聚光体
专利类型：发明专利
防水开关电源
发明人：刘立拓，周维虎，吴晓斌，王宇，陈晓梅，石俊凯，黎尧申请号：CN201911387267.X
申请日：20191227
公开号：CN110989299A
公开日：
20200410
导线测量法专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种基于热胀冷缩的光刻方法，该方法包括在晶圆上涂覆热敏光刻胶；将涂覆好热敏光刻胶的晶圆升温后光刻；将光刻后的晶圆降温后曝光，即完成所述光刻。本发明不同于传统光刻依赖波长缩短来提高分辨率，它通过温控来实现分辨率提高，克服了当前传统光刻依赖光源波长缩短而造成的技术困难，为集成电路制造节点的进一步缩小提供了一种新方法；该方法操作简单，所需温度控制设备技术较成熟，成本低，这大大降低了进一步提高光刻分辨率而带来的成本增加。 申请人：中国科学院微电子研究所
msisdn
地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号
国籍：CN
android退出应用代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：吴梦圆
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