蚀刻工序作业指导书

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蚀刻工序作业指导书
1.0 目的
建立详细的作业规范,籍以稳定品质,提升生产效率,并作为设备保养、员工操作的依据,此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围
本作业规范适用于本公司蚀刻(含去膜、退锡)工序。
3.0 职责
    电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容
4.1 作业流程
4.1.1 内层(负片)蚀刻作业流程
烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序
4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 镀金板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 若外层线路使用负片菲林,其蚀刻流程同4.1.1
4.2 蚀刻工序设备及物料清单
        蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。


4.3 基本流程说明
4.3.1 退膜:通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去,露出所需之铜。
4.3.2 蚀刻:在碱性强氧化剂的条件下,将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3 退锡:去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4 酸洗:清洗金面轻微氧化,防止氧化加深。
4.4 工艺参数及操作条件

槽名
控制成份
控制范围
操作条件
分析频率
退膜
NaOH
2%~5%
喷淋                              室温
2/
退膜速度
0.8~1.5m/min
蚀刻
Cu2+
130~145g/L
喷淋压力:
A泵上压3.0±0.1Kg/cm2
1/
Cl-
160~200g/L
比重
1.190~1.200
1/
PH
7.8~8.2
控制成份
控制范围
放板速度
1/4OZ 4.5~5m/min
HOZ 3.5~4.5m/min
1OZ 2.0~2.5m/min
2OZ1.2~1.4m/min
3OZ0.9~1.1m/min
4OZ0.6~0.8m/min
5OZ以上厚铜板请工艺跟进制作。
比重
1.15~1.35
输送速度
1.0~3.0m/min

4.5 工艺维护
4.5.1 退膜槽配槽
4.5.1.1  打开槽底排水开关和水泵,把废液抽至污水处理站,抽完后关闭水泵。
4.5.1.2  戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具,关闭排水开关,注满清水;
4.5.1.3  开启电源与泵浦,对整个槽体全面喷洒5min,然后关闭电源与泵浦;
4.5.1.4  打开盖板,用清洗工具彻底清洗槽内壁;
4.5.1.5  打开槽底排水开关,把废液排出,并用高压水冲洗干净;
4.5.1.6  将槽内注入3/5槽体积的清水;
4.5.1.7  另用一小槽注满水,加入9kg NaOH,搅拌至完全溶解
4.5.1.8  将泵浦电源打开,让水流动起來,再緩緩将NaOH溶液倒入槽内;
4.5.1.9  添加完成后,循环20min,使药水达到完全搅拌均勻;
4.5.1.10 通知化验人取样化验,各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。
4.5.2 每月对蚀刻清洗维护一次,步骤如下:
4.5.2.1  戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具,接好回收管路;把母液抽至储存槽,盖上纸盖以避免PH值过低;
4.5.2.2  用清水冲洗干净蚀刻槽,排掉废水;
4.5.2.3  加入2/3槽体积的清水,然后再加入10ml/L的工业盐酸,再加水至液位,开机循环搅拌30min
4.5.2.4  排掉盐酸清洗废液,用清水彻底清洗槽内、槽盖等部件;
4.5.2.5  拆下上下喷嘴,清理干净后按原位置安装上去;
4.5.2.6  在槽内注入4/5体积的清水,加入1/5槽体积的新液;
4.5.2.7  檢查各视窗盖板是否盖好,确认ok后,将循环泵浦与药水泵浦及摆动开启,喷淋1小时;
4.5.2.8  检查喷管、喷嘴有无堵塞(并疏通堵塞的喷管、喷嘴);
4.5.2.9  将废液抽到废液储存槽,用碎布擦拭槽壁,并清理槽底残余的杂质,及用高压水沖洗槽体(注意將水排干净);

4.5.2.10 通过回收管道及回收泵浦将母液从储存槽抽回至蚀刻槽内;

本文发布于:2023-05-06 08:57:30,感谢您对本站的认可!

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