一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置的制作方法

阅读：评论：0

1.本发明涉及退火炉技术领域，具体为一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置。

背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.根据国家专利网公开的连续光亮退火炉炉口辊式密封装置(授权公告号为：cn 2155外壳层(605)33u)中所描述“本实用新型适用于机械技术领域，提供了一种连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，所述装置包括：密封辊，沿竖直方向对称设置在所述退火炉炉口上；传动组件，设有至少两组，用于带动密封辊端部进行局部旋转，以使得所述装置沿退火炉炉口进行开合动作；输出气缸，固定设置在所述安装座上，用于为所述传动组件提供驱动力；在本装置的实际使用中，输出气缸正常使用时，保险机构的液压组件输出端随传动组件进行局部旋转，不输出压力；当输出气缸的气缸本体或供气回路压力损失时，压力传感器将突变信号传递给控制器，从而使得液压组件的输出端伸出，对传动组件进行驱动力补偿，避免因输出气缸的驱动力减小，从而造成相互抵触的密封辊打开的情况发生”。
4.根据上述内容，发明人认为存在以下缺陷：
5.该连续光亮退火炉炉口辊式密封装置在使用过程中，当需要对退火炉取消密封时，并不能达到良好的工作效率，使用起来较为不便，且对退火炉的炉口密封的并不稳定，从而存在一定的安全隐患，且将密封辊取下时，缺少对炉口二次密封装置，不能使退火炉可以更好的工作，达到良好的工作效率和工作环境。

技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，包括退火炉，所述退火炉右侧开设有炉口，所述退火炉右侧固定连接有固定框，所述固定框内侧设置有移出机构，所述移出机构一侧设置有液压推杆，所述液压推杆底部固定连接有挡块，所述固定框相互靠近的一侧固定连接有密封块，所述移出机构一侧设置有密封机构，所述固定框内侧设置有密封辊。
8.所述密封机构包括支撑框，所述支撑框固定连接于移出机构一侧，所述支撑框右侧固定连接有防护框，所述防护框内壁固定连接有第一电机，所述第一电机前侧固定连接有第一转轴，所述第一转轴外壁固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮外圈啮合有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮左侧固定连接有连接轴，所述连接轴左端固定连接有螺纹筒，所述
螺纹筒内部螺纹连接有第一螺纹杆，所述支撑框内侧固定连接有稳定框。
9.优选的，所述支撑框内部固定连接有限位槽，所述限位槽内部滑动连接有限位块，所述限位块左侧固定连接有限位轴。
10.优选的，所述稳定框和支撑框内部均开设有与支撑框相适配的转孔，所述螺纹筒转动连接于开设的转孔内部，便于对螺纹筒起到支撑的作用，使其可以稳定的进行转动。
11.优选的，所述限位槽左侧开设有与限位轴相适配的开口，所述限位轴左端与密封辊外壁固定连接，便于限位轴可以推动限位块进行滑动，同时起到限位的作用。
12.优选的，所述限位槽固定连接于稳定框内部，所述限位槽贯穿稳定框和支撑框，便于对限位槽起到支撑的作用，使其稳定的进行限位。
13.优选的，所述移出机构包括连接板，所述连接板固定连接于固定框内侧，所述连接板顶部固定连接有第二电机，所述第二电机顶部固定连接有第二转轴，所述第二转轴外壁固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮外圈啮合有第二齿轮，所述第二齿轮内圈固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆外壁螺纹连接有螺纹块，便于对密封辊进行移动。
14.优选的，所述连接板远离第二电机的一侧与液压推杆一端固定连接，所述第二转轴和第二螺纹杆均转动连接于固定框内侧，所述螺纹块固定连接于支撑框外侧。
15.优选的，所述挡块包括加强层，所述加强层右侧固定连接有耐热层，所述耐热层右侧固定连接有隔热层，所述隔热层右侧固定连接有防护层，所述防护层右侧固定连接有外壳层。
16.优选的，所述加强层使用石墨烯制成，所述耐热层使用钨制成，所述隔热层使用膨胀聚苯板制成，所述防护层使用不锈钢制成，所述外壳层使用铝合金制成。
17.与现有技术相比，本发明提供了一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，具备以下有益效果：
18.1、该精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，通过设置的密封机构，当需要取下对炉口密封时，首先启动第一电机工作，会使螺纹筒的旋转运动转换为第一螺纹杆的直线移动，使第一螺纹杆可以缩回螺纹筒的内部，从而限位轴可以推动限位块在限位槽的内壁进行滑动，使第一螺纹杆在限位轴的限位作用下可以使密封辊向远离密封块的方向进行移动，达到取消密封的目的，同理启动第一电机反转也可以完成对炉口的密封工作。
19.2、该精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，通过设置的移出机构，当需要使密封辊进行移动时，只需启动第二电机工作，第二电机的输出端带动第二转轴转动，第二转轴通过第一齿轮带动第二齿轮转动，第二齿轮带动第二螺纹杆进行转动，由于螺纹块内部开设有与第二螺纹杆相适配的螺纹孔，所以会使第二螺纹杆的旋转运动转换为螺纹块的直线运动。使螺纹块可以带动密封辊进行移动，实现对对退火炉内部上料的目的。
20.3、该精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，通过设置的固定框，在密封的过程中，固定框可以具备良好的强度和耐热耐高温的性能，且也可以达到隔热的目的，起到防爆的作用，从而达到良好的安全质量，不会对周围的工作人员造成损害，从而降低了工作过程中的安全隐患。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使
用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：
22.图1为本发明结构正视图；
23.图2为本发明结构正面剖视图；
24.图3为图2中a处放大结构示意图；
25.图4为图2中b处放大结构示意图；
26.图5为图2中c处放大结构示意图；
27.图6为挡块处组成结构示意图。
28.图中：1、退火炉；2、炉口；3、固定框；4、密封机构；401、第一电机；402、第一转轴；403、第一锥齿轮；404、第二锥齿轮；405、连接轴；406、螺纹筒；407、第一螺纹杆；408、稳定框；409、支撑框；410、限位槽；411、限位块；412、限位轴；413、防护框；5、移出机构；501、第二电机；502、连接板；503、第二转轴；504、第一齿轮；505、第二齿轮；506、第二螺纹杆；507、螺纹块；6、挡块；601、加强层；602、耐热层；603、隔热层；604、防护层；605、外壳层；7、密封辊；8、密封块；9、液压推杆。
具体实施方式
29.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.本发明提供以下技术方案：
32.实施例一
33.结合图1至图6，一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，包括退火炉1，退火炉1右侧开设有炉口2，退火炉1右侧固定连接有固定框3，固定框3内侧设置有移出机构5，移出机构5一侧设置有液压推杆9，液压推杆9底部固定连接有挡块6，固定框3相互靠近的一侧固定连接有密封块8，移出机构5一侧设置有密封机构4，固定框3内侧设置有密封辊7。
34.密封机构4包括支撑框409，支撑框409固定连接于移出机构5一侧，支撑框409右侧固定连接有防护框413，防护框413内壁固定连接有第一电机401，第一电机401前侧固定连接有第一转轴402，第一转轴402外壁固定连接有第一锥齿轮403，第一锥齿轮403外圈啮合有第二锥齿轮404，第二锥齿轮404左侧固定连接有连接轴405，连接轴405左端固定连接有螺纹筒406，螺纹筒406内部螺纹连接有第一螺纹杆407，支撑框409内侧固定连接有稳定框408。
35.进一步的，支撑框409内部固定连接有限位槽410，限位槽410内部滑动连接有限位块411，限位块411左侧固定连接有限位轴412。
36.进一步的，稳定框408和支撑框409内部均开设有与支撑框409相适配的转孔，螺纹筒406转动连接于开设的转孔内部，便于对螺纹筒406起到支撑的作用，使其可以稳定的进行转动。
37.进一步的，限位槽410左侧开设有与限位轴412相适配的开口，限位轴412左端与密封辊7外壁固定连接，便于限位轴412可以推动限位块411进行滑动，同时起到限位的作用。
38.进一步的，限位槽410固定连接于稳定框408内部，限位槽410贯穿稳定框408和支撑框409，便于对限位槽410起到支撑的作用，使其稳定的进行限位。
39.实施例二
40.参阅图1至图6，并在实施例一的基础上，进一步得到移出机构5包括连接板502，连接板502固定连接于固定框3内侧，连接板502顶部固定连接有第二电机501，第二电机501顶部固定连接有第二转轴503，第二转轴503外壁固定连接有第一齿轮504，第一齿轮504外圈啮合有第二齿轮505，第二齿轮505内圈固定连接有第二螺纹杆506，第二螺纹杆506外壁螺纹连接有螺纹块507，便于对密封辊7进行移动。
41.进一步的，连接板502远离第二电机501的一侧与液压推杆9一端固定连接，第二转轴503和第二螺纹杆506均转动连接于固定框3内侧，螺纹块507固定连接于支撑框409外侧。
42.实施例三
43.参阅图1和图6，并在实施例一和实施例二的基础上，进一步得到挡块6包括加强层601，加强层601右侧固定连接有耐热层602，耐热层602右侧固定连接有隔热层603，隔热层603右侧固定连接有防护层604，防护层604右侧固定连接有外壳层605
44.进一步的，加强层601使用石墨烯制成，耐热层602使用钨制成，隔热层603使用膨胀聚苯板制成，防护层604使用不锈钢制成，外壳层605使用铝合金制成。
45.在实际操作过程中，当此装置使用时，当需要取下对炉口2密封时，首先启动第一电机401工作，第一电机401的输出端带动第一转轴402转动，第一转轴402依次带动第一锥齿轮403、第二锥齿轮404、连接轴405和螺纹筒406进行转动，由于螺纹筒406和第一螺纹杆407是螺纹连接，所以会使螺纹筒406的旋转运动转换为第一螺纹杆407的直线移动，使第一螺纹杆407可以缩回螺纹筒406的内部，从而限位轴412可以推动限位块411在限位槽410的内壁进行滑动，使第一螺纹杆407在限位轴412的限位作用下可以使密封辊7向远离密封块8的方向进行移动，达到取消密封的目的，同理启动第一电机401反转也可以完成对炉口2的密封工作。
46.当需要使密封辊7进行移动时，只需启动第二电机501工作，第二电机501的输出端带动第二转轴503转动，第二转轴503通过第一齿轮504带动第二齿轮505转动，第二齿轮505带动第二螺纹杆506进行转动，由于螺纹块507内部开设有与第二螺纹杆506相适配的螺纹孔，所以会使第二螺纹杆506的旋转运动转换为螺纹块507的直线运动。使螺纹块507可以带动密封辊7进行移动，实现对对退火炉1内部上料的目的。
47.当密封辊7移动过后需要对炉口2进行密封时，首先启动液压推杆9，两个液压推杆9分离推动两个挡块6相互靠近，从而达到密封防护的目的，通过设置的固定框3，在密封的过程中，固定框3可以具备良好的强度和耐热耐高温的性能，且也可以达到隔热的目的，起
到防爆的作用，从而达到良好的安全质量，不会对周围的工作人员造成损害，从而降低了工作过程中的安全隐患。
48.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

技术特征：

1.一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，包括退火炉(1)，其特征在于：所述退火炉(1)右侧开设有炉口(2)，所述退火炉(1)右侧固定连接有固定框(3)，所述固定框(3)内侧设置有移出机构(5)，所述移出机构(5)一侧设置有液压推杆(9)，所述液压推杆(9)底部固定连接有挡块(6)，所述固定框(3)相互靠近的一侧固定连接有密封块(8)，所述移出机构(5)一侧设置有密封机构(4)，所述固定框(3)内侧设置有密封辊(7)；所述密封机构(4)包括支撑框(409)，所述支撑框(409)固定连接于移出机构(5)一侧，所述支撑框(409)右侧固定连接有防护框(413)，所述防护框(413)内壁固定连接有第一电机(401)，所述第一电机(401)前侧固定连接有第一转轴(402)，所述第一转轴(402)外壁固定连接有第一锥齿轮(403)，所述第一锥齿轮(403)外圈啮合有第二锥齿轮(404)，所述第二锥齿轮(404)左侧固定连接有连接轴(405)，所述连接轴(405)左端固定连接有螺纹筒(406)，所述螺纹筒(406)内部螺纹连接有第一螺纹杆(407)，所述支撑框(409)内侧固定连接有稳定框(408)。2.根据权利要求1所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述支撑框(409)内部固定连接有限位槽(410)，所述限位槽(410)内部滑动连接有限位块(411)，所述限位块(411)左侧固定连接有限位轴(412)。3.根据权利要求1所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述稳定框(408)和支撑框(409)内部均开设有与支撑框(409)相适配的转孔，所述螺纹筒(406)转动连接于开设的转孔内部。4.根据权利要求2所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述限位槽(410)左侧开设有与限位轴(412)相适配的开口，所述限位轴(412)左端与密封辊(7)外壁固定连接。5.根据权利要求2所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述限位槽(410)固定连接于稳定框(408)内部，所述限位槽(410)贯穿稳定框(408)和支撑框(409)。6.根据权利要求1所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述移出机构(5)包括连接板(502)，所述连接板(502)固定连接于固定框(3)内侧，所述连接板(502)顶部固定连接有第二电机(501)，所述第二电机(501)顶部固定连接有第二转轴(503)，所述第二转轴(503)外壁固定连接有第一齿轮(504)，所述第一齿轮(504)外圈啮合有第二齿轮(505)，所述第二齿轮(505)内圈固定连接有第二螺纹杆(506)，所述第二螺纹杆(506)外壁螺纹连接有螺纹块(507)。7.根据权利要求6所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述连接板(502)远离第二电机(501)的一侧与液压推杆(9)一端固定连接，所述第二转轴(503)和第二螺纹杆(506)均转动连接于固定框(3)内侧，所述螺纹块(507)固定连接于支撑框(409)外侧。8.根据权利要求1所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征在于：所述挡块(6)包括加强层(601)，所述加强层(601)右侧固定连接有耐热层(602)，所述耐热层(602)右侧固定连接有隔热层(603)，所述隔热层(603)右侧固定连接有防护层(604)，所述防护层(604)右侧固定连接有外壳层(605)。9.根据权利要求8所述的一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，其特征
在于：所述加强层(601)使用石墨烯制成，所述耐热层(602)使用钨制成，所述隔热层(603)使用膨胀聚苯板制成，所述防护层(604)使用不锈钢制成，所述外壳层(605)使用铝合金制成。

技术总结

本发明涉及退火炉技术领域，且公开了一种精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，包括退火炉，退火炉右侧开设有炉口，退火炉右侧固定连接有固定框，固定框内侧设置有移出机构，移出机构一侧设置有液压推杆。该精密不锈钢连续光亮退火炉炉口辊式密封装置，通过设置的密封机构，当需要取下对炉口密封时，首先启动第一电机工作，会使螺纹筒的旋转运动转换为第一螺纹杆的直线移动，使第一螺纹杆可以缩回螺纹筒的内部，从而限位轴可以推动限位块在限位槽的内壁进行滑动，使第一螺纹杆在限位轴的限位作用下可以使密封辊向远离密封块的方向进行移动，达到取消密封的目的，同理启动第一电机反转也可以完成对炉口的密封工作。电机反转也可以完成对炉口的密封工作。电机反转也可以完成对炉口的密封工作。