平面度与光波带的条数关系

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平面度与光波带的关系

引用一本书上的内容: 1)根据干涉条纹计算平面度误差 测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹，如图所示，调整平晶位置，使之出现3～5条干涉带，则平面度误差的近似值为： 船用倾斜仪 f= (v/ω)×(λ/2) λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距 但是如何精确确定ν和ω的值,我也很迷惑! 2）根据光圈计算平面度误差 若被测平面凹或凸，则会出现环形干涉带，调整平晶的位置，使干涉带数为最少，则平面度误差的近似值为： f＝(λ/2) ×n三自由度平台 λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm；n为平晶直径方向上的光圈数 示意图如下 [ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 编辑 ]			2008/6/27 00:04
	平晶具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。 光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面， 它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。 平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差， 图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。 平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差， 例如千分尺两测量面的平行度误差（图1b）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。 圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。 其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。 常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

平晶-正文

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  具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差（图1b）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。 电麻机

平晶

 

平晶

平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图2）,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为，式中a为两干涉条纹间距离，b为干涉条纹的弯曲值,λ为光波波长，白光波长一般以0.6微米计算。

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