PCB蚀刻系统AQUA控制原理简介

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PCB蚀刻系统AQUA控制原理简介
PCB蚀刻中,酸性蚀刻过程中,蚀刻过程是自动控制的,药水的浓度可以进行实时监控和调整,而这里面就和AQUA系统息息相关,他可以有效地侦测药水浓度等,然后在设定范围内,进行蚀刻液的自动添加,保持蚀刻能力和稳定性。

1.NaClO3(氯酸钠)之概念及测定原理

AQUANaClO3(氯酸钠)之概念
酸钠的氧化性很强,在氯化亚铜氧化为氯化铜的过程中,能增加蚀刻的速度,就再生剂而言,其扮演着很重要的角。
虽然,空气中的氧也会产生再生反应,但是,一旦生产量增加时,氧的再生速度就来不及,所以为了促进蚀刻速度,作为氧化剂的氯酸钠是不可或缺的。
    AQUA的氯酸钠传感器,是将氯酸钠做为蚀刻液再生反应的促进剂。在最小需要量下,控制最适当的蚀刻液浓度。因蚀刻速度的化和使用量的减少,可大幅提高质量、降低成本。AQUA即是以「如何使用最小需要量的氯酸钠来管理药液质量」作为考虑。
基于这样的考虑下,AQUA控制器并不是管理氯酸钠,而是检测出蚀刻药液的蚀刻能力;一方面用最少的氯酸钠来补足蚀刻液中,由氧(O2)再生的不足部份,一方面维持蚀刻生产的稳定性。
(1)根据盐酸的再生方式(空气再生)
 
     
(2)根
氯酸钠传感器的测定原理
铜棒在蚀刻液中反应、溶解时,依据药液的浓度和蚀刻能力(蚀刻速度)会产生电荷量的变化。氯酸钠传感器会检测出所发生的电荷量(出力),并传送到AQUA控制器。AQUA控制器再将氯酸钠浓度和蚀刻速度等的相关数据入力;氯酸钠传感器所得到的出力在控制器上计算并显示。其单位不是MOL/L(浓度)而是用Cap(无单位)来表示。
2.一价铜离子和二价铜离子的含量对于测定值而言会有何变化?
当基板的铜(Cu)溶解于蚀刻药液(CuCl2)中,二价铜会转变为一价铜。(随着铜的溶解,Cap值会下降)。一价铜和HCl会因空气中的O2而产生再生反应。(这个分岐点为20~30Cap)
但是,生产量大时,空气的O2来不及再生的部份,便需要氯酸钠做氧化剂。
当一价铜一增加,Cap值就会下降,而蚀刻液中的一价铜再生为二价铜时,Cap值就会上升。
2.  测定值的定义?
在AQUA,Cap(Capacity)并不是表示NaClO3的浓度,而是表示药液整体的蚀刻能力。下图为标准液的出力特性参考曲线图。
注:但是,蚀刻机的循环状态等许多条件的不同,曲线也会有征妙的变化。
重视成本的设定范围
(20Cap~25Cap)是最经济的使用范围。
蚀刻液的Cu也有溶解力,且会由空气中的O2将CuCl再生为CuCl2。当负荷变动大时,不建议使用。请根据负荷的变化程度增加氯酸钠的使用量
重视质量的设定范围
(25Cap~30Cap)高质量的使用范围。
蚀刻液的氯酸钠也有溶解力,氯酸钠的氧化力会将CuCl强制再生为CuCl2。能对应变动大的负荷,促进细线部的药液强制再生,倾向于细线路的使用范围。
在AQUA,Cap(Capacity)并不是表示NaClO3的浓度,而是表示药液整体的蚀刻能力。下图为标准液的出力特性参考曲线图。
注:但是,蚀刻机的循环状态等许多条件的不同,曲线也会有征妙的变化。

本文发布于:2023-05-05 04:06:00,感谢您对本站的认可!

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标签:蚀刻   再生   药液   速度   浓度   范围
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