1.本发明涉及一种加热组件。
背景技术：
2.随着技术的发展，制造和使用多样的电气、电子器件，这些电子器件可以通过多样的工艺形成电气或电子特性。
3.此外，在这些电子器件中形成电气或电子特性的多样的工艺中使用半导体工艺，该半导体工艺利用气体或由气体生成的等离子体。
4.在这种半导体工艺过程中为了防止气体凝结成团，可以使用包括加热
部件的装置以向气体施加热。
5.另一方面，当根据半导体工艺的多样的条件和种类而利用加热部件时，在有效传递热的方面存在局限性。
技术实现要素：
6.技术问题
7.本发明可以提供减少热损失并提高热传递效率的加热组件。
8.技术方案
9.本发明的一实施例公开一种加热组件，包括：加热部件，其形成为产生热；加热体部，其接收由
所述加热部件产生的热；以及热传递部件，其配置于所述加热体部与所述加热部件之间的至少一个
区域，所述加热体部包括与所述热传递部件对应地形成的
凹槽，所述加热部件配置为与所述凹槽的内侧面的至少一个区域相向，所述热传递部件包括在所述加热部件与所述凹槽的内侧面之间与所述加热部件和所述凹槽的内侧面相向地形成的侧面部件。
10.在本实施例中，所述热传递部件当配置于所述凹槽时至少一个区域可以从所述凹槽凸出地配置。
11.在本实施例中，所述热传递部件可以形成为包括上侧部件，该上侧部件形成为覆盖所述加热部件的上面。
12.在本实施例中，所述侧面部件可以连接于所述上侧部件并且形成为至少对应于所述加热部件的相向的两个侧面。
13.在本实施例中，所述上侧部件可以包括与所述加热部件相向的相向面，所述上侧部件的相向面形成为具有与所述加热部件的上面对应的形态。
14.在本实施例中，所述热传递部件包括下侧部件，该下侧部件与所述侧面部件连接并且配置为隔着所述加热部件与所述上侧部件相向。
15.在本实施例中，所述加热组件可以包括夹具部，其配置于所述加热体部上并且形成为支撑所述热传递部件的一个区域。
16.在本实施例中，所述夹具部可以以向所述热传递部件的外面的一个区域施加压力
的方法固定所述加热部件。
17.在本实施例中，所述夹具部可以配置为不对应于所述凹槽的内侧空间且与所述凹槽的内侧空间间隔开。
18.在本实施例中，所述夹具部可以形成为具有从在所述加热体部的一面中与所述凹槽间隔开的区域延伸成与所述凹槽的至少一个区域重叠的位置对应的形态。
19.在本实施例中，所述夹具部可以形成为在与所述凹槽间隔开的区域和与所述凹槽的至少一个区域重叠的区域之间具有弯曲的形态。
20.在本实施例中，所述加热组件可以在所述侧面部件与所述加热部件之间的至少一个区域形成有间隔开的空间。
21.除前已述及之外的其他方面、特征、优点将从下面的附图、权利要求书和本发明的详细描述中变得清楚。
22.发明的效果
23.本发明的加热组件可以减少热损失并且容易地提高热传递效率。
附图说明
24.图1是示出关于本发明的一实施例的加热组件的示意性的剖视图。
25.图2是从一个方向观察图1的加热组件的示例性的立体图。
26.图3是示例性地示出图2的加热组件的加热部件的立体图。
27.图4是示例性地示出图2的加热组件的热传递部件的立体图。
28.图5是用于关于本发明的一实施例的加热组件的使用的示例性的图。
29.图6是图5的b的示意性的放大图。
30.符号说明
31.100：加热组件，110：加热体部，111：凹槽，120：热传递部件，121、122：侧面部件，123：上侧部件，123c：相向面，125：下侧部件，130：夹具部，hb：加热部件，sh：喷淋头，sa：间隔部，sw：被处理材料，dew：电介质窗。
具体实施方式
32.下面参照附图中所示的本发明的实施例对本发明的构成和作用进行详细说明。
33.本发明可以被加以多样的变换，并且可以具有多种实施例，将一些特定实施例例示于附图并在详细说明中进行详细描述。本发明的效果和特征以及达成其的方法将在参照结合附图详细后述的实施例的过程中变得清楚。但是，本发明不限于以下公开的实施例，而是可以以多样的形态实现。
34.下面将参照附图对本发明的实施例进行详细描述，在参照附图进行描述时，对相同或相应的构成要素赋予相同的附图标记，并且将省略对其的重复描述。
35.在以下实施例中，第一、第二等术语用于将一个构成要素与另一个构成要素区分开的目的，而不用于限定性的意义。
36.在以下实施例中，除非上下文中明确不同地定义，单数表达包括复数表达。
37.在以下实施例中，包括或具有等术语是指存在说明书中记载的特征或构成要素，并不预先排除添加一个以上的其他特征或构成要素的可能性。
38.在附图中，为了便于描述，构成要素的大小可能被夸张或缩小。例如，图中所示的每个构件的大小和厚度是为了便于描述而任意示出的，因此本发明并不限于图示。
39.在以下实施例中，x轴、y轴和z轴不限于正交坐标系上的三个轴，而是可以被广义地解释为包括其的含义。例如，x轴、y轴和z轴可以彼此正交，但也可以指代彼此不正交的彼此不同的方向。
40.在某一实施例可以不同地实现的情况下，特定的工艺顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如，连续描述的两个工艺可以实质上同时执行，或者可以以与描述的顺序相反的顺序进行。
41.图1是示出关于本发明的一实施例的加热组件的示意性的剖视图。
42.本实施例的加热组件100可以包括加热部件hb、加热体部110以及热传递部件120。
43.本技术中记载的加热部件hb可以用于多种用途。作为一例，可以用于向利用一种以上的气体、离子或等离子体对诸如基板或晶圆的被处理材料(例如图5的sw)进行处理的装置施加热的用途。
44.作为具体的示例，加热部件hb可以应用于对被处理材料进行蚀刻工艺、清洗工艺、灰化(ashing)工艺、蒸镀工艺或离子注入工艺等的装置。
45.作为可选的实施例，加热部件hb也可以被利用为与向被处理材料的方向供应气体的喷淋头(shower head，例如图5的sh)相邻或者向喷淋头传递热。
46.加热部件hb可以形成为产生热。例如，可以形成为通过设置在形成有中空部的管的内部的发热体或在形成有中空部的管的内部循环的热水来产生热。
47.作为可选的实施例，加热部件hb可以形成为通过从电源施加电流来产生热，作为具体的示例，可以具有由金属材质形成的线圈形态的发热体。
48.作为可选的实施例，加热部件hb可以以厚度方向为基准具有曲面，例如，加热部件hb也可以具有接近圆形的截面形态。
49.加热体部110可以形成为接收由加热部件hb产生的热。加热体部110可以接收由加热部件hb产生的热并将其传递至与加热体部110相邻的方向的部件。作为可选的实施例，加热体部110可以向喷淋头sh或气体供应部(未图示)或电介质窗(例如，图5的dew)等传递热。
50.加热体部110可以由多样的材料形成，可以由金属材料形成以便能够有效地传递热，并且也可以含有例如铝、钢等或者包含其合金。作为具体的示例，可以由铝系列材质形成。
51.加热部件hb可以配置在加热体部110的上面的一个区域。
52.作为可选的实施例，加热体部110可以在上面的一个区域包括凹槽111。可以在加热体部110的凹槽111配置加热部件hb。
53.加热体部110的凹槽111的形态可以多种多样，例如，可以是在加热体部110的厚度方向上具有深度并且在与之交叉的方向上具有宽度的槽的形态。此时，凹槽111的宽度可以根据深度而恒定。但是，作为未图示的另一示例，凹槽111的宽度可以根据深度而不同，并且，作为具体的示例，凹槽111的内侧面也可以形成为具有曲面形态。
54.作为可选的实施例，加热体部110的凹槽111可以形成为具有与后述的热传递部件120对应的形态以适合于热传递部件120的配置，例如，可以形成为具有与热传递部件120的外侧面对应或者与外侧面贴紧的形态。
55.此外，作为可选的实施例，加热体部110可以形成为具有间隔部sa，这样的间隔部sa可以是未形成有加热体部110的区域，例如呈开口形态。作为具体的示例，这样的间隔部sa可以对应于用于在对被处理材料的工艺过程中使用的原料气体等的流入或行进的区域。
56.热传递部件120可以形成为配置于加热体部110与加热部件hb之间的至少一个区域。由此，减少或防止因加热部件hb暴露于作为加热体部110的外侧的空气中而致使热发散到空气中，并且使得在加热部件hb的至少一个区域或整体上产生的热能够通过热传递部件120传递至加热体部110。为了提高热传递效率，热传递部件120可以由导热特性良好的材质形成，例如可以由金属材质形成。
57.作为可选的实施例，热传递部件120可以由与加热体部110相同的材质形成，例如可以由铝系列材质形成。
58.热传递部件120可以配置于加热体部110的一面，例如可以配置为对应于加热体部110的凹槽111。作为具体的示例，可以形成为在热传递部件120的厚度方向上使至少一个区域容纳于加热体部110的凹槽111。
59.热传递部件120可以具有多样的形态，并且可以包括例如上侧部件123、侧面部件121、122以及下侧部件125中的至少一个。
60.上侧部件123位于加热部件hb的一侧，例如作为朝向凹槽111的方向的反方向即加热部件hb的上侧方向，作为具体的示例，可以形成为覆盖加热部件hb的上面。由此，可以有效地减少由加热部件hb产生的热向远离加热体部110的上面的方向发散而损失。
61.作为可选的实施例，上侧部件123可以具有与凹槽111的内侧面对应的形态，例如可以形成为与凹槽111的内侧面贴紧或相邻。
62.上侧部件123可以包括与加热部件hb相向的相向面123c。这样的相向面123c可以与侧面部件121、122之间的空间sr连接。
63.作为可选的实施例，相向面123c可以形成为具有对应于加热部件hb的上面的形态，例如可以形成为具有与加热部件hb的上面的曲面对应的曲面形态。
64.作为具体的示例，相向面123c可以以加热部件hb的厚度方向为基准以对应于圆形的截面的一部分的方式形成为具有圆弧或半圆的截面形态。此外，作为一例，这样的相向面123c的至少一个区域可以与加热部件hb的上侧相接或贴紧。由此，可以有效地减少由加热部件hb产生的热通过相向面123c容易传递至上侧部件123或侧面部件121、122而致使热损失，并提高热效率。
65.此外，作为一例，可以通过上侧部件123支撑加热部件hb，从而可以容易地维持对加热部件hb的稳定的配置。
66.作为可选的实施例，热传递部件120还可以包括形成为与上侧部件123连接的侧面部件121、122。
67.热传递部件120的彼此相向的侧面部件121、122可以分别配置于凹槽111的内侧面与加热部件hb之间。作为可选的实施例，侧面部件121、122可以具有与凹槽111的内侧面对应的形态，例如可以形成为与凹槽111的内侧面贴紧或相邻。
68.通过侧面部件121、122增加了热传递面积，从而在由加热部件hb产生的热通过凹槽111的内侧面传递至加热体部110时增加了热效率，并且可以减少由加热部件hb产生的热发散到空气中而损失。
69.作为可选的实施例，热传递部件120还可以包括下侧部件125，下侧部件125形成为与连接于上侧部件123的侧面部件121、122连接，并且配置为隔着加热部件hb与上侧部件123相向。
70.下侧部件125可以具有容纳于凹槽111的形态，例如可以配置为与凹槽111的内侧底面相接。由此，增加通过了加热部件hb的热向下侧方向传递至加热体部110的面积，并且可以减少由加热部件hb产生的热发散到空气中而损失。
71.下侧部件125可以具有多样的形态，例如可以形成为与彼此相向的侧面部件121、122的各个的彼此面对的内侧面连接。
72.作为可选的实施例，上侧部件123和侧面部件121、122可以具有一体地延伸的结构，下侧部件125可以结合于彼此相向的侧面部件121、122的各个的内侧面的一个区域，例如可以采用焊接来结合。作为具体的示例，可以在将加热部件hb容纳于上侧部件123和侧面部件121、122一体地延伸的结构中后，采用焊接将下侧部件125与侧面部件121、122结合。另一方面，代替焊接地，也可以通过采用过盈配合或螺丝等的多样的方法结合。
73.由此，可以容易地实现加热部件hb容纳于热传递部件120的内侧的结构，并且，通过将这样的容纳有加热部件hb的热传递部件120配置于凹槽111，可以有效地实现向加热体部110传递热的结构。
74.上侧部件123的厚度可以多种多样。例如，可以具有第一厚度t1和第二厚度t2。第二厚度t2是对应于相向面123c与上侧部件123的上面(例如，朝与朝向下侧部件125的方向相反的方向的面)之间的区域的厚度，例如可以具有可变值，第一厚度t1是相向面123c与侧面部件121、122之间的区域中的上侧部件123的下面(例如，朝向下侧部件125的面)与相向面123c之间的厚度的最大值，可以具有大于第二厚度t2的值。
75.下侧部件125可以具有第三厚度t3。
76.作为可选的实施例，上侧部件123的第一厚度t1和第二厚度t2可以分别具有大于下侧部件125的第三厚度t3的值。通过较厚的上侧部件123，可以有效地减少或阻断向远离加热体部110的上面的方向上的热损失，并且可以提高向加热体部110的热传递效率。此外，可以容易地加大通过上侧部件123的对加热部件hb的支撑效果。
77.此外，作为可选的实施例，上侧部件123的第一厚度t1和第二厚度t2可以分别具有大于侧面部件121、122各个的厚度(例如，以图1的x轴方向为基准的厚度)的值，可以加大减少向上侧的热损失的效果，并且可以提高向侧面部件121、122的直接热传递效果。
78.作为可选的实施例，可以以支撑热传递部件120的一个区域的方式配置夹具部130。例如，夹具部130可以形成为支撑热传递部件120的上侧部件123。
79.作为具体的示例，夹具部130的一个区域可以配置于加热体部110，并且可以固定于加热体部110的一个区域，由此延伸的另一个区域可以支撑热传递部件120的上侧部件123的上面，也可以以使热传递部件120贴紧于加热体部110的方式施加压力。由此，使得传递至热传递部件120的热能够被有效地传递至加热体部110。
80.夹具部130可以由多样的材质形成，例如可以由不同于热传递部件120的材质形成，作为具体的示例，可以由热导率低于热传递部件120的材质形成。
81.作为可选的实施例，夹具部130也可以形成为含有非金属材质，例如塑料系列材质。
82.由此，使得传递至热传递部件120的热能够被有效地传递至加热体部110，而不是夹具部130。
83.本实施例的产生热的加热部件hb可以容纳于热传递部件120的内侧空间，并且可以将容纳有加热部件hb的热传递部件120配置于加热体部110，从而减少由加热部件hb产生的热向远离加热体部110的方向发散或损失，并且可以使热能够被有效地传递至加热体部110。此外，作为一例，热传递部件120以厚度方向为基准具有类似于箱子的形态，通过在对应于这样的热传递部件120的形态的凹槽111配置热传递部件120，可以在热传递部件120的厚度方向上使至少一个区域容纳于凹槽111。由此，可以增加向加热体部110的热传递面积，并且加大减少热损失的效果。
84.此外，作为可选的实施例，在通过配置以从上侧支撑热传递部件120的的方式配置的夹具部130来维持减少热损失的效果和提高热传递的效果的同时，通过将热传递部件120固定于加热体部110，即使随着时间的经过或者进行多个工艺，也能够稳定地维持热传递部件120的配置。
85.图2是从一个方向观察图1的加热组件的示例性的立体图。
86.图3是示例性地示出图2的加热组件的加热部件的立体图，图4是示例性地示出图2的加热组件的热传递部件的立体图。
87.参照图2，加热组件100的加热体部110可以形成为具有曲线状边缘，例如接近圆形的边缘。
88.此外，加热体部110可以形成为在内侧具有开口形态的间隔部sa，作为具体的示例，可以形成为围绕间隔部sa。
89.加热体部110可以包括对应于热传递部件120的凹槽111，凹槽111可以具有围绕间隔部sa的形态，例如可以在平面上具有圆形的形态。
90.热传递部件120可以配置为对应于凹槽111，并且具有围绕间隔部sa的形态，例如可以在平面上具有圆形的形态。
91.此外，热传递部件120可以在配置于凹槽111且上侧的一个区域被多个夹具部130支撑。
92.作为可选的实施例，多个夹具部130可以配置为彼此间隔开，例如可以沿热传递部件120的周向排列多个。
93.参照图3，加热部件hb可以具有曲线的平面形态，并且截面可以具有圆形的线圈形态。例如，加热部件hb可以形成为具有围绕加热体部110的间隔部sa的至少一个区域的圆形的边缘的形态。
94.示例性地，加热部件hb可以包括形成为与外部的电源或泵连接的第一端部hbt1和第二端部hbt2。作为具体的示例，第一端部hbt1和第二端部hbt2可以是用于将加热部件hb与外部部件连接起来的连接部。
95.当加热部件hb配置于热传递部件120的内侧空间时，第一端部hbt1和第二端部hbt2可以具有向热传递部件120的外部凸出的形态。
96.例如，加热部件hb的第一端部hbt1和第二端部hbt2可以形成为彼此间隔开并且向远离凹槽111的方向，例如向上凸出。由此，可以在维持通过加热部件hb的发热效果的同时，提高与电源或泵的连接可靠性。
97.作为可选的实施例，当在加热部件hb的内部设置有发热体时，可以向第一端部hbt1和第二端部hbt2中的一个输入电流，并从另一个输出电流。另一方面，当热水在加热部件hb的内部循环时，可以向第一端部hbt1和第二端部hbt2中的一个引入热水，并从另一个引出热水。
98.参照图2和图4，热传递部件120可以以使加热部件hb的第一端部hbt1和第二端部hbt2通过而延伸的方式包括贯通区域120h。例如，可以在热传递部件120的上侧部件123的一个区域形成贯通区域120h。
99.热传递部件120可以形成为围绕间隔部sa的形态，例如可以具有对应于加热部件hb的圆形的平面形态。
100.作为示例性的制造方法，可以在两侧的侧面部件121、122和上侧部件123的一体化的结构的内侧空间插入加热部件hb之后，结合下侧部件125，作为具体的示例，可以采用焊接来连接下侧部件125和侧面部件121、122。
101.图5是用于关于本发明的一实施例的加热组件的使用的示例性的图，图6是图5的b的示意性的放大图。
102.参考图5，作为一例，与加热组件100相邻地配置有喷淋头sh。例如，喷淋头sh可以形成为使一种以上的气体流入被处理材料sw。
103.此外，可以在喷淋头sh的下部配置待进行通过气体分配的处理或利用等离子体反应的处理的被处理材料sw。例如，被处理材料sw可以是基板或晶圆等多样的种类。
104.可以在加热组件100的加热体部110的内侧区域配置喷淋头sh，例如可以配置为与配置加热部件hb的面的相反面即加热体部110的下面的一个区域相邻。
105.作为可选的实施例，可以在加热体部110的内侧区域配置电介质窗dew。例如，可以配置为与配置加热部件hb的面的相反面即加热体部110的上面的一个区域相邻。
106.电介质窗dew可以支撑向喷淋头sh供应气体的气体供应部(未图示)。
107.由此，在由加热部件hb产生的热通过加热体部110被传递至喷淋头sh或电介质窗dew或气体供应部(未图示)等时，提高热传递的均匀性，并且可以减少因局部性的热集中而引发的不良。
108.参考图6，夹具部130可以包括与上侧部件123相接的第一接触部131和与加热体部110相接的第二接触部132，并且夹具部130可以形成为当夹具部130的一个区域固定于加热体部110并且另一个区域支撑热传递部件120的上侧部件123时形成间隔区域。
109.例如，加热体部110的间隔区域et和上侧部件123的间隔区域es可以与夹具部130间隔开。由此，可以减少由加热部件hb产生的热被传递至热传递部件120或加热体部110后不必要地停留在夹具部130或通过夹具部130损失。
110.从结果而言，可以容易地加大利用加热组件100提高热传递特性和减少热损失的效果。
111.虽然如此参考附图中所示的实施例对本发明进行了描述，但这些仅仅是示例性的，本领域的一般的技术人员将理解可以从中进行多样的变形和等效的其他实施例。因此，本发明的真正的技术保护范围应由所附权利要求书的技术思想界定。
112.实施例中描述的特定实施是一实施例，并不以任何方法限定实施例的范围。此外，除非有如“必备的”、“重要地”等具体的提及，也可能不是用于本发明的应用的必不可缺的
构成要素。
113.在实施例的说明书中(尤其在权利要求书中)，术语“所述”和与之类似的指示术语的使用可以同时对应于单数和复数。此外，当在实施例中记载范围(range)时，包括应用属于所述范围的个别的值的发明(除非有相反的记载)，等同于在详细说明中记载构成所述范围的每个个别的值。最后，对于构成实施例的方法的步骤，除非明确记载顺序或者有相反的记载，这些步骤可以以适当的顺序执行。并非一定按照这些步骤的记载顺序限定实施例。实施例中的所有示例或示例性术语(例如，等等)的使用仅用于对实施例进行详细说明，除非由权利要求书限定，实施例的范围不为这些示例或示例性术语所限定。此外，本领域的一般的技术人员将可以理解，可以在所附权利要求书或其等效物的范畴内根据设计条件和因素进行多样的修改、组合和变更。
技术特征：
1.一种加热组件，其特征在于，包括：加热部件，其形成为产生热；加热体部，其接收由所述加热部件产生的热；以及热传递部件，其配置于所述加热体部与所述加热部件之间的至少一个区域，所述加热体部包括与所述热传递部件对应地形成的凹槽，所述加热部件配置为与所述凹槽的内侧面的至少一个区域相向，所述热传递部件包括在所述加热部件与所述凹槽的内侧面之间与所述加热部件和所述凹槽的内侧面相向地形成的侧面部件。2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述热传递部件当配置于所述凹槽时至少一个区域从所述凹槽凸出地配置。3.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述热传递部件形成为包括上侧部件，该上侧部件形成为覆盖所述加热部件的上面。4.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，所述侧面部件连接于所述上侧部件并且形成为至少对应于所述加热部件的相向的两个侧面。5.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，所述上侧部件包括与所述加热部件相向的相向面，所述上侧部件的相向面形成为具有与所述加热部件的上面对应的形态。6.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，所述热传递部件包括下侧部件，该下侧部件与所述侧面部件连接并且配置为隔着所述加热部件与所述上侧部件相向。7.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，包括夹具部，其配置于所述加热体部上并且形成为支撑所述热传递部件的一个区域。8.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述夹具部以向所述热传递部件的外面的一个区域施加压力的方法固定所述加热部件。9.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述夹具部配置为不对应于所述凹槽的内侧空间且与所述凹槽的内侧空间间隔开。10.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述夹具部形成为具有从在所述加热体部的一面中与所述凹槽间隔开的区域延伸成与所述凹槽的至少一个区域重叠的位置对应的形态。11.根据权利要求10所述的加热组件，其特征在于，所述夹具部形成为在与所述凹槽间隔开的区域和与所述凹槽的至少一个区域重叠的区域之间具有弯曲的形态。12.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，在所述侧面部件与所述加热部件之间的至少一个区域形成有间隔开的空间。
技术总结
本发明的一实施例公开一种加热组件，包括：加热部件，其形成为产生热；加热体部，其接收由所述加热部件产生的热；以及热传递部件，其配置于所述加热体部与所述加热部件之间的至少一个区域。至少一个区域。至少一个区域。
技术研发人员：
金龙洙 金亨源 郑熙锡
受保护的技术使用者：
吉佳蓝科技股份有限公司
技术研发日：
2022.03.01
技术公布日：
2022/11/24
