抛光液桶自动清洗装置的制作方法

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1.本实用新型涉及自动清洗设备技术领域，尤其涉及抛光液桶自动清洗装置。

背景技术：

2.现在的蓝宝石衬底抛光工艺所用的抛光液桶需要定期做清洗保养。因为抛光液在使用过程中会附着在桶壁上，长时间不做清理会形成结晶，这些结晶掉落至抛光液中容易划伤晶片。
3.目前，大多数企业所用的清理方式为：定期人工拿毛刷进行刷洗。人工刷洗方式为：先在桶中冲入一定量的去离子水，然后再拿毛刷进行转动刷洗，刷洗过程中存在人为死角(手臂长度有限)、还有执行不到位的情况，导致清洗效果不佳，清洗质量难以保证；此外，人工毛刷清洗，还会因为劳动强度大而存在清洗速度低的问题。

技术实现要素：

4.本实用新型的一个优势在于提供一种抛光液桶自动清洗装置，其中旋转元件带动底壁清扫毛刷和侧壁清扫毛刷持续高速旋转，同时u型喷水管持续喷出去离子水，能够快速清洗抛光液桶的内壁，同时，还不容易因为人为因素而出现刷洗死角和执行不到位的情况，能够有效确保清洗质量，提高清洗效率。
5.为达到本实用新型以上至少一个优势，本实用新型提供一种抛光液桶自动清洗装置，包括：
6.支撑件；
7.旋转元件，被固定设置在所述支撑件上，并具有一垂直朝下方延伸的旋转轴；
8.清扫机构，包括一个底壁清扫毛刷和至少两个侧壁清扫毛刷，用于同时清扫抛光液桶的底壁和侧壁，其中所述底壁清扫毛刷位于所述旋转轴的底端，所述侧壁清扫毛刷通过横向连接件连接在所述旋转轴的侧壁，所述横向连接件靠近所述侧壁的下部；以及
9.喷水机构，包括支撑管和成u字型分布的喷水管，其中所述支撑管设置在所述支撑件上，并在侧壁设置有分别连通所述喷水管的两端的管口的送水口和出水口，其中所述喷水管的侧壁和底侧壁均布有用于喷出去离子水的喷嘴，所述喷水管位于所述侧壁清扫毛刷和所述横向连接件围绕形成的空间内。
10.根据本实用新型一实施例，所述旋转元件被实施为伺服电机。
11.根据本实用新型一实施例，所述支撑件被实施为支撑架，包括顶架和多个侧杆，所述旋转元件被固定设置在所述顶架，所述支撑管为硬质管，所述支撑管绑扎设置在所述侧杆上。
12.根据本实用新型一实施例，所述支撑件被实施为套筒，包括顶盖和侧壁，所述旋转元件被固定嵌设在所述顶盖上，所述侧壁为透明材质，并相对设置有供所述支撑管通过的导向孔。
13.本实用新型的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，得以充分体
现。
附图说明
14.图1示出了本申请一较佳实施例抛光液自动清洗装置的主视结构示意图。
15.图2示出了本申请另一较佳实施例抛光液自动清洗装置的主视结构示意图
16.附图标记：10-支撑件，11-顶架，12-侧杆，13-顶盖，14-侧壁，20-旋转元件，21-旋转轴，31-底壁清扫毛刷，32-侧壁清扫毛刷，33-横向连接件，40-喷水机构，41-支撑管，42-喷水管,90-抛光液桶。
具体实施方式
17.以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。
18.本领域技术人员应理解的是，在说明书的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，上述术语不能理解为对本实用新型的限制。
19.可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
20.参考图1，依本实用新型一较佳实施例的一种抛光液桶自动清洗装置将在以下被详细地阐述。所述抛光液桶自动清洗装置包括支撑件10、旋转元件20、清扫机构和喷水机构40。
21.其中，所述旋转元件20被固定设置在所述支撑件10上，并具有一垂直朝下方延伸的旋转轴21。所述旋转元件20被优选实施为伺服电机，能够被精确的控制旋转速度，从而通过旋转轴21带动所述清扫机构清洗抛光液桶90的内壁。
22.其中，所述清扫机构包括一个底壁清扫毛刷31和至少两个侧壁清扫毛刷32，用于同时清扫抛光液桶90的底壁和侧壁，其中所述底壁清扫毛刷31位于所述旋转轴21的底端，其中所述侧壁清扫毛刷32通过横向连接件33连接在所述旋转轴21的侧壁，同时，所述横向连接件33靠近所述旋转轴21的侧壁的下部。所述侧壁清扫毛刷32以所述旋转轴21为旋转轴心成圆形均匀间隔分布，被实施为两个、三个、四个或者更多个，在被所述旋转轴21旋转带动时，能够同步清洗所述抛光液桶90的内侧壁。
23.其中，所述喷水机构40包括支撑管41和成u字型分布的喷水管42，其中所述支撑管41设置在所述支撑件10上，并在侧壁设置有分别连通所述喷水管42的两端的管口的送水口和出水口，以给所述喷水管42供应去离子水，使去离子水沿所述喷水管42的延伸方向流动，其中所述喷水管42的侧壁和底侧壁均布有用于喷出去离子水的喷嘴，用于在旋转过程中将去离子水喷洒在所述抛光液桶90的内壁，从而快速高效的清洗抛光液桶90。同时，所述喷水
管42位于所述侧壁清扫毛刷32和所述横向连接件33围绕形成的空间内，以避免干涉所述旋转轴21带动所述底壁清扫毛刷31和所述侧壁清扫毛刷32旋转。
24.在此基础上，优选地，所述支撑件10被实施为支撑架，包括顶架11和多个侧杆12，其中所述旋转元件20被固定设置在所述顶架11，其中所述支撑管41为硬质管，且所述支撑管41通过扎带等线绳绑扎设置在所述侧杆12上。在清洗抛光液桶90的过程中，可以首先固定好抛光液桶90，然后手动将所述支撑件10的清扫机构和喷水机构40从所述抛光液桶90的上方放入所述抛光液桶90内，其中所述底壁清扫毛刷31和所述侧壁清扫毛刷32正好能够清洁所述抛光液桶90的底壁和侧壁。
25.作为另一较佳实施例，结合图2，所述支撑件10被实施为套筒，包括顶盖13和侧壁14，其中所述旋转元件20被固定嵌设在所述顶盖13上，其中所述侧壁14为透明材质，比如玻璃等，并相对设置有供所述支撑管41通过的导向孔。
26.需要说明的是，本实用新型中用语“第一、第二”仅用于描述目的，不表示任何顺序，不能理解为指示或者暗示相对重要性，可将这些用语解释为名称。
27.本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的优势已经完整并有效地实现。本实用新型的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。

技术特征：

1.抛光液桶自动清洗装置，其特征在于，包括：支撑件；旋转元件，被固定设置在所述支撑件上，并具有一垂直朝下方延伸的旋转轴；清扫机构，包括一个底壁清扫毛刷和至少两个侧壁清扫毛刷，用于同时清扫抛光液桶的底壁和侧壁，其中所述底壁清扫毛刷位于所述旋转轴的底端，所述侧壁清扫毛刷通过横向连接件连接在所述旋转轴的侧壁，所述横向连接件靠近所述侧壁的下部；以及喷水机构，包括支撑管和成u字型分布的喷水管，其中所述支撑管设置在所述支撑件上，并在侧壁设置有分别连通所述喷水管的两端的管口的送水口和出水口，其中所述喷水管的侧壁和底侧壁均布有用于喷出去离子水的喷嘴，所述喷水管位于所述侧壁清扫毛刷和所述横向连接件围绕形成的空间内。2.如权利要求1所述抛光液桶自动清洗装置，其特征在于，所述旋转元件被实施为伺服电机。3.如权利要求2所述抛光液桶自动清洗装置，其特征在于，所述支撑件被实施为支撑架，包括顶架和多个侧杆，所述旋转元件被固定设置在所述顶架，所述支撑管为硬质管，所述支撑管绑扎设置在所述侧杆上。4.如权利要求2所述抛光液桶自动清洗装置，其特征在于，所述支撑件被实施为套筒，包括顶盖和侧壁，所述旋转元件被固定嵌设在所述顶盖上，所述侧壁为透明材质，并相对设置有供所述支撑管通过的导向孔。

技术总结

本申请公开抛光液桶自动清洗装置包括支撑件、旋转元件、清扫机构和喷水机构；旋转元件被固定设置在支撑件上；清扫机构包括底壁清扫毛刷和侧壁清扫毛刷，底壁清扫毛刷位于旋转元件的旋转轴的底端，侧壁清扫毛刷通过横向连接件连接在旋转轴的侧壁，横向连接件靠近侧壁的下部；喷水机构包括支撑管和成U字型分布的喷水管，其中所述支撑管设置在所述支撑件上，并在侧壁设置有分别连通所述喷水管的两端的管口的送水口和出水口，其中所述喷水管的侧壁和底侧壁均布有用于喷出去离子水的喷嘴，所述喷水管位于所述侧壁清扫毛刷和所述横向连接件围绕形成的空间内。该自动清洗装置能够快速清洗抛光液桶的内壁，有效确保清洗质量，提高清洗效率。洗效率。洗效率。