发明涉及光刻技术领域，具体而言，涉及一种光刻胶、制备方法及其光刻工艺。所述光刻胶主要由大分子量树脂、小分子量树脂、光敏剂和溶剂制成；所述光刻胶主要是由按质量百分比的以下组分制成：大分子量树脂15‑25％、小分子量树脂2‑16％、光敏剂3‑15％、以及溶剂50‑80％。小分子量树脂的分子量相对较低，分子的链结构相对较短，占据体积相对较小，空间位阻相对较小，可以填充于大分子量树脂形成的空隙之间，并且小分子量树脂与大分子量树脂之间通过分子间作用力，提高两者之间的结合力，进一步增加光刻胶在烘烤后的结构致密性，提高粘附力，避免漂胶。 申请人：潍坊星泰克微电子材料有限公司
地址：261000 山东省潍坊市高新技术开发区清池街道府东社区高二路417号2号楼1-2层
国籍：CN
耐腐蚀热电偶代理机构：北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人：齐云
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