CS系列200型质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册 aaaaaaaaaaaaaaaaaa
目录
调零 (12)
第一部分产品说明 3.3
1.1 概述......................................1 3.4 软启动 (12)
1.2 技术指标..................................1 3.5 延迟 (13)
1.3 标定........................................3 3.6 阀控制 (13)
1.3.1 标准状况...............................3 3.7 阀类型.. (13)
1.3.2 制造环境................................3 3.8 多气体多量程.. (13) 1.3.3 精度调节................................3 3.9 累积流量.. (14)
2.1 概述.......................................4 3.11 LED指示灯 (14)
2.2 打开包装……………………………4第四部分维护
2.3 机械安装.................................4 4.1 概述.. (14)
2.3.1 概述 ....................................4 4.2 注意事项.. (15)
2.3.2 安装.....................................7 4.2.1介质使用要求 (15)
2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法..........8 4.2.2 阀口密封问题 (15)
2.3.2.2 双卡套接头的安装方法………..8第五部分故障诊断
2.4 电气安装.................................9 5.1 初步检查.. (15)
2.4.1 概述.....................................9 5.2 故障检查.. (15)
2.4.2 连接……………………………….9第六部分保证和服务
2.5 工作检查.................................11 6.1 产品保证.. (17)
挖矿脚本
第三部分功能介绍 6.2 服务 (18)玻璃钢蓄水池
3.1 概述 ......................................12附录Ⅰ. (19)
3.2 控制方式.................................12附录Ⅱ. (21)
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22页 MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
第一部分 产品说明
1.1概述
质量流量控制器（MFC ）和质量流量计（MFM ）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们
在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 微电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD 、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相谱仪及其它分析仪器。
CS200型MFC/ MFM 是北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时提供数字信号，0-5V 模拟信号，4-20mA 模拟信号，可以使用双电源（±11 ～ ±16 VDC ）或单电源（+11 ～ +28 VDC ）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC 。CS200-C 与CS200-D 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中CS200-C 金属表面状况符合SEMI 标准的要求。
CS200 MFC 默认配置为： MAC 地址：32；
RS485通信波特率:19200； 控制方式：0-5V 电压控制。
金属检测传感器更多细节请参考产品附带光盘中的产品附带光盘中的《通讯协议客户说明书》。
电子元器件样品1.2 技术指标
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1.3 标定
CS200MFC/MFM可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，则按照标准状况标定。
1.3.1 标准状况
出口压力：大气压
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：
SCCM：标准毫升/分钟
SLM：标准升/分钟
标准状态：温度0ºC (273.15K)
气压：101325Pa (760mm Hg)
因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
MFC/MFM的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直（进气口向上或向下）、平躺及其它位置的安装，为保证最高的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
1.3.2 制造环境
CS200型MFC/ MFM是在温度为23±2℃的100级的净化间内组装，1000级净化环境下标定及包装。
1.3.3 精度调节
每台CS200型MFC/MFM在制造之后都要在相应的标定台上烤机24小时进行精确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标要经过两次检查，合格后方可出厂。
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水过滤板
