专利类型：实用新型专利
发明人：刘成中
申请号：CN201921005033.X 申请日：20190628
公开号：CN210200670U
公开日：
20200327
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型涉及一种硅片清洗设备，通过在臂柱的顶端和底端之间设置第一传感器，当抓钩将硅片放置于清洗槽后回到臂柱顶端的过程中，第一传感器检测到机械臂即发送控制信号至控制装置，控制装置可以在机械臂回到臂柱顶端之前控制盖板关闭，清洗槽对硅片进行清洗，从而可以提前清洗。每个清洗槽均提前清洗，从而可以节约整个清洗过程的时间，提高产能。 申请人：阜宁协鑫光伏科技有限公司
地址：224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：闫晓欣
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