一种镀膜机镀膜均匀用修正装置的制作方法

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1.本实用新型涉及真空蒸镀镀膜设备领域，尤其是涉及一种镀膜机镀膜均匀用修正装置。

背景技术：

2.在利用镀膜机进行蒸镀镀膜的过程中，为了保证镀膜均匀性，会设置安装镜片等基片的安装盖为伞状球面，保证蒸发靶材到各个基片的距离尽量一样，同时也会让安装盖转动起来提高均匀性，但仍然会出现边缘薄中间厚等偏差，这就需要利用修正板挡在基片安装盖和蒸发靶材之间进行一定程度的修正；
3.修正板的形状面积都是根据靶材材料的蒸发特性而专门制定，但是在镀膜工艺中，往往需要在基片上蒸镀多种膜料，这就需要依次用到多种修正板，传统更换调节修正板费时费力，大大影响了蒸镀的效率；公告号为cn115011943a的中国发明专利公开了一种可切换的均匀性修正板组结构，在蒸发源平台上设置多个插孔，并将带有修正板的连接杆插入插孔中，通过电机控制连接杆转动，用到哪一块就将修正板转动到安装盖和蒸发靶材之间，否则就转动向外；但是这种现有的解决方式需要的镀膜机空间直径较大，因为需要满足修正板在水平方向的转动状态，而基于真空需要，空间越大花费越多，且大多数镀膜机并不具备带插孔的蒸发源平台，适用性较差。

技术实现要素：

4.为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种镀膜机镀膜均匀用修正装置，能够在快速更换不同修正板的同时，增大空间利用率和对镀膜机的适用性。
5.为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：
6.一种镀膜机镀膜均匀用修正装置，包含立设于基片安装盖下方一侧并与基片安装盖同轴线的弧形瓦板，所述弧形瓦板的内板面沿周向安装有多种可折叠的修正板，且折叠后的各个修正板互不干涉；对应每个修正板的弧形瓦板内、外板面都分别设有折叠架和伸缩缸，所述折叠架包含主撑杆和斜撑杆，所述斜撑杆的一端与弧形瓦板的内板面对应铰接，所述斜撑杆的另一端与主撑杆的杆身中部固定连接，所述修正板可拆卸安装于主撑杆的外端杆身，所述主撑杆的内端抵触于斜撑杆和弧形瓦板铰接处上方的弧形瓦板内板面，所述伸缩缸的伸缩端连接拉绳的一端，所述拉绳的另一端滑动穿过弧形瓦板并与主撑杆的内端对应连接，以使得伸缩缸伸长放松拉绳时，折叠架能够向弧形瓦板底端转动收起。
7.进一步，所述弧形瓦板的底端面固定有底座板，所述底座板通过螺栓组件于镀膜机的内底面固定连接。
8.进一步，所述主撑杆的内端面固定有抵触盖板，所述弧形瓦板的内板面固定有对应抵触盖板的抵触基板，所述抵触基板的板面中央设有贯穿至弧形瓦板外板面的贯通孔，所述拉绳的相应端通过贯通孔与抵触盖板的板面中央固定连接。
9.进一步，所述抵触基板的外板面中央设有弧形凸起，所述抵触盖板的板面中央设
有对应弧形凸起的凹槽。
10.进一步，所述伸缩缸设为气缸或者电缸，并与一控制器信号连接。
11.由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果：
12.本实用新型公开的镀膜机镀膜均匀用修正装置，通过在弧形瓦板上设置多种修正板，并利用折叠架与弧形瓦板的铰接连接，以及拉绳和伸缩缸对折叠架转动撑起和转动垂下的控制，实现了不同修正板自动切换的使用的功能，大大提高了多层镀膜的效率；于此同时，因为蒸发靶材是呈锥形向基片安装盖发散，所以下垂折叠的修正板能够利用镀膜机原本就不参与蒸发镀膜的下部边缘空间进行隐藏，大大提高了空间利用率，再加上弧形瓦板立设安装简单，形状贴合镀膜机内部空间，从而在较少成本的控制下，达到较强的适用性。
附图说明
13.图1是本实用新型实施结构的示意图；
14.图2是图1的俯视结构示意图；
15.图3是图1的a部放大结构示意图。
16.图中：1、修正板；2、折叠架；201、主撑杆；202、斜撑杆；3、拉绳；4、伸缩缸；5、弧形瓦板；6、底座板；7、抵触盖板；8、抵触基板。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型的技术方案进行说明，在描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系，仅是与本实用新型的附图对应，为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位：
18.结合附图1-3所述的镀膜机镀膜均匀用修正装置，包含立设于基片安装盖下方一侧并与基片安装盖同轴线的弧形瓦板5，弧形瓦板5对应基片安装盖且形状贴合镀膜机内部空间，占用面积小；根据需要，弧形瓦板5的底端面固定有底座板6，底座板6通过螺栓组件于镀膜机的内底面固定连接，本身弧形瓦板5的弧形结构在竖立时就不容易翻倒，通过底座板6能够使得弧形瓦板5在修正板1折叠动作时更加稳固；弧形瓦板5的内板面沿周向安装有多个可折叠的修正板1，且折叠后的各个修正板1互不干涉，当修正板1数量较多时，弧形瓦板5的弧度可以适当扩大，一般不超过180度，而且因为各个修正板1的安装高度有区别，在使用过程中，通常安装四、五个修正板1都不会发生干涉；
19.对应每个修正板1的弧形瓦板5内、外板面都分别设有折叠架2和伸缩缸4，折叠架2和伸缩缸4除了具有各自的使用功能外，还兼有内外配重平衡的作用；折叠架2包含主撑杆201和斜撑杆202，斜撑杆202的一端与弧形瓦板5的内板面对应铰接，斜撑杆202的另一端与主撑杆201的杆身中部固定连接，修正板1可拆卸安装于主撑杆201的外端杆身，主撑杆201的内端抵触于斜撑杆202和弧形瓦板5铰接处上方的弧形瓦板5内板面，使得主撑杆201、斜撑杆202和对应的弧形瓦板5之间能够形成一个稳定的三角支撑结构，保证对修正板1支撑平稳；伸缩缸4的伸缩端连接拉绳3的一端，拉绳3的另一端滑动穿过弧形瓦板5并与主撑杆201的内端对应连接，以使得伸缩缸4伸长放松拉绳3时，折叠架2能够向弧形瓦板5底端转动收起，当伸缩缸4收缩拉紧拉绳3时，折叠架2能够向上转动撑起到位；此外，伸缩缸4设为气
缸或者电缸，并与一控制器信号连接，便于统筹自动控制。
20.根据需要，主撑杆201的内端面固定有抵触盖板7，弧形瓦板5的内板面固定有对应抵触盖板7的抵触基板8，抵触基板8的板面中央设有贯穿至弧形瓦板5外板面的贯通孔，拉绳3的相应端通过贯通孔与抵触盖板7的板面中央固定连接，主撑杆201的内端与弧形瓦板5的抵触点为主要的受力点，设置抵触盖板7和抵触基板8对应抵触，能够防止折叠架2晃动，保证抵触平稳；此外，抵触基板8的外板面中央设有弧形凸起，抵触盖板7的板面中央设有对应弧形凸起的凹槽，弧形凸起和凹槽对应匹配，便于抵触定位。
21.实施本实用新型所述的镀膜机镀膜均匀用修正装置，需要先按照对应要求将弧形瓦板5立设于镀膜机内，然后根据要镀膜的材料，设计修正板1形状和安装高度，并在弧形瓦板5内板面铰接安装到位，在蒸镀过程中，更换蒸发靶材后，需要用到哪种修正板1，就控制对应的伸缩缸4将其转动撑起，而其它不用的修正板1都呈下垂隐藏状态。
22.本实用新型未详述部分为现有技术，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型；因此，无论从哪一点来看，均应将上述实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求内容。

技术特征：

1.一种镀膜机镀膜均匀用修正装置，其特征是：包含立设于基片安装盖下方一侧并与基片安装盖同轴线的弧形瓦板（5），所述弧形瓦板（5）的内板面沿周向安装有多种可折叠的修正板（1），且折叠后的各个修正板（1）互不干涉；对应每个修正板（1）的弧形瓦板（5）内、外板面都分别设有折叠架（2）和伸缩缸（4），所述折叠架（2）包含主撑杆（201）和斜撑杆（202），所述斜撑杆（202）的一端与弧形瓦板（5）的内板面对应铰接，所述斜撑杆（202）的另一端与主撑杆（201）的杆身中部固定连接，所述修正板（1）可拆卸安装于主撑杆（201）的外端杆身，所述主撑杆（201）的内端抵触于斜撑杆（202）和弧形瓦板（5）铰接处上方的弧形瓦板（5）内板面，所述伸缩缸（4）的伸缩端连接拉绳（3）的一端，所述拉绳（3）的另一端滑动穿过弧形瓦板（5）并与主撑杆（201）的内端对应连接，以使得伸缩缸（4）伸长放松拉绳（3）时，折叠架（2）能够向弧形瓦板（5）底端转动收起。2.根据权利要求1所述的镀膜机镀膜均匀用修正装置，其特征是：所述弧形瓦板（5）的底端面固定有底座板（6），所述底座板（6）通过螺栓组件于镀膜机的内底面固定连接。3.根据权利要求1所述的镀膜机镀膜均匀用修正装置，其特征是：所述主撑杆（201）的内端面固定有抵触盖板（7），所述弧形瓦板（5）的内板面固定有对应抵触盖板（7）的抵触基板（8），所述抵触基板（8）的板面中央设有贯穿至弧形瓦板（5）外板面的贯通孔，所述拉绳（3）的相应端通过贯通孔与抵触盖板（7）的板面中央固定连接。4.根据权利要求3所述的镀膜机镀膜均匀用修正装置，其特征是：所述抵触基板（8）的外板面中央设有弧形凸起，所述抵触盖板（7）的板面中央设有对应弧形凸起的凹槽。5.根据权利要求1所述的镀膜机镀膜均匀用修正装置，其特征是：所述伸缩缸（4）设为气缸或者电缸，并与一控制器信号连接。

技术总结

涉及真空蒸镀镀膜设备领域的一种镀膜机镀膜均匀用修正装置，包含弧形瓦板，弧形瓦板的内板面沿周向安装有多种可折叠的修正板，且折叠后的各个修正板互不干涉；对应每个修正板的弧形瓦板内、外板面都分别设有折叠架和伸缩缸，折叠架包含主撑杆和斜撑杆，斜撑杆的一端与弧形瓦板的内板面对应铰接，斜撑杆的另一端与主撑杆的杆身中部固定连接，修正板安装于主撑杆的外端杆身，主撑杆的内端抵触于弧形瓦板内板面，伸缩缸的伸缩端连接拉绳的一端，拉绳的另一端与主撑杆的内端对应连接，以使得伸缩缸伸长放松拉绳时，折叠架能够向弧形瓦板底端转动收起；该修正装置能够在快速更换不同修正板的同时，增大空间利用率和对镀膜机的适用性。性。性。