一种硅片端面缺陷检测设备的制作方法

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1.本实用新型涉及硅片端面检测领域，具体涉及一种硅片端面缺陷检测设备。

背景技术：

2.当下新能源产业趋势明显，光伏产业发展迅速，硅片作为太阳能电池片的主要原料，使得硅片的需求日益增大，而且硅片表面的平整度直接影响着太阳能电池片的质量，使用不合格的硅片制作太阳能电池片，可能会使太阳能电池片直接报废，比较浪费成本和资源，而且现有的硅片表面的缺陷检测多是通过相机检测单面的平整度，不能够保证背面的平整情况，因此需要一种能够检测双面的检测设备，基于以上背景，提出一种硅片端面缺陷检测设备来解决硅片检测时不能同时检测双面的问题。

技术实现要素：

3.本实用新型提供一种硅片端面缺陷检测设备，其目的在于解决现有的硅片检测设备检测硅片表面的缺陷时不能够同时检测双面的问题。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供一种硅片端面缺陷检测设备，包括防护箱体总成、翻面机构、传动机构、两个输送机构和两个检测机构，所述防护箱体总成内部固定设置有支撑台，所述支撑台的上端固定设置有八根支撑柱且八根支撑柱呈对称型分布在翻面机构两侧，两个所述输送机构分别固定安装于分布在翻面机构两侧的支撑柱上，所述翻面机构固定安装于支撑台上端且位于两个输送机构之间，所述传动机构固定安装在支撑台上端且位于两个输送机构之间，两个所述检测机构分别固定安装在每个输送机构上。
6.进一步的，所述防护箱体总成包括进料口、出料口和两扇防尘门，所述进料口固定开设于防护箱体总成的一侧用于方便输送硅片进入检测设备，所述出料口固定开设于防护箱体总成的另一侧用于方便送出已经检测完成的硅片，两个所述防尘门分别铰接设置在防护箱体总成的两侧且每个防尘门上均固定设置有玻璃观察窗用于观察设备的工作状态和防止灰尘进入。
7.进一步的，每个所述输送机构包括工作台、传输带和两根转轴，所述工作台固定安装在翻面机构侧部的四根支撑柱上，且工作台的两侧均固定设置有两个转轴支座，两个所述转轴分别转动安装在工作台两侧的转轴支座内，且位于翻面机构一侧的转轴的一端固定设置有皮带轮，所述传输带转动式套接在两根转轴上。
8.进一步的，所述翻面机构包括电机安装座、步进电机、连接器、翻面轴、两个支撑轴座和六个叶片，所述电机安装座固定安装在支撑台的上端且电机安装座的上端开设有电机孔，所述步进电机固定安装在电机安装座的上端且步进电机的输出轴穿过电机孔，所述连接器固定安装在步进电机输出轴的顶端用于连接翻面轴，两个所述支撑轴座呈对称型固定安装在支撑台的上端且位于两个输送机构之间，每个所述支撑轴座的上端均开设有轴孔用于插接翻面轴，所述翻面轴转动插接在两个支撑轴座之间且翻面轴的一端穿过轴孔固定插
接在连接器内，六个所述叶片呈环形阵列状固定设置在翻面轴上，且每个所述叶片均开设有放置槽用于放置插入的硅片，每个所述放置槽的两侧均设固定设置有限位块用于防止硅片的移动。
9.进一步的，所述传动机构包括传动电机、第一传动皮带、第二传动皮带，所述传动电机固定安装在支撑台的上端且位于步进电机的下方，所述传动电机的输出轴上固定设置有内皮带轮和外皮带轮，所述第一传动皮带的一端套接在内皮带轮上，所述第一传动皮带的另一端套接在其中一个皮带轮的外侧，所述第二传动皮带的一端套接在外皮带轮上，所述第二传动皮带的另一端套接在另一个皮带轮的内侧。
10.进一步的，每个所述检测机构包括伺服电机、相机支柱、螺纹杆、滑动螺套、滑动支臂和检测相机，所述伺服电机固定安装在相机支柱的顶端，且伺服电机的输出轴固定插接在螺纹杆的顶端用于带动螺纹杆的转动，所述相机支柱固定安装在工作台的上端，所述相机支柱的两侧开设有支臂滑槽用于限制滑动支臂的移动，所述螺纹杆转动插接在相机支柱的内部，所述滑动螺套滑动转套设在螺纹杆上且滑动螺套的两侧均固定设置有滑杆且其中一根滑杆固定安装在滑动支臂的下端，所述滑动支臂的一端滑动设置在相机支柱上用于带动滑动支臂和检测相机运动，所述滑动支臂的另一端固定设置有相机安装座，所述检测相机固定安装在相机安装座上用于拍照检测硅片端面的平整情况。
11.本实用新型的有益效果：
12.本实用新型通过设置翻面机构，能够使需要检测的硅片在进行正面的拍照检测和分析，通过翻面机构将硅片翻转180度，再进行硅片背面的拍照检测和分析，保证了硅片正反面的平整度符合要求，不会因硅片的端面平整度不达标使产品的质量不过关，同时采用输送带的模式来输送检测的硅片，提高了检测效率。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施方案或现有技术中的技术方案，下面将对实施方案或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方案，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本实用新型的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型防护箱体总成的局部结构示意图；
16.图3为本实用新型翻面机构的局部结构示意图；
17.图4为本实用新型传动机构的局部结构示意图；
18.图5为本实用新型输送机构的局部结构示意图；
19.图6为本实用新型检测机构的局部结构示意图；
20.图7为本实用新型检测机构的拆分示意图；
21.图8为图5中“a”处的局部放大图。
22.图中：
23.1、防护箱体总成；11、支撑台；12、支撑柱；13、进料口；14、出料口；15、防尘门；151、玻璃观察窗；
24.2、翻面机构；21、电机安装座；22、步进电机；23、连接器；24、翻面轴；25、支撑轴座；
26、叶片；261、放置槽；262、限位块；
25.3、传动机构；31、传动电机；32、第一传动皮带；33、第二传动皮带；
26.4、输送机构；41、工作台；411、转轴支座；42、传输带；43、转轴；431、皮带轮；
27.5、检测机构；51、伺服电机；52、相机支柱；53、螺纹杆；54、滑动螺套；55、滑动支臂；56、检测相机。
具体实施方式
28.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
29.参照图1所示，一种硅片端面缺陷检测设备，包括防护箱体总成1、翻面机构2、传动机构3、两个输送机构4和两个检测机构5，防护箱体总成1内部固定设置有支撑台11，支撑台11的上端固定设置有八根支撑柱12且八根支撑柱12呈对称型分布在翻面机构2两侧，两个输送机构4分别固定安装于分布在翻面机构2两侧的支撑柱12上，翻面机构2固定安装于支撑台11上端且位于两个输送机构4之间，传动机构3固定安装在支撑台11上端且位于两个输送机构4之间，两个检测机构5分别固定安装在每个输送机构4上。
30.参照图2所示，防护箱体总成1包括进料口13、出料口14和两扇防尘门15，进料口13固定开设于防护箱体总成1的一侧用于方便输送硅片进入检测设备，出料口14固定开设于防护箱体总成1的另一侧用于方便送出已经检测完成的硅片，两个防尘门15分别铰接设置在防护箱体总成1的两侧且每个防尘门15上均固定设置有玻璃观察窗151用于观察设备的工作状态和防止灰尘进入，当硅片经过外部送料机构送入进料口13后，再由内部输送机构4经出料口14送出，在检测设备正常工作时，防尘门15处于关闭状态，可以防止一定的灰尘进入。
31.参照图3所示，翻面机构2包括电机安装座21、步进电机22、连接器23、翻面轴24、两个支撑轴座25和六个叶片26，电机安装座21固定安装在支撑台11的上端且电机安装座21的上端开设有电机孔，步进电机22固定安装在电机安装座21的上端且步进电机22的输出轴穿过电机孔，连接器23固定安装在步进电机22输出轴的顶端用于连接翻面轴24，两个支撑轴座25呈对称型固定安装在支撑台11的上端且位于两个输送机构4之间，每个支撑轴座25的上端均开设有轴孔用于插接翻面轴24，翻面轴24转动插接在两个支撑轴座25之间且翻面轴24的一端穿过轴孔固定插接在连接器23内，六个叶片26呈环形阵列状固定设置在翻面轴24上，且每个叶片26均开设有放置槽261用于放置插入的硅片，每个放置槽261的两侧均设固定设置有限位块262用于防止硅片的移动，当传输带42带动硅片向前时，翻面机构2的步进电机22会步进运动，所以翻面轴24上的叶片26也会步进运动并短暂静止，并且每一步都使叶片26上的放置槽261同传输带42成水平状态，此时硅片在传输带42的带动下会插入放置槽261，然后在步进电机22的驱动下，一步一步到达下一个传输带42。
32.参照图4所示，传动机构3包括传动电机31、第一传动皮带32、第二传动皮带33，传动电机31固定安装在支撑台11的上端且位于步进电机22的下方，传动电机31的输出轴上固定设置有内皮带轮431和外皮带轮431，第一传动皮带32的一端套接在内皮带轮431上，第一传动皮带32的另一端套接在其中一个皮带轮431的外侧，第二传动皮带33的一端套接在外皮带轮431上，第二传动皮带33的另一端套接在另一个皮带轮431的内侧，当传动电机31工
作时，会通过输出轴上的内皮带轮431和外皮带轮431带动第一传动皮带32和第二传动皮带33工作，然后通过第一传动皮带32和第二传送皮带带动转轴43工作。
33.参照图5、图8所示，每个输送机构4包括工作台41、传输带42和两根转轴43，工作台41固定安装在翻面机构2侧部的四根支撑柱12上，且工作台41的两侧均固定设置有两个转轴支座411，两个转轴43分别转动安装在工作台41两侧的转轴支座411内，且位于翻面机构2一侧的转轴43的一端固定设置有皮带轮431，传输带42转动式套接在两根转轴43上，转轴43会在传动机构3的驱动下，带动传输带42运转，当外部送入的硅片到达传输带42表面时，传输带42会带动硅片向前经过第一个检测机构5，然后经过翻面机构2将硅片翻面，再由另一个传输带42送至下一个检测机构5，然后经过出料口14送出硅片。
34.参照图6、图7所示，每个检测机构5包括伺服电机51、相机支柱52、螺纹杆53、滑动螺套54、滑动支臂55和检测相机56，伺服电机51固定安装在相机支柱52的顶端，且伺服电机51的输出轴固定插接在螺纹杆53的顶端用于带动螺纹杆53的转动，相机支柱52固定安装在工作台41的上端，相机支柱52的两侧开设有支臂滑槽用于限制滑动支臂55的移动，螺纹杆53转动插接在相机支柱52的内部，滑动螺套54滑动转套设在螺纹杆53上且滑动螺套54的两侧均固定设置有滑杆且其中一根滑杆固定安装在滑动支臂55的下端，滑动支臂55的一端滑动设置在相机支柱52上用于带动滑动支臂55和检测相机56运动，滑动支臂55的另一端固定设置有相机安装座，检测相机56固定安装在相机安装座上用于拍照检测硅片端面的平整情况，当需要调节检测相机56的高度时，通过伺服电机51的运转，带动螺纹杆53转动，使滑动螺套54在螺纹杆53上上下移动，因为滑动螺套54和滑动支臂55通过滑杆固定连接，所以滑动支臂55会跟随滑动螺套54移动，调整到指定位置后确定即可，当硅片输送到检测相机56正下方时，检测相机56会拍照检测，并通过电脑分析检测结果，此时完成硅片正面的检测，当硅片经过翻面机构2翻面后，再进行拍照检测，就完成了硅片正反面的检测。
35.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：

1.一种硅片端面缺陷检测设备，其特征在于，包括防护箱体总成(1)、翻面机构(2)、传动机构(3)、两个输送机构(4)和两个检测机构(5)，所述防护箱体总成(1)内部固定设置有支撑台(11)，所述支撑台(11)的上端固定设置有八根支撑柱(12)且八根支撑柱(12)呈对称型分布在翻面机构(2)两侧，两个所述输送机构(4)分别固定安装于分布在翻面机构(2)两侧的支撑柱(12)上，所述翻面机构(2)固定安装于支撑台(11)上端且位于两个输送机构(4)之间，所述传动机构(3)固定安装在支撑台(11)上端且位于两个输送机构(4)之间，两个所述检测机构(5)分别固定安装在每个输送机构(4)上。2.根据权利要求1所述的一种硅片端面缺陷检测设备，其特征在于，所述防护箱体总成(1)包括进料口(13)、出料口(14)和两扇防尘门(15)，所述进料口(13)固定开设于防护箱体总成(1)的一侧用于方便输送硅片进入检测设备，所述出料口(14)固定开设于防护箱体总成(1)的另一侧用于方便送出已经检测完成的硅片，两个所述防尘门(15)分别铰接设置在防护箱体总成(1)的两侧且每个防尘门(15)上均固定设置有玻璃观察窗(151)用于观察设备的工作状态和防止灰尘进入。3.根据权利要求2所述的一种硅片端面缺陷检测设备，其特征在于，每个所述输送机构(4)包括工作台(41)、传输带(42)和两根转轴(43)，所述工作台(41)固定安装在翻面机构(2)侧部的四根支撑柱(12)上，且工作台(41)的两侧均固定设置有两个转轴支座(411)，两个所述转轴(43)分别转动安装在工作台(41)两侧的转轴支座(411)内，且位于翻面机构(2)一侧的转轴(43)的一端固定设置有皮带轮(431)，所述传输带(42)转动式套接在两根转轴(43)上。4.根据权利要求3所述的一种硅片端面缺陷检测设备，其特征在于，所述翻面机构(2)包括电机安装座(21)、步进电机(22)、连接器(23)、翻面轴(24)、两个支撑轴座(25)和六个叶片(26)，所述电机安装座(21)固定安装在支撑台(11)的上端且电机安装座(21)的上端开设有电机孔，所述步进电机(22)固定安装在电机安装座(21)的上端且步进电机(22)的输出轴穿过电机孔，所述连接器(23)固定安装在步进电机(22)输出轴的顶端用于连接翻面轴(24)，两个所述支撑轴座(25)呈对称型固定安装在支撑台(11)的上端且位于两个输送机构(4)之间，每个所述支撑轴座(25)的上端均开设有轴孔用于插接翻面轴(24)，所述翻面轴(24)转动插接在两个支撑轴座(25)之间且翻面轴(24)的一端穿过轴孔固定插接在连接器(23)内，六个所述叶片(26)呈环形阵列状固定设置在翻面轴(24)上，且每个所述叶片(26)均开设有放置槽(261)用于放置插入的硅片，每个所述放置槽(261)的两侧均设固定设置有限位块(262)用于防止硅片的移动。5.根据权利要求4所述的一种硅片端面缺陷检测设备，其特征在于，所述传动机构(3)包括传动电机(31)、第一传动皮带(32)、第二传动皮带(33)，所述传动电机(31)固定安装在支撑台(11)的上端且位于步进电机(22)的下方，所述传动电机(31)的输出轴上固定设置有内皮带轮(431)和外皮带轮(431)，所述第一传动皮带(32)的一端套接在内皮带轮(431)上，所述第一传动皮带(32)的另一端套接在其中一个皮带轮(431)的外侧，所述第二传动皮带(33)的一端套接在外皮带轮(431)上，所述第二传动皮带(33)的另一端套接在另一个皮带轮(431)的内侧。6.根据权利要求5所述的一种硅片端面缺陷检测设备，其特征在于，每个所述检测机构(5)包括伺服电机(51)、相机支柱(52)、螺纹杆(53)、滑动螺套(54)、滑动支臂(55)和检测相
机(56)，所述伺服电机(51)固定安装在相机支柱(52)的顶端，且伺服电机(51)的输出轴固定插接在螺纹杆(53)的顶端用于带动螺纹杆(53)的转动，所述相机支柱(52)固定安装在工作台(41)的上端，所述相机支柱(52)的两侧开设有支臂滑槽用于限制滑动支臂(55)的移动，所述螺纹杆(53)转动插接在相机支柱(52)的内部，所述滑动螺套(54)滑动转套设在螺纹杆(53)上且滑动螺套(54)的两侧均固定设置有滑杆且其中一根滑杆固定安装在滑动支臂(55)的下端，所述滑动支臂(55)的一端滑动设置在相机支柱(52)上用于带动滑动支臂(55)和检测相机(56)运动，所述滑动支臂(55)的另一端固定设置有相机安装座，所述检测相机(56)固定安装在相机安装座上用于拍照检测硅片端面的平整情况。

技术总结

本实用新型涉及硅片端面检测领域，具体涉及一种硅片端面缺陷检测设备，包括防护箱体总成、翻面机构、传动机构、两个输送机构和两个检测机构，所述防护箱体总成内部固定设置有支撑台，所述支撑台的上端固定设置有八根支撑柱且八根支撑柱呈对称型分布在翻面机构两侧，两个所述输送机构分别固定安装于分布在翻面机构两侧的支撑柱上，所述翻面机构固定安装于支撑台上端且位于两个输送机构之间，所述传动机构固定安装在支撑台上端且位于两个输送机构之间，通过翻面机构将硅片翻转180度，可以进行硅片背面的拍照检测和分析，保证了硅片正反面的平整度符合要求，同时采用输送带的模式来输送检测的硅片，提高了检测效率。提高了检测效率。提高了检测效率。