一种电镀遮蔽板的制作方法

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1.本实用新型涉及一种电镀遮蔽板,属于电镀装置技术领域。


背景技术:



2.现有技术中电镀槽中使用的电镀遮蔽板采用阳极阳极钛网+隔板+喷淋管的设计,其中现有技术中电镀过程中的电镀结构布置如图1所示,由于在电镀过程中要增加基板表面的药液流动效果,喷淋管直接设置在基板和挡板之间,占用了较大的空间,在电镀槽中的电镀遮蔽板内增加了喷淋管导致电镀阳极与电镀产品间间距增大,受到隔板改善的电力线分布均匀性影响降低,镀层厚度均匀性差,因此,怎样改进电镀遮蔽板的结构使其能够减少内部的占用空间,同时有效提升电镀的均匀性成为目前的迫切需求。


技术实现要素:



3.针对现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种电镀遮蔽板,解决了现有技术中出现的问题。
4.本实用新型所述的一种电镀遮蔽板,包括遮蔽板本体、阳极钛网和电镀基板,所述遮蔽板本体位于阳极钛网和电镀基板之间,所述遮蔽板本体包括板体,所述板体的外部设有喷嘴,所述喷嘴穿过所述板体并裸露在板体的外部,所述板体上开设有正面挡板孔,所述正面挡板孔和喷嘴均设置在板体上靠近电镀基板的一面上,所述板体上靠近阳极钛网的一面上开设有背面挡板孔,正面挡板孔和背面挡板孔相连通。
5.进一步的,正面挡板孔和喷嘴在板体上均成排布置,且每一排喷嘴设置在相邻间隔的两排正面挡板孔之间。
6.进一步的,正面挡板孔和背面挡板孔在板体的内部通过管道相连通。
7.进一步的,板体的上方设有药水进口。
8.进一步的,正面挡板孔和背面挡板孔的孔形为圆形、锥形或菱形。
9.进一步的,喷嘴为负压式喷嘴。
10.本实用新型与现有技术相比,具有如下有益效果:
11.本实用新型所述的一种电镀遮蔽板,本装置将喷淋管和挡板相结合,并且由于挡板宽度增加,电力线在治具孔内路径延长,减少阳极和电镀基板之间的有效距离,减少了电力线在药液中的分散作用有助于改善镀层厚度分布,使得遮蔽板同时有喷淋的作用及挡板的作用,改善了现有的电镀遮蔽板的结构,有效的提高了电镀均匀性。解决了现有技术中存在的问题。
附图说明
12.图1为现有技术中电镀结构布置图;
13.图2为本实用新型实施例整体结构的装配结构图;
14.图3为本实用新型实施例中遮蔽板的主视图;
15.图4为本实用新型实施例中遮蔽板的后视图;
16.图5为本实用新型实施例中遮蔽板的侧视图;
17.图6为本实用新型实施例中遮蔽板的立体图;
18.图7为本实用新型实施例中遮蔽板的剖视图;
19.图中:1、阳极钛网;2、遮蔽板本体;3、电镀基板;21、药水进口;22、喷嘴;23、正面挡板孔;24、板体;25、背面挡板孔。
具体实施方式
20.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明:
21.实施例1:
22.如图1所示,现有技术中电镀槽中电镀遮蔽板结构采用阳极阳极钛网+隔板+喷淋管的设计,在电镀过程中要增加基板表面的药液流动效果,喷淋管直接设置在基板和挡板之间,占用了较大的空间,在电镀槽中的电镀遮蔽板内增加了喷淋管导致电镀阳极与电镀产品间间距增大,受到隔板改善的电力线分布均匀性影响降低,镀层厚度均匀性差。
23.如图2-7所示,本实用新型所述的一种电镀遮蔽板,包括遮蔽板本体2、阳极钛网1和电镀基板3,遮蔽板本体2位于阳极钛网1和电镀基板3之间,遮蔽板本体2包括板体24,板体24的外部设有喷嘴22,喷嘴22穿过板体24并裸露在板体24的外部,板体24上开设有正面挡板孔23,正面挡板孔23和喷嘴22均设置在板体24上靠近电镀基板3的一面上,板体24上靠近阳极钛网1的一面上开设有背面挡板孔25,正面挡板孔23和背面挡板孔25相连通。
24.板体24的上方设有药水进口21。
25.正面挡板孔23和背面挡板孔25在板体24的内部通过管道相连通。
26.本实施例的工作过程为:工作时,将本装置放置在电解槽内,放置后电解槽内的药液从药水进口21进入板体24的内部,通过喷嘴22不断的喷洒在电镀基板3处,同时正面挡板孔23和背面挡板孔25在板体24的内部通过管道相连通,正面挡板孔23和背面挡板孔25在电解槽的内部形成了药水的循环通道,可以加速电解槽内的药液循环,无需再增设喷淋管,减少阳极钛网和电镀基板3之间的有效距离,减少了电力线在药液中的分散作用有助于改善镀层厚度分布,使得遮蔽板同时有喷淋的作用及挡板的作用,改善了现有的电镀遮蔽板的结构,有效的提高了电镀均匀性。
27.实施例2:
28.在实施例1的基础上,正面挡板孔23和喷嘴22在板体24上均成排布置,且每一排喷嘴22设置在相邻间隔的两排正面挡板孔23之间。这样的排列方式使得喷洒的效果更加均匀。
29.正面挡板孔23和背面挡板孔25的孔形为圆形、锥形或菱形。
30.喷嘴22为负压式喷嘴。
31.本实施例的工作过程为:工作时,将本装置放置在电解槽内,放置后电解槽内的药液从药水进口21进入板体24的内部,通过喷嘴22不断的喷洒在电镀基板3处,同时正面挡板孔23和背面挡板孔25在板体24的内部通过管道相连通,正面挡板孔23和背面挡板孔25在电解槽的内部形成了药水的循环通道,可以加速电解槽内的药液循环,且每一排喷嘴22设置在相邻间隔的两排正面挡板孔23之间。这样的排列方式使得喷洒的效果更加均匀。正面挡
板孔23和背面挡板孔25的孔形为圆形、锥形或菱形。可以根据实际情况对孔的形状进行设计。
32.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
33.在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.采用以上结合附图描述的本实用新型的实施例的一种电镀遮蔽板,将喷淋管和挡板相结合,并且由于挡板宽度增加,电力线在治具孔内路径延长,减少阳极和电镀基板之间的有效距离,减少了电力线在药液中的分散作用有助于改善镀层厚度分布,使得遮蔽板同时有喷淋的作用及挡板的作用,解决了现有技术中存在的问题。但本实用新型不局限于所描述的实施方式,在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下这些对实施方式进行的变化、修改、替换和变形仍落入本实用新型的保护范围内。


技术特征:


1.一种电镀遮蔽板,其特征在于:包括遮蔽板本体(2)、阳极钛网(1)和电镀基板(3),所述遮蔽板本体(2)位于阳极钛网(1)和电镀基板(3)之间,所述遮蔽板本体(2)包括板体(24),所述板体(24)的外部设有喷嘴(22),所述喷嘴(22)穿过所述板体(24)并裸露在板体(24)的外部,所述板体(24)上开设有正面挡板孔(23),所述正面挡板孔(23)和喷嘴(22)均设置在板体(24)上靠近电镀基板(3)的一面上,所述板体(24)上靠近阳极钛网(1)的一面上开设有背面挡板孔(25),正面挡板孔(23)和背面挡板孔(25)相连通。2.根据权利要求1所述的一种电镀遮蔽板,其特征在于:所述的正面挡板孔(23)和喷嘴(22)在板体(24)上均成排布置,且每一排喷嘴(22)设置在相邻间隔的两排正面挡板孔(23)之间。3.根据权利要求1所述的一种电镀遮蔽板,其特征在于:所述的正面挡板孔(23)和背面挡板孔(25)在板体(24)的内部通过管道相连通。4.根据权利要求1所述的一种电镀遮蔽板,其特征在于:所述的板体(24)的上方设有药水进口(21)。5.根据权利要求1所述的一种电镀遮蔽板,其特征在于:所述的正面挡板孔(23)和背面挡板孔(25)的孔形为圆形、锥形或菱形。6.根据权利要求1所述的一种电镀遮蔽板,其特征在于:所述的喷嘴(22)为负压式喷嘴。

技术总结


本实用新型公开一种电镀遮蔽板,属于电镀装置技术领域,包括遮蔽板本体、阳极钛网和电镀基板,所述遮蔽板本体位于阳极钛网和电镀基板之间,所述遮蔽板本体包括板体,所述板体的外部设有喷嘴,所述喷嘴穿过所述板体并裸露在板体的外部,所述板体上开设有正面挡板孔,所述正面挡板孔和喷嘴均设置在板体上靠近电镀基板的一面上,所述板体上靠近阳极钛网的一面上开设有背面挡板孔,正面挡板孔和背面挡板孔相连通。将喷淋管和挡板相结合,并且由于挡板宽度增加,减少阳极和电镀基板之间的有效距离,减少了电力线在药液中的分散作用有助于改善镀层厚度分布,使得遮蔽板同时有喷淋的作用及挡板的作用,解决了现有技术中存在的问题。解决了现有技术中存在的问题。解决了现有技术中存在的问题。


技术研发人员:

祝国旗 林仁宁 张代山 桑光志

受保护的技术使用者:

淄博芯材集成电路有限责任公司

技术研发日:

2022.09.29

技术公布日:

2023/2/16

本文发布于:2023-02-27 03:05:02,感谢您对本站的认可!

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