管式PECVD真空设备及电池片生产系统的制作方法

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管式pecvd真空设备及电池片生产系统
技术领域
1.本实用新型涉及光伏设备技术领域，尤其涉及一种管式pecvd真空设备及电池片生产系统。

背景技术：

2.随着光伏产品的成本降低，光伏设备不可避免地需要降低成本，增大产能，管式pecvd是电池片产线中的重要设备。真空系统是管式pecvd的重要组成部分，通过减少部件可降低真空系统的成本。
3.目前，管式pecvd气源柜真空系统中每根管路均采用一个真空泵进行慢抽和主抽，其导致了成本高，管道布局复杂，占用空间大的缺陷。

技术实现要素：

4.本实用新型提供一种管式pecvd真空设备及电池片生产系统，用以解决现有技术中由于pecvd气源柜真空系统中每根管路均采用一个真空泵进行慢抽和主抽，导致的成本高，管路布局复杂，占用空间大的缺陷。
5.本实用新型提供一种管式pecvd真空设备，包括：
6.多路第一真空管路；
7.第二真空管路，所述多路第一真空管路并联连接在所述第二真空管路的一端；
8.第一控制阀，所述第一控制阀设于所述第二真空管路上；
9.第一真空泵，所述第二真空管路的另一端与所述第一真空泵连接。
10.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，所述第一真空管路包括：
11.第一管路；
12.第二管路，所述第二管路与所述第一管路呈角度连接，且所述第二管路与所述第二真空管路连接；
13.角阀，所述角阀设于所述第二管路与所述第一管路的连接处。
14.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，还包括波纹管，所述波纹管设于所述第一管路远离所述第二管路的一端。
15.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，还包括：
16.慢抽管，所述慢抽管的一端与所述第一真空管路连接；
17.第二真空泵，所述第二真空泵与所述慢抽管的另一端连接。
18.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，所述慢抽管包括：
19.干路慢抽管，所述干路慢抽管的一端与所述第二真空泵连接；
20.多根支路慢抽管，多根所述支路慢抽管的一端分别连接在所述干路慢抽管上，且多根所述支路慢抽管的另一端一一对应地连接在所述第一真空管路上。
21.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，还包括：多个第二控制阀，所述第二控制阀一一对应地设于所述支路慢抽管上。
22.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，还包括：压力开关，所述压力开关一一对应地设于所述第一真空管路上。
23.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，还包括：第一支座，所述第一支座一一对应地设于所述第一真空管路。
24.根据本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，还包括：第二支座，所述第二支座一一对应地设于所述第一真空管路。
25.本实用新型还提供一种电池片生产系统，包括：本实用新型实施例中的管式pecvd真空设备。
26.本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，其通过将多路第一真空管路并联连接在一路第二真空管路，在第二真空管路上连接设置第一控制阀和第一真空泵，使得多路第一真空管路共用一套第一控制阀和第一真空泵，减少第一控制阀和第一真空泵的使用数量，并能够合理布局管路，减小占用空间。
27.进一步地，本实用新型还提供一种电池片生产系统，其采用了上述实施例中的管式pecvd真空设备，因此具有如上同样的优势。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1是本实用新型提供的管式pecvd真空设备的结构示意图；
30.图2是本实用新型提供的管式pecvd真空设备的主视图；
31.图3是本实用新型提供的管式pecvd真空设备的俯视图；
32.图4是本实用新型提供的管式pecvd真空设备的左视图；
33.图5是图1中第一真空管路、慢抽管、第一支座和第二支座的局部细节图。
34.附图标记：
35.1：第一真空管路；11：第一管路；12：第二管路；13：角阀；2：第二真空管路；3：第一控制阀；4：第一真空泵；5：波纹管；6：慢抽管；61：干路慢抽管；62：支路慢抽管；7：第二真空泵；8：第二控制阀；9：压力开关；101：第一支座；102：第一支座。
具体实施方式
36.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
37.下面结合图1至图5描述本实用新型的一种管式pecvd真空设备。该管式pecvd真空设备包括：多路第一真空管路1、第二真空管路2、第一控制阀3和第一真空泵4。
38.其中，多路第一真空管路1并联连接在第二真空管路2的一端；第一控制阀3设于第
二真空管路2上；第二真空管路2的另一端与第一真空泵4连接。
39.具体来说，如图1至图5所示，可以将两路第一真空管路1并联在一路第二真空管路2上，而第二真空管路2可采用一路或多路，每一路第二真空管路2对应设置一个第一控制阀3和一个第一真空泵4。在本实施例中，第二真空管路2设置两路，第一控制阀3和第一真空泵4也分别对应设置两个。
40.在本实施例中，通过多路第一真空管路1并联连接在一路第二真空管路2，在一路第二真空管路2中利用一个第一控制阀3同时控制多路第一真空管路1的使用，并利用一个真空泵为一路第二真空管路2和多路第一真空管路1提供真空环境。通过多路第一真空管路1共用第一控制阀3和第一真空泵4，减少二者的使用数量，并合理设置管路布局，减小占用空间。
41.本实用新型提供的一种管式pecvd真空设备，其通过将多路第一真空管路1并联连接在一路第二真空管路2，在第二真空管路2上连接设置第一控制阀3和第一真空泵4，使得多路第一真空管路1共用一套第一控制阀3和第一真空泵4，减少第一控制阀3和第一真空泵4的使用数量，并能够合理布局管路，减小占用空间。
42.在本实用新型提供的一种实施例中，第一真空管路1包括：第一管路11和第二管路12。第二管路12与第一管路11呈角度连接，且第二管路12与第二真空管路2连接；角阀13设于第二管路12与第一管路11的连接处。在本实施例中，第一管路11与第二管路12之间呈直角连接，在直角连接处采用角阀13连接。具体来说，如图1所示的两路第一真空管路1，其采用的第二管路12具有三个接头，其中两个与第一管路11连接，另一个与第二真空管路2连接。
43.在本实用新型提供的一种实施例中，该管式pecvd真空设备还包括波纹管5，波纹管5设于第一管路11远离第二管路12的一端。在本实施例中，通过在第一管路11上设置波纹管5与电池片生产线的其他设备连接。
44.在本实用新型提供的一种实施例中，该管式pecvd真空设备还包括：慢抽管6和第二真空泵7。慢抽管6的一端与第一真空管路1连接；第二真空泵7与慢抽管6的另一端连接。进一步地，慢抽管6包括：干路慢抽管61和多根支路慢抽管62。干路慢抽管61的一端与第二真空泵7连接；多根支路慢抽管62的一端分别连接在干路慢抽管61上，且多根支路慢抽管62的另一端一一对应地连接在第一真空管路1上。在本实施例中，慢抽管6是由干路慢抽管61和多根支路慢抽管62构成，其中，每根第一真空管路1对应连接有一根支路慢抽管62，多根支路慢抽管62并联连接在一根干路慢抽管61上，通过一根干路慢抽管61与第二真空泵7连接，减少第二真空泵7的使用数量。应当理解的是，支路慢抽管62的直径小于第一真空管路1的直径，当采用第一真空管路1进行抽真空作业时是进行快抽操作，当采用支路慢抽管62进行抽真空作业时是进行慢抽操作。
45.在本实用新型提供的一种实施例中，该管式pecvd真空设备还包括：多个第二控制阀8，第二控制阀8一一对应地设于支路慢抽管62上。在本实施例中，在支路慢抽管62上设置第二控制阀8，可采用该第二控制阀8控制各支路慢抽管62的通断，进行慢抽控制。
46.进一步地，上述的角阀13和第二控制阀8可采用真空挡板阀的形式，第一控制阀3可采用蝶阀的形式。
47.在本实用新型提供的一种实施例中，该管式pecvd真空设备还包括：压力开关9，压
力开关9一一对应地设于第一真空管路1上。在本实施例中，在第一真空管路1上设置压力开关9，当被测压力达到额定值时，压力开关9可发出警报或控制信号，以告知作业人员需要调节真空压力，以保证设备安全。
48.在本实用新型提供的一种实施例中，该管式pecvd真空设备还包括：第一支座101，第一支座101一一对应地设于第一真空管路1。进一步地，该管式pecvd真空设备还包括：第二支座102，第二支座102一一对应地设于第一真空管路1。在本实施例中，在第一真空管路1上分别设有第一支座101和第二支座102，用于对第一真空管路1起到安装固定的作用。
49.本实用新型还提供一种电池片生产系统。该电池片生产系统包括：上述实施例的管式pecvd真空设备。
50.本实用新型还提供一种电池片生产系统，其采用了上述实施例中的管式pecvd真空设备，因此具有如上同样的优势。
51.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征：

1.一种管式pecvd真空设备，其特征在于，包括：多路第一真空管路；第二真空管路，所述多路第一真空管路并联连接在所述第二真空管路的一端；第一控制阀，所述第一控制阀设于所述第二真空管路上；第一真空泵，所述第二真空管路的另一端与所述第一真空泵连接。2.根据权利要求1所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，所述第一真空管路包括：第一管路；第二管路，所述第二管路与所述第一管路呈角度连接，且所述第二管路与所述第二真空管路连接；角阀，所述角阀设于所述第二管路与所述第一管路的连接处。3.根据权利要求2所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，还包括波纹管，所述波纹管设于所述第一管路远离所述第二管路的一端。4.根据权利要求1所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，还包括：慢抽管，所述慢抽管的一端与所述第一真空管路连接；第二真空泵，所述第二真空泵与所述慢抽管的另一端连接。5.根据权利要求4所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，所述慢抽管包括：干路慢抽管，所述干路慢抽管的一端与所述第二真空泵连接；多根支路慢抽管，多根所述支路慢抽管的一端分别连接在所述干路慢抽管上，且多根所述支路慢抽管的另一端一一对应地连接在所述第一真空管路上。6.根据权利要求5所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，还包括：多个第二控制阀，所述第二控制阀一一对应地设于所述支路慢抽管上。7.根据权利要求1所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，还包括：压力开关，所述压力开关一一对应地设于所述第一真空管路上。8.根据权利要求1至7中任意一项所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，还包括：第一支座，所述第一支座一一对应地设于所述第一真空管路。9.根据权利要求8所述的管式pecvd真空设备，其特征在于，还包括：第二支座，所述第二支座一一对应地设于所述第一真空管路。10.一种电池片生产系统，其特征在于，包括：权利要求1至9中任意一项所述的管式pecvd真空设备。

技术总结

本实用新型涉及光伏设备技术领域，提供一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统。该管式PECVD真空设备，包括：多路第一真空管路；第二真空管路，多路第一真空管路并联连接在第二真空管路的一端；第一控制阀，第一控制阀设于第二真空管路上；第一真空泵，第二真空管路的另一端与第一真空泵连接。本实用新型提供的一种管式PECVD真空设备及电池片生产系统，其通过将多路第一真空管路并联连接在一路第二真空管路，在第二真空管路上连接设置第一控制阀和第一真空泵，使得多路第一真空管路共用一套第一控制阀和第一真空泵，减少第一控制阀和第一真空泵的使用数量，并能够合理布局管路，减小占用空间。小占用空间。小占用空间。