一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用

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1.本发明涉及一种飞秒激光微纳加工制造技术领域，尤其涉及一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用。

背景技术：

2.飞秒激光以脉冲形式运转，持续时间一般只有10-100fs，是目前技术水平下所能获得的最短脉冲，其具有脉冲宽度极短、脉冲峰值功率极高、覆盖频谱范围极广的特点。飞秒激光的高能脉冲使其光与物质间的相互作用与连续激光的情形截然不同，具体表现为所作用材料对飞秒激光的非线性吸收，即双光子或多光子吸收。与传统的电子束加工和连续激光加工相比，飞秒脉冲激光加工由于具有无需真空环境、非接触、加工灵活、加工材料类型广及冷加工等优点，可以实现三维的、深纳米尺度分辨率和任意结构设计的无掩模板加工。
3.聚酰亚胺是一类综合性能极佳的有机高分子材料，因其优异的绝缘性能、力学性能而广泛应用于半导体封装、柔性电路板保护和显示面板制作等领域[1,2]。但是常规的聚酰亚胺材料本身并不具备感光功能且多数难溶，因此大部分的聚酰亚胺材料都是以可溶性的聚酰胺酸前驱体来保存和使用的。
[0004]
传统的正性光刻工艺根据前驱体聚酰胺酸在曝光区溶解而非曝光区不溶于碱性显影液而图案化。但是聚酰胺酸前驱体在曝光区和非曝光区的溶解度差异不大，导致图案对比度和分辨率较低。例如macromol. res. ,2021,29(2),164-171报道了一种可直接显影的聚酰胺酸合成方法，但是合成方法复杂，也未能克服聚酰胺酸正性光刻胶本身的技术缺陷。
[0005]
聚酰胺酸光刻胶显影后还需进行高温亚胺化，通常亚胺化过程需要加热到接近400oc,并且要保持较长的时间。这一流程通常能耗高，而且大部分的电子器件都无法承受如此高温的长时间烘烤。聚酰胺酸在酸或碱催化下可以大幅降低亚胺化的温度。
[0006]
因此，针对现有技术的不足之处，设计了一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用。

技术实现要素：

[0007]
本发明为了解决上述技术问题，提供一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用。
[0008]
本发明采用的技术方案如下：一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，按重量份数计，由以下组分组成： 5-30份的二酐和二胺的合计、5-30份的丙烯酸酯类固化交联剂、0.5-5份的双光子自由基引发剂和0.5-5份的光酸剂。
[0009]
进一步地，所述二酐选自以下化合物的至少一种：4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,3',
4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐、双环己基-3,4,3',4'-四酸二酐、3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐、均苯四甲酸二酐或4,4-(六氟异丙烯)二酞酸酐。
[0010]
其中，4,4'-氧双邻苯二甲酸酐的结构式为：；3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐的结构式为：；双环己基-3,4,3',4'-四酸二酐的结构式为：；3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐的结构式为：；均苯四甲酸二酐的结构式为：4,4-(六氟异丙烯)二酞酸酐的结构式为：；进一步地，所述二胺选自以下化合物的至少一种：1,4-丁二胺、1,4-苯二胺、4,4'-二氨基二苯醚、2,2-双（4-氨基苯基）六氟丙烷、1,4-环己二胺或1,6-己二胺。
[0011]
1,4-丁二胺的结构式为：；1,4-苯二胺的结构式为：；4,4'-二氨基二苯醚的结构式为：；2,2-双（4-氨基苯基）六氟丙烷的结构式为：；1,4-环己二胺的结构式为：；1,6-己二胺的结构式为：；进一步地，所述丙烯酸酯类固化交联剂为以下任意一种或两种以上的混合物：双酚a二（甲基）丙烯酸酯、乙氧化双酚a二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇（400）二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇（600）二（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸酯、四丙烯酸酯、二五丙烯酸酯或二六丙烯酸酯。
[0012]
进一步地，所述双光子自由基引发剂选自对近红外飞秒激光有非线性吸收及能够引发双光子自由基聚合的以下任意一种或两种以上的混合物：2-异丙基硫杂蒽酮、7-二乙氨基-3-噻吩甲酰基香豆素、3-(2-苯并咪唑基)-7-(二乙氨基)香豆素、7-二乙氨基-3-(1-甲基-2-苯并咪唑基)香豆素、 3-(2'-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素或3,3'-羰基双(7-二乙氨基香豆素)。
[0013]
进一步地，所述光酸剂为以下任意一种或两种以上的混合物：2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪或三氟甲基磺酸基三苯基硫鎓盐。
[0014]
本发明还提供一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的制备方法，包括以下步
骤：步骤s1：室温水浴下，将二胺加入到偶极溶剂中溶解，并在氮气保护下分批次加入与二胺等摩尔的二酐，反应1-12h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中按比例加入丙烯酸类固化交联剂、双光子自由基引发剂和光产酸剂，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶。
[0015]
进一步地，所述偶极溶剂为以下任意一种或两种以上的混合物：n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基乙酰胺、1-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚或丙二醇单乙醚。
[0016]
本发明还提供一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的使用方法，包括以下步骤：s1：将聚酰胺酸光刻胶滴加在旋涂衬底上，利用匀胶仪旋涂成膜，烘烤；s2：利用飞秒激光直写装置对膜进行曝光，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；s3：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入到显影液中进行显影，得到光刻图案；s4：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化。
[0017]
进一步地，所述s1中旋涂的条件为初转500rpm（10s）-1000rpm（10s），终转2000rpm（30s）-3000rpm（30s）；所述烘烤的温度80℃-90℃，时间6min。
[0018]
进一步地，所述s2中所述飞秒激光的能量20mw-30mw，刻写速度1000μm/s。
[0019]
进一步地，所述s3中所述显影液为以下任意一种或两种以上的混合物：丙酮、1-乙氧基-2丙醇、异丙醇、丙二醇甲醚乙酸酯或二甲苯；显影时间为6-30min；显影温度为室温。
[0020]
进一步地，所述s4中亚胺化的温度为200-250℃，亚胺化时间为1-20h。
[0021]
本发明还提供一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶在飞秒激光光固化、微纳加工制造领域的应用。
[0022]
本发明的有益效果是：1、本发明通过在聚酰胺酸飞秒激光光刻胶中加入丙烯酸类树脂作为固化交联剂，在光刻过程中形成图案化，同时加入聚酰胺酸作为成膜剂并保留了聚酰亚胺光刻胶良好的性能，既不需要复杂的化学合成，又获得了良好的光刻胶性能；2、本发明通过在聚酰胺酸飞秒激光光刻胶中加入两种不同类型的光引发剂，既能够产生自由基引发丙烯酸树脂的交联图案化，又能够产生强酸催化显影后的聚酰胺酸的亚胺化，极大地降低了亚胺化的温度。
附图说明
[0023]
图1为实施例1中光刻胶经过飞秒激光曝光及显影亚胺化后的图片；图2为实施例2中光刻胶经过飞秒激光曝光及显影亚胺化后的图片；图3为实施例3中光刻胶经过飞秒激光曝光及显影亚胺化后的图片；图4为实施例4中光刻胶经过飞秒激光曝光及显影亚胺化后的图片；图5为实施例5中光刻胶经过飞秒激光曝光及显影亚胺化后的图片；图6为实施例6中光刻胶经过飞秒激光曝光及显影亚胺化后的图片。
具体实施方式
[0024]
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0025]
实施例1步骤s1：在黄光室中，室温水浴下将4.4g的1,4-丁二胺加入到100g的n,n-二甲基甲酰胺中溶解，并在氮气保护下分批次加入15.51g的4,4'-氧双邻苯二甲酸酐，反应1h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中加入5g的二六丙烯酸酯、0.5g的2-异丙基硫杂蒽酮和2g的2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶；步骤s3：将聚酰胺酸光刻胶滴加在玻璃基底上，并以初转1000rpm（10s）及终转 2000rpm（30s）的涂布条件在匀胶仪上旋涂成膜，并在80℃烘烤6min；步骤s4：利用飞秒激光直写装置对烘烤后的膜进行曝光，飞秒激光的能量为30mw,刻写速度为1000μm/s，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；步骤s5：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入丙二醇甲醚乙酸酯中显影6min，然后转移到丙酮中显影2min，氮气吹扫干燥，得到光刻图案；步骤s6：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化，即放入到高温烘箱中，升温至250℃，保温1h，得到聚酰亚胺的光刻图案，见附图1，其特征尺寸达到亚微米级，固化后的薄膜拉伸强度为223.72mpa,弹性模量为4532.60mpa。
[0026]
实施例2步骤s1：在黄光室中，室温水浴下将7.54g的1,4-苯二胺加入到100g的n,n-二甲基乙酰胺和32.7g的丙二醇单甲醚中溶解，并在氮气保护下分批次加入22.46g的3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐，反应6h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中加入10g的二五丙烯酸酯、10g的双酚a二（甲基）丙烯酸酯、3g的7-二乙氨基-3-噻吩甲酰基香豆素和5g的2-(2,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶；步骤s3：将聚酰胺酸光刻胶滴加在玻璃基底上，并以初转500rpm（10s）及终转 3000rpm（30s）的涂布条件在匀胶仪上旋涂成膜，并在80℃烘烤6min；步骤s4：利用飞秒激光直写装置对烘烤后的膜进行曝光，飞秒激光的能量为25mw,刻写速度为1000μm/s，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；步骤s5：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入二甲苯中显影4min，然后转移到丙酮中显影2min，氮气吹扫干燥，得到光刻图案；步骤s6：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化，即放入到高温烘箱中，升温至200℃，保温5h，得到聚酰亚胺的光刻图案，见附图2，其特征尺寸达到亚微米级，固化后的薄膜拉伸强度为205.14mpa,弹性模量为4233.75mpa。
[0027]
实施例3步骤s1：在黄光室中，室温水浴下将2.36g的4,4'-二氨基二苯醚加入到100g的1-甲基吡咯烷酮中溶解，并在氮气保护下分批次加入2.64g的双环己基-3,4,3',4'-四酸二
酐，反应10h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中加入5g的四丙烯酸酯、5g的乙氧化双酚a二（甲基）丙烯酸酯、1g的3-(2-苯并咪唑基)-7-(二乙氨基)香豆素和0.5g的三氟甲基磺酸基三苯基硫鎓盐，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶；步骤s3：将聚酰胺酸光刻胶滴加在玻璃基底上，并以初转500rpm（10s）及终转2000rpm（30s）的涂布条件在匀胶仪上旋涂成膜，并在90℃烘烤6min；步骤s4：利用飞秒激光直写装置对烘烤后的膜进行曝光，飞秒激光的能量为25mw,刻写速度为1000μm/s，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；步骤s5：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入丙二醇甲醚乙酸酯中显影8min，然后转移到1-乙氧基-2丙醇中显影5min，氮气吹扫干燥，得到光刻图案；步骤s6：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化，即放入到高温烘箱中，升温至220℃，保温3h，得到聚酰亚胺的光刻图案，见附图3，其特征尺寸达到亚微米级，固化后的薄膜拉伸强度为231.28mpa,弹性模量为4680.13mpa。
[0028]
实施例4步骤s1：在黄光室中，室温水浴下将5g的2,2-双（4-氨基苯基）六氟丙烷加入到90g的二甲亚砜和10g的丙二醇单乙醚中溶解，并在氮气保护下分批次加入4.4g的3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐，反应12h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中加入20g的三丙烯酸酯、10g的聚乙二醇（400）二（甲基）丙烯酸酯、5g的7-二乙氨基-3-(1-甲基-2-苯并咪唑基)香豆素和1g的2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶；步骤s3：将聚酰胺酸光刻胶滴加在玻璃基底上，并以初转500rpm（10s）及终转3000rpm（30s）的涂布条件在匀胶仪上旋涂成膜，并在90℃烘烤6min；步骤s4：利用飞秒激光直写装置对烘烤后的膜进行曝光，飞秒激光的能量为25mw,刻写速度为1000μm/s，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；步骤s5：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入丙二醇甲醚乙酸酯中显影8min，然后转移到异丙醇中显影2min，氮气吹扫干燥，得到光刻图案；步骤s6：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化，即放入到高温烘箱中，升温至200℃，保温20h，得到聚酰亚胺的光刻图案，见附图4，其特征尺寸达到亚微米级，固化后的薄膜拉伸强度为239.37mpa,弹性模量为4712.54mpa。
[0029]
实施例5步骤s1：在黄光室中，室温水浴下将5g的1,4-环己二胺加入到90g的二甲亚砜和10g的丙二醇单乙醚混合溶液中溶解，并在氮气保护下分批次加入9.57g的均苯四甲酸二酐，反应10h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中加入8g的乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、10g的聚乙二醇（600）二（甲基）丙烯酸酯、2g的3-(2'-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素、2g的2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶；步骤s3：将聚酰胺酸光刻胶滴加在玻璃基底上，并以初转500rpm（10s）及终转3000rpm（30s）的涂布条件在匀胶仪上旋涂成膜，并在90℃烘烤6min；步骤s4：利用飞秒激光直写装置对烘烤后的膜进行曝光，飞秒激光的能量为30mw,
刻写速度为1000μm/s，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；步骤s5：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入丙二醇甲醚乙酸酯中显影15min，然后转移到丙酮中显影5min，氮气吹扫干燥，得到光刻图案；步骤s6：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化，即放入到高温烘箱中，升温至220℃，保温12h，得到聚酰亚胺的光刻图案，见附图5，其特征尺寸达到亚微米级，固化后的薄膜拉伸强度为214.81mpa,弹性模量为4435.17mpa。
[0030]
实施例6步骤s1：在黄光室中，室温水浴下将5g的1,6-己二胺加入到100g的丙二醇甲醚醋酸酯中溶解，并在氮气保护下分批次加入19.11g的4,4-(六氟异丙烯)二酞酸酐，反应8h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中加入8g的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、5g的聚乙二醇（600）二（甲基）丙烯酸酯、1.5g的3,3'-羰基双(7-二乙氨基香豆素)、4g的2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶；步骤s3：将聚酰胺酸光刻胶滴加在玻璃基底上，并以初转500rpm（10s）及终转3000rpm（30s）的涂布条件在匀胶仪上旋涂成膜，并在90℃烘烤6min；步骤s4：利用飞秒激光直写装置对烘烤后的膜进行曝光，飞秒激光的能量为20mw,刻写速度为1000μm/s，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；步骤s5：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入丙二醇甲醚乙酸酯中显影20min，然后转移到异丙醇中显影10min，氮气吹扫干燥，得到光刻图案；步骤s6：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化，即放入到高温烘箱中，升温至230℃，保温10h，得到聚酰亚胺的光刻图案，见附图6，其特征尺寸达到亚微米级，固化后的薄膜拉伸强度为229.82mpa,弹性模量为4615.81mpa。
[0031]
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

1.一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，其特征在于，按重量份数计，由以下组分组成： 5-30份的二酐和二胺的合计、5-30份的丙烯酸酯类固化交联剂、0.5-5份的双光子自由基引发剂和0.5-5份的光酸剂。2.如权利要求1所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，其特征在于，所述二酐选自以下化合物的至少一种：4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐、双环己基-3,4,3',4'-四酸二酐、3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐、均苯四甲酸二酐或4,4-(六氟异丙烯)二酞酸酐。3.如权利要求1所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，其特征在于，所述二胺选自以下化合物的至少一种：1,4-丁二胺、1,4-苯二胺、4,4'-二氨基二苯醚、2,2-双（4-氨基苯基）六氟丙烷、1,4-环己二胺或1,6-己二胺。4.如权利要求1所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，其特征在于，所述丙烯酸酯类固化交联剂为以下任意一种或两种以上的混合物：双酚a二（甲基）丙烯酸酯、乙氧化双酚a二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇（400）二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇（600）二（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸酯、四丙烯酸酯、二五丙烯酸酯或二六丙烯酸酯。5.如权利要求1所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，其特征在于，所述双光子自由基引发剂选自对近红外飞秒激光有非线性吸收及能够引发双光子自由基聚合的以下任意一种或两种以上的混合物：2-异丙基硫杂蒽酮、7-二乙氨基-3-噻吩甲酰基香豆素、3-(2-苯并咪唑基)-7-(二乙氨基)香豆素、7-二乙氨基-3-(1-甲基-2-苯并咪唑基)香豆素、 3-(2'-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素或3,3'-羰基双(7-二乙氨基香豆素)。6.如权利要求1所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶，其特征在于，所述光酸剂为以下任意一种或两种以上的混合物：2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪或三氟甲基磺酸基三苯基硫鎓盐。7.根据权利要求1-6任一项所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤s1：室温水浴下，将二胺加入到偶极溶剂中溶解，并在氮气保护下分批次加入与二胺等摩尔的二酐，反应1-12h，聚合得到聚酰胺酸溶液；步骤s2：在所述聚酰胺酸溶液中按比例加入丙烯酸类固化交联剂、双光子自由基引发剂和光产酸剂，混合均匀得到聚酰胺酸光刻胶。8.如权利要求7所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的制备方法，其特征在于，所述偶极溶剂为以下任意一种或两种以上的混合物：n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基乙酰胺、1-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚或丙二醇单乙醚。9.根据权利要求1-6任一项所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：s1：将聚酰胺酸光刻胶滴加在旋涂衬底上，利用匀胶仪旋涂成膜，烘烤；s2：利用飞秒激光直写装置对膜进行曝光，得到曝光后的聚酰胺酸光刻胶；s3：将曝光后的聚酰胺酸光刻胶浸入到显影液中进行显影，得到光刻图案；s4：将显影后的光刻图案置于热台加热亚胺化。
10.如权利要求9所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的使用方法，其特征在于，所述s1中旋涂的条件为初转500rpm（10s）-1000rpm（10s），终转2000rpm（30s）-3000rpm（30s）；所述烘烤的温度80℃-90℃，时间6min。11.如权利要求9所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的使用方法，其特征在于，所述s2中所述飞秒激光的能量20mw-30mw，刻写速度1000μm/s。12.如权利要求9所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的使用方法，其特征在于，所述s3中所述显影液为以下任意一种或两种以上的混合物：丙酮、1-乙氧基-2丙醇、异丙醇、丙二醇甲醚乙酸酯或二甲苯；显影时间为6-30min；显影温度为室温。13.如权利要求9所述的一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶的使用方法，其特征在于，所述s4中亚胺化的温度为200-250℃，亚胺化时间为1-20h。14.一种权利要求1-6任一项所述的飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶在飞秒激光光固化、微纳加工制造领域的应用。

技术总结

本发明公开了一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用，按重量份数计，由以下组分组成：5-30份的二酐和二胺的合计、5-30份的丙烯酸酯类固化交联剂、0.5-5份的双光子自由基引发剂和0.5-5份的光酸剂。本发明通过在聚酰胺酸飞秒激光光刻胶中加入丙烯酸类树脂作为固化交联剂，在光刻过程中形成图案化，同时加入聚酰胺酸作为成膜剂并保留了聚酰亚胺光刻胶良好的性能，既不需要复杂的化学合成，又获得了良好的光刻胶性能。又获得了良好的光刻胶性能。又获得了良好的光刻胶性能。