发明人：聂金根
申请号：CN200910035260.1申请日：20090923
公开号：CN101695696A
公开日：
20100421
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及硅片加工方法，特别涉及硅片清洗方法；一种硅片清洗的方法，其特征在于如下步骤：将硅片放入煤油浸泡；将硅片放入氢氧化钠溶液超声洗，超声，将硅片放入BS-1溶液超声洗，将硅片放入无水乙醇脱水，脱水后硅片放入烘箱烘；本发明有效地去除附着在硅片上的残留研磨砂和杂质，确保硅片表面清洁度，不需要有相当大的清洗装置和大量的清洗液，消耗大量的电力以及花费许多时间，该方法可以有效的节约空间、节约成本、节约能源、节约时间及良好的清洗效果。
申请人：镇江市港南电子有限公司
地址：212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路
国籍：CN
代理机构：南京经纬专利商标代理有限公司
代理人：李纪昌
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