一种单晶硅片清洗装置的制作方法

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1.本实用新型涉及单晶硅片制造技术领域，更具体的说，尤其涉及一种单晶硅片清洗装置。

背景技术：

2.单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势。
3.单晶硅片是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等的主要材料，在硅片加工过程中，单晶硅片易附着颗粒、有机物、金属或是吸附杂质分子，需要对其进行清洗，清洗时首先需要将单晶硅片放置在固定装置内，保持其稳定性。
4.现有清洗装置中单晶硅片固定装置一般只能固定一种尺寸的单晶硅片，清洗不同尺寸的单晶硅片时需要更换不同尺寸的固定装置，固定装置的使用效率较低，成本较高，同时单晶硅片摆放比较密集，水流冲洗时容易留有死角，存在清洗不彻底的现象。
5.有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种单晶硅片清洗装置，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。

技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题和不足。
7.为实现上述目的，本实用新型提供了一种单晶硅片清洗装置，由以下具体技术手段所达成：
8.一种单晶硅片清洗装置，包括：箱体、电机、丝杠、导轨、支架、滑块、轴座、分水管、支撑板、固定夹板、固定槽、活动夹板、底板、固定螺栓、箱门、主水管、丝杠螺母、排水口；所述箱体为矩形壳体结构，且电机固定安装在箱体顶面的一侧，并且轴座安装在箱体顶面的另一侧；所述丝杠两端分别与电机、轴座连接，且丝杠螺母安装在丝杠中间位置；所述导轨安装在箱体的顶面丝杠的两侧，且滑块插接安装在导轨上；所述支架固定安装在滑块、丝杠螺母顶面上，且支架下端与主水管固定连接，并且分水管设置在主水管的下方；所述支撑板固定设置在箱体内壁的下部两侧；所述底板放置在支撑板的上方，且固定夹板阵列设置在底板顶面的一侧；所述固定槽开设在底板的两端，且固定螺栓穿过固定槽将活动夹板与底板固定；所述箱门铰接安装在箱体的一侧；所述排水口开设在箱体的底部。
9.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种单晶硅片清洗装置所述分水管为圆形管状结构，且分水管在主水管的下部阵列设置有多处，并且分水管两侧阵列开设有多处圆孔。
10.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种单晶硅片清洗装置所述固定夹板
为矩形条状结构，且固定夹板侧面上开设有呈英文字母“v”型的凹槽，并且固定夹板在底板上阵列设置有多处。
11.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种单晶硅片清洗装置所述活动夹板为矩形板状结构，且活动夹板侧面上阵列开设有多处呈英文字母“v”型的凹槽，并且活动夹板的两端贯通开设有圆孔。
12.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种单晶硅片清洗装置所述底板为矩形板状结构，且底板上阵列开设有多处两端呈半圆形的矩形凹槽。
13.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种单晶硅片清洗装置所述支架为矩形板状结构，且支架下方设有两处端部为半圆形的矩形板状凸起。
14.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
15.1、本实用新型支架固定安装在滑块、丝杠螺母顶面上，且支架下端与主水管固定连接，并且分水管设置在主水管的下方，分水管两侧阵列开设有多处圆孔的设置，通过丝杠螺母带动支架往复移动，分水管可以来回移动，对单晶硅片表面进行冲洗，不留死角冲洗更彻底更干净。
16.2、本实用新型活动夹板为矩形板状结构，且活动夹板侧面上阵列开设有多处呈英文字母“v”型的凹槽，并且活动夹板的两端贯通开设有圆孔的设置，通过活动夹板与固定螺栓的配合，可以调节活动夹板与固定夹板之间的距离，从而可以夹装不同尺寸的单晶硅片，使用效率更高，节约成本。
17.3、本实用新型通过对单晶硅片清洗装置的改进，具有使用方便，可以夹装不同尺寸的单晶硅片，对单晶硅片的清洗更彻底，不留死角的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
附图说明
18.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
19.图1为本实用新型的结构示意图；
20.图2为本实用新型的箱体结构示意图；
21.图3为本实用新型的固定夹板结构示意图；
22.图4为本实用新型的活动夹板结构示意图。
23.图中：箱体1、电机2、丝杠3、导轨4、支架5、滑块6、轴座7、分水管8、支撑板9、固定夹板10、固定槽11、活动夹板12、底板13、固定螺栓14、箱门15、主水管16、丝杠螺母17、排水口18。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
25.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两
个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.同时，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.请参见图1至图4，本实用新型提供一种单晶硅片清洗装置的具体技术实施方案：
29.一种单晶硅片清洗装置，包括：箱体1、电机2、丝杠3、导轨4、支架5、滑块6、轴座7、分水管8、支撑板9、固定夹板10、固定槽11、活动夹板12、底板13、固定螺栓14、箱门15、主水管16、丝杠螺母17、排水口18；箱体1为矩形壳体结构，且电机2固定安装在箱体1顶面的一侧，并且轴座7安装在箱体1顶面的另一侧；丝杠3两端分别与电机2、轴座7连接，且丝杠螺母17安装在丝杠3中间位置；导轨4安装在箱体1的顶面丝杠3的两侧，且滑块6插接安装在导轨4上；支架5固定安装在滑块6、丝杠螺母17顶面上，且支架5下端与主水管16固定连接，并且分水管8设置在主水管16的下方；支撑板9固定设置在箱体1内壁的下部两侧；底板13放置在支撑板9的上方，且固定夹板10阵列设置在底板13顶面的一侧；固定槽11开设在底板13的两端，且固定螺栓14穿过固定槽11将活动夹板12与底板13固定；箱门15铰接安装在箱体1的一侧；排水口18开设在箱体1的底部。
30.具体的，如图2所示，分水管8为圆形管状结构，且分水管8在主水管16的下部阵列设置有多处，并且分水管8两侧阵列开设有多处圆孔，水流从分水管8的两侧喷出，对单晶硅片表面进行冲洗，将单晶硅片表面污物冲洗干净。
31.具体的，如图3所示，固定夹板10为矩形条状结构，且固定夹板10侧面上开设有呈英文字母“v”型的凹槽，并且固定夹板10在底板13上阵列设置有多处，便于单晶硅片的固定。
32.具体的，如图4所示，活动夹板12为矩形板状结构，且活动夹板12侧面上阵列开设有多处呈英文字母“v”型的凹槽，并且活动夹板12的两端贯通开设有圆孔，通过活动夹板12与固定螺栓14的配合，可以调节活动夹板12与固定夹板10之间的距离，从而可以夹装不同尺寸的单晶硅片，使用效率更高，节约成本。
33.具体的，如图3所示，底板13为矩形板状结构，且底板13上阵列开设有多处两端呈半圆形的矩形凹槽，便于水流排出。
34.具体的，如图2所示，支架5为矩形板状结构，且支架5下方设有两处端部为半圆形的矩形板状凸起，方便与主水管16连接。
35.具体实施步骤：
36.使用时，打开箱门15，将底板13拉出，将单晶硅片放置在固定夹板10及活动夹板12之间，并使用固定螺栓14将活动夹板12固定住，将底板13推入，关闭箱门15，开启电机2，电机2带动丝杠3旋转，丝杠螺母17带动支架5来回往复运动，分水管8跟随运动，水流从分水管
8两侧喷出，对单晶硅片表面进行冲洗，将单晶硅片表面污物冲洗干净，水流从排水口18流出。
37.综上所述：该一种单晶硅片清洗装置，通过支架固定安装在滑块、丝杠螺母顶面上，且支架下端与主水管固定连接，并且分水管设置在主水管的下方，分水管两侧阵列开设有多处圆孔的设置，通过丝杠螺母带动支架往复移动，分水管可以来回移动，对单晶硅片表面进行冲洗，不留死角冲洗更彻底更干净；通过活动夹板为矩形板状结构，且活动夹板侧面上阵列开设有多处呈英文字母“v”型的凹槽，并且活动夹板的两端贯通开设有圆孔的设置，通过活动夹板与固定螺栓的配合，可以调节活动夹板与固定夹板之间的距离，可以夹装不同尺寸的单晶硅片，使用效率更高，节约成本；本实用新型通过对单晶硅片清洗装置的改进，具有使用方便，可以夹装不同尺寸的单晶硅片，对单晶硅片的清洗更彻底，不留死角的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种单晶硅片清洗装置，包括：箱体(1)、电机(2)、丝杠(3)、导轨(4)、支架(5)、滑块(6)、轴座(7)、分水管(8)、支撑板(9)、固定夹板(10)、固定槽(11)、活动夹板(12)、底板(13)、固定螺栓(14)、箱门(15)、主水管(16)、丝杠螺母(17)、排水口(18)；其特征在于：所述箱体(1)为矩形壳体结构，且电机(2)固定安装在箱体(1)顶面的一侧，并且轴座(7)安装在箱体(1)顶面的另一侧；所述丝杠(3)两端分别与电机(2)、轴座(7)连接，且丝杠螺母(17)安装在丝杠(3)中间位置；所述导轨(4)安装在箱体(1)的顶面丝杠(3)的两侧，且滑块(6)插接安装在导轨(4)上；所述支架(5)固定安装在滑块(6)、丝杠螺母(17)顶面上，且支架(5)下端与主水管(16)固定连接，并且分水管(8)设置在主水管(16)的下方；所述支撑板(9)固定设置在箱体(1)内壁的下部两侧；所述底板(13)放置在支撑板(9)的上方，且固定夹板(10)阵列设置在底板(13)顶面的一侧；所述固定槽(11)开设在底板(13)的两端，且固定螺栓(14)穿过固定槽(11)将活动夹板(12)与底板(13)固定；所述箱门(15)铰接安装在箱体(1)的一侧；所述排水口(18)开设在箱体(1)的底部。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述分水管(8)为圆形管状结构，且分水管(8)在主水管(16)的下部阵列设置有多处，并且分水管(8)两侧阵列开设有多处圆孔。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述固定夹板(10)为矩形条状结构，且固定夹板(10)侧面上开设有呈英文字母“v”型的凹槽，并且固定夹板(10)在底板(13)上阵列设置有多处。4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述活动夹板(12)为矩形板状结构，且活动夹板(12)侧面上阵列开设有多处呈英文字母“v”型的凹槽，并且活动夹板(12)的两端贯通开设有圆孔。5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述底板(13)为矩形板状结构，且底板(13)上阵列开设有多处两端呈半圆形的矩形凹槽。6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述支架(5)为矩形板状结构，且支架(5)下方设有两处端部为半圆形的矩形板状凸起。

技术总结

本实用新型提供了一种单晶硅片清洗装置，包括：箱体、电机、丝杠；所述箱体为矩形壳体结构，且电机固定安装在箱体顶面的一侧；所述支架固定安装在滑块、丝杠螺母顶面上，且支架下端与主水管固定连接，并且分水管设置在主水管的下方；所述支撑板固定设置在箱体内壁的下部两侧；所述底板放置在支撑板的上方，且固定夹板阵列设置在底板顶面的一侧；所述固定槽开设在底板的两端，且固定螺栓穿过固定槽将活动夹板与底板固定；所述排水口开设在箱体的底部；本实用新型通过对单晶硅片清洗装置的改进，具有使用方便，可以夹装不同尺寸的单晶硅片，对单晶硅片的清洗更彻底，不留死角的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。