半导体制造工艺流程简介

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NPN高频小功率晶体管制造的工艺流程为:
外延片——编批——清洗——水汽氧化——一次光刻——检查——清洗——干氧氧化——硼注入——清洗——UDO淀积——清洗——硼再扩散——二次光刻——检查——单结测试——
清洗——干氧氧化——磷注入——清洗——铝下CVD——清洗——发射区再扩散——三次光刻——检查——双结测试——清洗——铝蒸发——四次光刻——检查——氢气合金——正向测试——清洗——铝上CVD——检查——五次光刻——检查——氮气烘焙——检查——中测——中测检查——粘片——减薄——减薄后处理——检查——清洗——背面蒸发——贴膜——划片——检查——裂片——外观检查——综合检查——入中间库。
PNP小功率晶体管制造的工艺流程为:
外延片——编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查(tox)——一次光刻——QC检查——前处理——基区CSD涂覆——CSD预淀积——后处理——QC检查(R)——前处理——基区氧化扩散——QC检查(tox、R)——二次光刻——QC检查——单结测试——前处理——POCl3预淀积——后处理(P液)——QC检查——前处理——发射区氧化——QC检查(tox)——前处理——发射区再扩散(R)——前处理——铝下CVD——QC检查(tox、R门窗封条)——前处理——HCl氧化——前处理——氢气处理——三次光刻——QC检查——追扩散——双结测试——前处理——铝蒸发——QC检查(tAl)——四次光刻——QC检查——前处理——氮气合金——氮气烘焙——QC检查(ts)——五次光刻——Q
C检查——大片测试——中测——中测检查(——粘片——减薄——减薄后处理——检查——清洗——背面蒸发——贴膜——划片——检查——裂片——外观检查)——综合检查——入中间库。
文具盒生产过程GR平面品种(小功率三极管)马蹄去皮机工艺流程为:
编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查(tox)——一次光刻——QC检查——前处理——基区干氧氧化——QC检查(tox)——一GR光刻(不腐蚀)——GR硼注入——湿法去胶——前处理——GR基区扩散——QC检查(Xj、R)——硼注入——前处理——基区扩散与氧化——QC检查(Xj、tox、R)——二次光刻——QC检查——单结测试——前处理——发射区干氧氧化——QC检查(tox)——磷注入——前处理——发射区氧化和再扩散——前处理——POCl3预淀积(R)——后处理——前处理——铝下CVD——QC检查(tox)——前处理——氮气退火——三次光刻——QC检查——双结测试——前处理——铝蒸发——QC检查(tAl)——四次光刻——QC检查——前处理——氮气合金——氮气烘焙——正向测试——五次光刻——QC检查——大片测试——中测编批——中测——中测检查——入中间库。
双基区节能灯品种工艺流程为:
编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查(tox)——一次光刻——QC检查——前处理——基区干氧氧化——QC检查(tox)——一硼注入——前处理——基区扩散——后处理——QC检查(Xj、R)——前处理——基区CSD涂覆——CSD预淀积——后处理——QC检查(R)——前处理——基区氧化与扩散——QC检查(Xj、tox、R)——二次光刻——QC检查——单结测试——磷注入——前处理——发射区氧化——前处理——发射区再扩散——前处理——POCl3预淀积(R)——后处理——前处理——HCl退火、N2退火——三次光刻——QC检查——双结测试——前处理——铝蒸发——QC检查(tAl)——四次光刻——QC检查——前处理——氮氢合金——氮气烘焙——正向测试(ts)——外协作(ts)——前处理——五次光刻——QC检查——大片测试——测试ts——中测编批——中测——中测检查——入中间库。
变容管制造的工艺流程为:
外延片——编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查——N+光刻——QC检查——前处理——干氧氧化——QC检查——P+注入——前处理——N+扩散——P+光刻——
QC检查——硼注入1——前处理——CVD(LTO)——QC检查——硼注入2——前处理——LPCVD——QC检查——前处理——P+扩散——特性光刻——电容测试——是否再加扩——电容测试——......(直到达到电容测试要求)——三次光刻——QC检查——前处理——铝蒸发——QC检查(tAl)——铝反刻——QC检查——前处理——氢气合金——氮气烘焙——大片测试——中测——电容测试——粘片——减薄——QC检查——前处理——背面蒸发——综合检查——入中间库。
P+扩散时间越长,相同条件下电容越小。
稳压管(N衬底)制造的工艺流程为:
外延片——编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查——P+光刻——QC检查——前处理——干氧氧化——QC检查——硼注入——前处理——铝下UDO——QC检查——前处理——P+扩散——特性光刻——扩散测试(反向测试)——前处理——是否要P+追扩——三次光刻——QC检查——前处理——铝蒸发——QC检查(tAl)——四次光刻——QC检查——前处理——氮气合金——氮气烘焙——大片测试——中测。
P+扩散时间越长,相同条件下反向击穿电压越高。
肖特基二极管基本的制造工艺流程为:
编批——擦片——前处理——一次氧化——QC检查(tox)——P+光刻——QC检查——硼注入——前处理——P+扩散与氧化——QC检查(Xj,R,tox)——三次光刻——QC检查——前处理——铬溅射前泡酸——铬溅射——QC检查(tcr)——先行片热处理——先行片后处理——特性检测(先行片:VBR,IR)——热处理——后处理——特性测试(VBR,IR)——前处理——钛/铝蒸发——QC检查(tAl)——四次光刻——QC检查——前处理——氮气合金先行(VBR仿皮绒,IR)——氮气合金——特性测试(VBR,IR)——大片测试——中测——反向测试(抗静电测试)——中测检验——如中转库。

本文发布于:2023-06-10 08:39:34,感谢您对本站的认可!

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标签:检查   处理   测试   光刻   工艺流程   扩散   制造
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